电光器件基片,电光器件，电子器件和投影显示设备制造技术

提供一种用于实现均匀的抛光速度，而不使夹层绝缘膜变厚的结构，该半导体基片上带有用于像素选择的晶体管区。液晶板基片带有隔离膜１２，第二夹层绝缘膜１１，导线膜１０，像素电极，和连接插头１５。下部模型图形Ａ和上部模型图形Ｂ在非像素区中的输入接线端焊盘２６的周边上形成。由于在模型图形Ａ和Ｂ上形成的第三夹层绝缘膜１３的表面高度升高，防止了在该位置处的过度抛光。结果在ＣＭＰ处理中实现均匀的抛光速度。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
本申请是下述申请的分案申请专利技术名称电光器件基片，电光器件，电子器件和投影显示设备申请日1998年6月16日申请号200310113109.8本专利技术涉及一种用于电光器件的基片，如反射液晶板基片，特别是涉及一种包括像素区的电光器件基片，该像素区形成在用于选择像素的元件区上。如以下所述，本申请人在1966年10月22日申请的日本专利申请No.8-279388中披露了液晶板基片、液晶板和投影显示设备的结构。如附图说明图17所示，采用反射液晶板作为光阀的投影显示设备(液晶投影器)包括沿系统光轴L0放置的光源110；包括集成透镜120和极化光转换器130的极化光照明单元100；用于借助S极化光反射面201，反射由极化光照明单元100发射的S极化光束的极化光束分束器200；分光镜412，用于从被极化光束分束器200的S极化光反射面201反射的光中分离出蓝光分量(B)；用于调制分离的蓝光分量(B)的反射液晶光阀300B；分光镜413，用于借助分光镜412分离蓝光之后，通过反射从光束中分离出红光分量(R)；用于调制分离的红光分量(R)的反射液晶光阀300R；用于调制通过分光镜413的剩余绿光分量本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电光器件基片，其在把对应各像素的开关元件设置在基片上的像素区中，具有多个夹层绝缘膜和多个导电层交替形成的层膜结构，在该多个导电层中的顶导电层下面至少一个所述夹层绝缘膜通过抛光变平，其特征在于：在所述基片上的非像素区中，具有包含在 经过所述抛光的所述夹层绝缘膜下面的所述导电层的多个不均匀模拟像素图形，所述不均匀模拟像素图形通过在所述基片上沿２维方向重复形成而形成。

【技术特征摘要】
JP 1997-6-17 159699/1997;JP 1998-3-2 49722/19981.一种电光器件基片，其在把对应各像素的开关元件设置在基片上的像素区中，具有多个夹层绝缘膜和多个导电层交替形成的层膜结构，在该多个导电层中的顶导电层下面至少一个所述夹层绝缘膜通过抛光变平，其特征在于在所述基片上的非像...

【专利技术属性】
技术研发人员：平林幸哉，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]