固体摄像元件及其制造方法技术

本发明专利技术提供固体摄像元件及其制造方法。在具备在半导体基板上形成为矩阵状的多个受光元件、和分别对应于多个受光元件的多个彩色滤光器（１０）的固体摄像元件中，彩色滤光器（１０）由在多个受光元件的上层淀积着色粒子（１２）而形成的着色膜（８）、和填充在着色粒子（１２）之间的间隙中的树脂形成。填充在着色粒子（１２）之间的间隙中的树脂（９）可以是透明的，也可以被着色。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
近年，固体摄像元件被用作数字静态照相机或数字视频摄像机的摄像元件，或者被用作传真机、扫描器、复印机的图像读取元件，其需求正在扩大。作为主要的固体摄像器件，众所周知的是MOS型固体摄像元件、或CCD(coupled charged device电子耦合器件)型固体摄像元件。另外，近年，在多数情况下，这些固体摄像元件为了获取彩色图像而具备彩色滤光器。图5是表示以往的固体摄像元件的构成的部分剖面图。图5所示的固体摄像元件是CCD型固体摄像元件。如图5所示，固体摄像元件具备在半导体基板21上布置成矩阵状的多个光电二极管22。另外，光电二极管22的垂直方向的每列设置有垂直传送部23。在图5的例中，半导体基板21是p型硅基板，光电二极管22是n型的半导体区域。垂直传送部23具备沿着光电二极管22的垂直方向的列而形成的沟道区域23b、和设置在沟道区域23b上的传送电极23a。传送电极23a由绝缘膜24覆盖。另外，在各光电二极管22的上层，间隔着第1平坦化膜25，形成有层内微透镜26。而且，在层内微透镜26的上层，间隔着第2平坦化膜27，形成有彩色滤光器28a～28c本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固体摄像元件，其特征在于，具备在半导体基板上布置成矩阵状的多个受光元件、和分别对应于上述多个受光元件的多个彩色滤光器；上述彩色滤光器具有在上述多个受光元件的上层淀积着色粒子而形成的着色膜、和填充在上述着色粒子之间的间隙中的树脂。

【技术特征摘要】
JP 2005-7-6 197975/20051.一种固体摄像元件，其特征在于，具备在半导体基板上布置成矩阵状的多个受光元件、和分别对应于上述多个受光元件的多个彩色滤光器；上述彩色滤光器具有在上述多个受光元件的上层淀积着色粒子而形成的着色膜、和填充在上述着色粒子之间的间隙中的树脂。2.如权利要求1所述的固体摄像元件，其特征在于，上述着色粒子包含颜料粒子以及染料粒子中的至少一种。3.如权利要求1所述的固体摄像元件，其特征在于，填充在上述着色粒子之间的间隙中的树脂是透明的。4.如权利要求1所述的固体摄像元件，其特征在于，填充在上述着色粒子之间的间隙中的树脂被着色。5.如权利要求4所述的固体摄像元件，其特征在于，上述彩色滤光器形成在该固体摄像元件的有效像素区域的内侧以及外侧；在位于上述有效像素区域的外侧的彩色滤光器中，填充在上述着色粒子之间的间隙中的树脂，用相对于上述着色粒子的颜色为补色或对比色的颜色来着色。6.如权利要求1所述的固体摄像元件，其特征在于，上述多个彩色滤光器布置成矩阵状而形成彩色滤光器阵列；上述彩色滤光器阵列具有沿着相邻的上述彩色滤光器间的边界而形成了的格子状的遮光区域；上述遮光区域具有在相邻的...

【专利技术属性】
技术研发人员：竹内泰郎，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]