自动超声波涂铟设备制造技术

本申请提供一种自动超声波涂铟设备，涉及涂铟技术领域。自动超声波涂铟设备，包括：超声涂铟装置、滑动平台和支撑台。超声涂铟装置包括超声振动系统和铟槽，超声振动系统的超声振动头伸入铟槽内，铟槽用于容置铟液，超声振动系统的振动头座与滑动平台连接，支撑台用于放置待涂铟对象且能够带动待涂铟对象转动，滑动平台用于带动超声涂铟装置沿着预设方向移动并对待涂铟对象涂铟。本申请的自动超声波涂铟设备，通过超声涂铟装置与滑动平台、支撑台的配合，能够使得旋转靶材或者背管被自动化涂铟，且涂铟的效果好，品质高，对于铟液的浪费也少，大大提高了自动化水平且降低了成本，有效解决了现有问题。解决了现有问题。解决了现有问题。

【技术实现步骤摘要】
自动超声波涂铟设备


[0001]本申请涉及涂铟
，具体而言，涉及一种自动超声波涂铟设备。

技术介绍

[0002]半导体、液晶玻璃等都离不开靶材，随着技术的发展，旋转靶材的应用越来越多。旋转靶材需要与背管通过铟钎焊连接在一起，目前主要使用人工的方式进行钎焊，将靶材内部和背管外侧都使用超声波烙铁涂铟，然后将靶材套在背管外面进行钎焊连接。
[0003]但人工涂铟的效率低，品质差，自动涂铟设备是必然趋势。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种自动超声波涂铟设备，其能够改善现有的人工涂铟的效率低且品质差的问题。
[0005]本申请的实施例是这样实现的：
[0006]本申请的实施例提供了一种自动超声波涂铟设备，包括：超声涂铟装置、滑动平台和支撑台；
[0007]所述超声涂铟装置包括超声振动系统和铟槽，所述超声振动系统的超声振动头伸入所述铟槽内，所述铟槽用于容置铟液，所述超声振动系统的振动头座与所述滑动平台连接，所述支撑台用于放置待涂铟对象且能够带动待涂铟对象转动，所述滑动平台用于带动所述超声涂铟装置沿着预设方向移动并对待涂铟对象涂铟。
[0008]另外，根据本申请的实施例提供的自动超声波涂铟设备，还可以具有如下附加的技术特征：
[0009]在本申请的可选实施例中，所述铟槽具有流道和容置腔，所述超声涂铟装置还包括铟液泵，所述超声振动头处于所述流道内，所述铟液泵用于从所述容置腔向所述流道泵送铟液，从所述流道的出口涌出的铟液能够流入所述容置腔。
[0010]在本申请的可选实施例中，所述铟槽内具有铟液。
[0011]在本申请的可选实施例中，所述铟液的材质为纯铟、铟锡合金或者锡铋合金。
[0012]在本申请的可选实施例中，所述铟槽内设有加热器，所述加热器用于将涂铟材料熔化成铟液。
[0013]在本申请的可选实施例中，所述支撑台包括加热装置和支撑架，所述支撑架用于放置待涂铟对象且能够带动待涂铟对象转动，所述加热装置设置于所述支撑架附近且用于对待涂铟对象加热。
[0014]在本申请的可选实施例中，所述加热装置包括固定架和加热单元，所述固定架架设于所述支撑架上方且笼罩所述支撑架，所述加热单元设置于所述固定架。
[0015]在本申请的可选实施例中，所述支撑架包括第一支撑层和第二支撑层，所述第一支撑层处于所述第二支撑层的上方，所述滑动平台能够设置于所述第一支撑层或者所述第二支撑层。
[0016]在本申请的可选实施例中，所述滑动平台包括滑台和传动台，所述传动台能够带动所述滑台沿着所述预设方向运动，所述滑台与所述超声振动系统的振动头座连接。
[0017]在本申请的可选实施例中，所述超声振动系统的超声振动头的超声频率为15~60kHz，功率为60~2000W。
[0018]本申请的有益效果是：
[0019]本申请的自动超声波涂铟设备，通过超声涂铟装置与滑动平台、支撑台的配合，能够使得旋转靶材或者背管被自动化涂铟，且涂铟的效果好，品质高，对于铟液的浪费也少，大大提高了自动化水平且降低了成本，有效解决了现有问题。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0021]图1为旋转靶材和背管通过铟焊接在一起的示意图；
[0022]图2为自动超声波涂铟设备的滑动平台与支撑台的示意图；
[0023]图3为支撑台的圆轴与背管配合的示意图；
[0024]图4为自动超声波涂铟设备的超声涂铟装置的示意图；
[0025]图5为自动超声波涂铟设备的超声涂铟装置与背管配合的示意图；
[0026]图6为自动超声波涂铟设备与背管配合的示意图；
[0027]图7为自动超声波涂铟设备的超声涂铟装置与旋转靶材配合的示意图；
[0028]图8为自动超声波涂铟设备与旋转靶材配合的示意图。
[0029]图标：1
‑
旋转靶材；2
‑
背管；3
‑
示例铟；4
‑
超声振动头；5
‑
铟槽；6
‑
滑台；7
‑
支撑架；71
‑
圆轴；8
‑
传动台；9
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加热单元；91
‑
固定架；10
‑
铟液泵。
具体实施方式
[0030]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0031]因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0032]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0033]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方
位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0034]在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
实施例
[0035]如图1所示，旋转靶材1和背管2都需要涂铟，然后套设成图1的式样进行钎焊连接。需要说明的是，图1中的旋转靶材1和背管2之间的部分为示例铟3，后续图示中涉及到的标号为3的部分，都是铟液，示例铟和铟液成分相同，只是状态不同，所以都标注为3，后文不再赘述。
[0036]请结合图2至图8，为了提高效率且保障焊接后的品质，本申请提供了一种自动超声波涂铟设备，包括：超声涂铟装置、滑动平台和支撑台。
[0037]其中，超声涂铟装置包括超声振动系统和铟槽5，超声振动系统的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动超声波涂铟设备，其特征在于，包括：超声涂铟装置、滑动平台和支撑台；所述超声涂铟装置包括超声振动系统和铟槽，所述超声振动系统的超声振动头伸入所述铟槽内，所述铟槽用于容置铟液，所述超声振动系统的振动头座与所述滑动平台连接，所述支撑台用于放置待涂铟对象且能够带动待涂铟对象转动，所述滑动平台用于带动所述超声涂铟装置沿着预设方向移动并对待涂铟对象涂铟。2.根据权利要求1所述的自动超声波涂铟设备，其特征在于，所述铟槽具有流道和容置腔，所述超声涂铟装置还包括铟液泵，所述超声振动头处于所述流道内，所述铟液泵用于从所述容置腔向所述流道泵送铟液，从所述流道的出口涌出的铟液能够流入所述容置腔。3.根据权利要求1或2所述的自动超声波涂铟设备，其特征在于，所述铟槽内具有铟液。4.根据权利要求3所述的自动超声波涂铟设备，其特征在于，所述铟液的材质为纯铟、铟锡合金或者锡铋合金。5.根据权利要求1或2所述的自动超声波涂铟设备，其特征在于，所述铟槽内设有加热器，所述加热器用于将涂铟材料熔化成铟液。...

【专利技术属性】
技术研发人员：张曹，
申请(专利权)人：常州井芯半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：