液体喷头的对准装置及其对准方法制造方法及图纸

一种液体喷头的对准装置及其对准方法，即使在基准标记和对准标记的距离远离的情况下也能进行高精度的定位。该对准装置具有：作为透明部件的膜片（４１０），其设有对准标记（２２）进行对位的基准标记（４０１）；衬垫夹具（４３０），其在固定板（２５０）和膜片（４１０）之间，一个面与固定板（２５０）相接，并且另一个面与膜片（４１０）相接，从而使基准标记（４０１）和对准标记（２２）隔着空间相对置；双焦点显微镜（５００），其如下构成，光轴（Ｌ）从膜片（４１０）的与衬垫夹具侧相反侧经由基准标记（４０１）及空间朝向对准标记（２２）的方向，共有光轴（Ｌ）的一个光学系统（５０１）能将焦点与对准标记（２２）对合，并且另一个光学系统（５０２）能将焦点与基准标记（４０１）对合。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种液体喷头的对准装置，其在定位接合喷嘴板和固定部件时使用，所述喷嘴板设有液体喷头的喷射液体的喷嘴开口及对位用的对准标记，所述固定部件保持多个所述液体喷头的所述喷嘴板侧，所述液体喷头的对准装置的特征在于，具有：作为透明部件的膜片，其设有所述对准标记进行对位的基准标记；衬垫夹具，其在所述固定部件和所述膜片之间，一个面与所述固定部件相接，并且另一个面与所述膜片相接，从而使所述基准标记和所述对准标记隔着空间相对置；双焦点显微镜，其如下构成，光轴从所述膜片的与所述衬垫夹具侧相反侧经由所述基准标记及所述空间朝向所述对准标记的方向，共有所述光轴的一个光学系统能将焦点与所述对准标记对合，并且另一个光学系统能...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：稻冈靖雄，奥村资纪，太田睦彦，后藤和敏，柳泽功，冈室琢磨，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]