下载压电元件及液体喷头的技术资料

文档序号:3173301

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种压电元件,具有下电极、在下电极上形成的压电膜、在所述压电膜上形成的上电极,其特征在于,    所述压电膜具有柱状结晶,该柱状结晶在所述上电极侧的结晶粒径比在所述下电极侧大,    所述压电膜的规定面取向的取向度比其他面取向的取向度高。...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。