加速度传感器制造技术

防止压敏电阻元件与接触孔内的配线电连接的部位发生剥离和分离等接触不良。压敏电阻型３轴加速度传感器具有：锤部、设置在该锤部周边的底座部５１、固定在该底座部５１上的周边固定部４２、将锤部可弯曲地连接在周边固定部４２上的梁部４４。跨过梁部４４与周边固定部４２的边界线Ｐ１１的位置上设置了１个压敏电阻元件４５－１，跨过梁部４４与锤部的边界线的位置上，设置了另一个压敏电阻元件。各压敏电阻元件４５－１的两端分别形成接合部４６－１、４６－２，该接合部４６－１、４６－２与其上层串联排列的多个接触孔４７ａ内的配线４８电连接。

【技术实现步骤摘要】
加速度传感器
本专利技术涉及检测XYZ轴3个方向加速度的加速度传感器，特别是涉及防止加速度检测部位的电接触不良的技术。
技术介绍
以往，关于检测XYZ轴3个方向加速度的加速度传感器的技术，例如下述文献中所记载。[专利文献1]特开2004-198243号公报图8(A)、(B)为专利文献1等中所记载的以往的压敏电阻型3轴加速度传感器的大概结构图，同图(A)为平面图，同图(B)为同图(A)中I1-I2线的剖面图。此压敏电阻型3轴加速度传感器中，薄的四方形的第1硅基板10和厚的四方形的第2硅基板20通过接合层30粘合在一起。第1硅基板10上，通过在其内侧四角设置大致为L型的开口部11，形成框状的周边固定部12、其内侧中央的四方形锤固定部13和4个梁部14的各个区域。周边固定部12及其内侧中央的四方形锤固定部13之间，由设置在水平面上横向X轴方向上和纵向Y轴方向上的4个薄的带状的梁部14连接。各梁部14的表面上分别形成1对由机械变形来改变电阻的压敏电阻元件15-1、15-2，整个表面由未图示的绝缘性中间膜覆盖。而且，中间膜上形成未图示的金属配线，该配线通过在中间膜上开孔的接触孔，与压敏电阻元本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加速度传感器，其特征在于，具有：锤部；设置在上述锤部周边的支撑部；为规定的厚度的带状、且将上述锤部可弯曲地连接在上述支撑部上的梁部；在上述梁部和上述锤部的边界线附近的内部以及／或者在上述梁部和上述支撑部的边界线附近的内部形成的变形检测元件；分别形成在上述变形检测元件两端的接合部；形成在上述支撑部及上述梁部上的配线；形成在上述支撑部及上述梁部上、且通过在上述接合部的形成区域内开孔的多个接触孔、与上述接合部电连接的配线。

【技术特征摘要】
JP 2005-1-20 2005-0133951.一种加速度传感器，其特征在于，具有：锤部；设置在上述锤部周边的支撑部；为规定的厚度的带状、且将上述锤部可弯曲地连接在上述支撑部上的梁部；在上述梁部和上述锤部的边界线附近的内部以及/或者在上述梁部和上述支撑部的边界线附近的内部形成的变形检测元件；分别形成在上述变形检测元件两端的接合部；形成在上述支撑部及上述梁部上的配线；形成在上述支撑部及上述梁部上、且通过在上述接合部的形成区域内开孔的多个接触孔、与上述接合部电连接的配线。2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，上述锤部、上述支撑部和上述梁部由半导体基板构成；上述变形检测元件由压敏电阻元件构成，此压敏电阻元件由形成在上述半导体基板内的杂质离子的扩散层构成；上述各接合部由形成在上述扩散层内的高浓度杂质离子的低电阻扩散层构成。3.根据权利要求1或者权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于，上述变形检测元件，沿着上述梁部的长度方向跨过上述边界线形成为带状；上述各接合部...

【专利技术属性】
技术研发人员：甲斐孝之，
申请(专利权)人：冲电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]