单轴气缸压片组合装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单轴气缸压片组合装置，包括承载单元、多个下压单元，所述承载单元用于承载多个镀蜡的料件；所述下压单元与料件一一对应设置，所述下压单元能够挤压料件；所述下压单元包括驱动部、调节部及压头部，所述调节部用于连接驱动部和压头部；所述调节部包括调心球轴承和锁紧件；所述调心球轴承固定设置在所述驱动部上，所述调心球轴承能够在挤压平面内摆动；所述压头部固定设置在调心球轴承上且朝向料件设置；所述锁紧件能够在调心球轴承摆动到位时锁紧所述调心球轴承。本实用新型专利技术至少包括以下优点：利用多个下压单元能够对单个料件独立下压，且利用调节部能够补偿误差因素，进而保证每个料件的均具有较好的平整度和预设厚度。和预设厚度。和预设厚度。

【技术实现步骤摘要】
单轴气缸压片组合装置


[0001]本技术涉及料件压合
，具体的是一种单轴气缸压片组合装置。

技术介绍

[0002]本部分的描述仅提供与本技术公开相关的背景信息，而不构成现有技术。
[0003]晶元是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其在生产加工工艺中，通常需要在其表面进行滴蜡工序、在蜡凝固后对晶元表面需要进行压合工序，以使得蜡体表面相对晶元表面相对平整，且具有预设厚度。
[0004]现有技术中，通常采用大型压合板统一对多个晶元进行同步下压。由于每个晶元表面蜡体厚度不一，这样大型压合板在下压过程中会部分晶元先被挤压，这样造成应力集中现象较为明显，另外由于支撑晶元的支撑板的安装误差，大型压合板的安装及运动误差等因素的存在，均会对上述的相对平整和预设厚度造成影响。
[0005]应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本技术的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本技术的
技术介绍
部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

