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多反射声波器件制造技术
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文档序号:3194934
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公开了一种声波器件(100),它利用了声波的多次局部化反射来获得无限脉冲响应,同时维持对阻尼效应的高耐受性。该器件利用多个在绝大部分有源表面上布置的机电上显著的电极(110,120,130)。还公开了多个利用所公开的声波模式器件的传感器。...
该专利属于拜欧得股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过拜欧得股份有限公司授权不得商用。
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