技术实现思路

[0006]为了克服现有技术中的缺陷，本技术实施例提供了一种单轴气缸压片组合装置，其利用多个下压单元能够对单个料件独立下压，且利用调节部能够补偿误差因素，进而保证每个料件的均具有较好的平整度和预设厚度。
[0007]本申请实施例公开了：一种单轴气缸压片组合装置，包括承载单元、多个下压单元，
[0008]所述承载单元用于承载多个镀蜡的料件；
[0009]所述下压单元与所述料件一一对应设置，所述下压单元在朝向所述承载单元移动过程中挤压所述料件；
[0010]所述下压单元包括驱动部、调节部及压头部，所述调节部用于连接驱动部和压头部；
[0011]所述调节部包括调心球轴承和锁紧件；
[0012]所述调心球轴承固定设置在所述驱动部的输出端上，所述调心球轴承能够在挤压平面内摆动；
[0013]所述压头部固定设置在所述调心球轴承上且朝向料件设置；
[0014]所述锁紧件固定设置在驱动部上，所述锁紧件能够在所述调心球轴承摆动到位时锁紧所述调心球轴承。
[0015]进一步地，所述调节部还包括压盖件和弹性件，所述压盖件的截面呈U字型，所述压盖件的内侧壁开设有供所述调心球轴承相对两侧嵌设的定位槽，所述压盖件的开口处与所述驱动部的输出轴之间形成有安装间隙，所述弹性件过盈填充在所述安装间隙中。
[0016]进一步地，所述压盖件包括第一压盖和第二压盖，所述第一压盖和第一压盖可拆卸连接，所述第一压盖能够与所述调心球轴承的第一外圈侧壁抵接设置，所述第二压盖能够与所述调心球轴承的第二外圈侧壁抵接设置。
[0017]进一步地，包括能够与所述调心球轴承的内圈侧壁抵接的固定件，所述固定件锁紧在所述驱动部的输出轴端面上。
[0018]进一步地，所述锁紧件包括固定设置在所述驱动部上的本体部、设置在所述本体部上的锁紧部，所述锁紧部的数量设置有多个，多个所述锁紧部独立运行且均能够与压盖件抵接设置。
[0019]进一步地，多个所述锁紧部绕所述驱动部周向设置。
[0020]进一步地，所述压头部固定设置在所述压盖件上且朝向料件设置，所述压头部采用弹性材料制成。
[0021]进一步地，多个所述下压单元均可独立运行。
[0022]进一步地，所述驱动部包括驱动本体、驱动轴及驱动基座，所述驱动轴上固定设置有导向件，所述导向件沿所述驱动轴的轴线方向延伸且穿过所述驱动基座。
[0023]进一步地，所述导向件包括固定设置在所述驱动基座上的导向套、穿设在所述导向套内且一端与所述输出轴固定设置的导向杆。
[0024]借由以上的技术方案，本技术的有益效果如下：利用多个下压单元能够对单个料件独立下压，且利用调节部能够补偿误差因素，进而保证每个料件的均具有较好的平整度和预设厚度。
[0025]为让本技术的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0027]图1是本技术实施例中的整体装置结构示意图；
[0028]图2是本技术实施例中的一个下压单元的结构示意图；
[0029]图3是本技术实施例中的一个下压单元的剖视图；
[0030]图4是图3中A处的结构放大图。
[0031]以上附图的附图标记：1、承载单元；2、下压单元；3、驱动部；4、调节部；5、压头部；6、导向套；7、导向杆；8、料件；31、驱动本体；32、驱动轴；33、驱动基座；41、调心球轴承；42、锁紧件；43、弹性件；44、第一压盖；45、第二压盖；46、固定件。
具体实施方式
[0032]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0033]需要说明的是，在本技术的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的和区别类似的对象，两者之间并不存在先后顺序，也不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0034]结合图1至图4所示，本实施例中公开了一种单轴气缸压片组合装置，包括承载单元1、多个下压单元2。所述承载单元1用于承载多个镀蜡的料件8，所述下压单元2与所述料件8一一对应设置，所述下压单元2在朝向所述承载单元1移动过程中挤压所述料件8。
[0035]本实施方式中，所述料件8可以为晶元，所述承载单元1包括位于水平面内的承载板，多个所述晶元放置在所述承载板上。其中为了提高承载效率，多个所述晶元呈环状阵列分布在所述承载板上，该晶元的数量为六个。
[0036]着重结合图2所示，每个所述下压单元2均包括驱动部3、调节部4及压头部5。所述驱动部3可以为气缸件，该驱动部3包括驱动本体31、驱动轴32及驱动基座33。其中所述驱动轴32沿上下方向延伸，所述驱动轴32的下端固定有连接轴，并且通过所述连接轴固定所述调节部4。所述驱动基座33位于所述驱动本体31的下端面处，以能够将所述驱动本体31进行有效固定。值得注意的是，本实施例中所述下压单元2的数量为六个，每个所述下压单元2均可独立运行。上述的设置方式中，采用多个独立下压的驱动部3替换原先整体下压，完全避免了相互的两个晶元之间产生的应力集中问题，进而保证本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单轴气缸压片组合装置，其特征在于，包括承载单元、多个下压单元，所述承载单元用于承载多个镀蜡的料件；所述下压单元与所述料件一一对应设置，所述下压单元在朝向所述承载单元移动过程中挤压所述料件；所述下压单元包括驱动部、调节部及压头部，所述调节部用于连接驱动部和压头部；所述调节部包括调心球轴承和锁紧件；所述调心球轴承固定设置在所述驱动部的输出端上，所述调心球轴承能够在挤压平面内摆动；所述压头部固定设置在所述调心球轴承上且朝向料件设置；所述锁紧件固定设置在驱动部上，所述锁紧件能够在所述调心球轴承摆动到位时锁紧所述调心球轴承。2.如权利要求1所述的单轴气缸压片组合装置，其特征在于，所述调节部还包括压盖件和弹性件，所述压盖件的截面呈U字型，所述压盖件的内侧壁开设有供所述调心球轴承相对两侧嵌设的定位槽，所述压盖件的开口处与所述驱动部的输出轴之间形成有安装间隙，所述弹性件过盈填充在所述安装间隙中。3.如权利要求2所述的单轴气缸压片组合装置，其特征在于，所述压盖件包括第一压盖和第二压盖，所述第一压盖和第一压盖可拆卸连接，所述第一压盖能够与所述调心球轴承的第一外圈侧壁抵接设置，所述第二压盖能够与所述调心球轴承的第二外圈侧壁抵...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡小辉，
申请(专利权)人：苏州辰轩光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：