本实用新型专利技术实施例提供一种用于静电测试的监测装置及静电测试系统，属于CDM测试技术领域。所述监测装置包括：采集模块，与用于静电测试的静电泄放弹性针连接，用于在对所述静电泄放弹性针进行测试位置调试的过程中，采集所述静电泄放弹性针与被测试物体的接触压力，并生成对应的压力信号；控制模块，与所述采集模块连接，用于接收所述压力信号，并根据所述压力信号确定所述静电泄放弹性针与所述被测试物体的接触状态，以及生成对应于不同接触状态的不同控制指令；以及告警模块，与所述控制模块连接，用于响应于不同的所述控制指令而进行告警提示。通过该技术方案可以精确定位静电泄放弹性针的测试位置，提高测试的效率性和准确性。性。性。
【技术实现步骤摘要】
一种用于静电测试的监测装置及静电测试系统
[0001]本技术涉及CDM(Charged Device Model，充电器件模型)测试
，具体地涉及一种用于静电测试的监测装置及静电测试系统。
技术介绍
[0002]在对集成电路静电测试中，通常采用CDM进行测试。在CDM测试过程中，需要先把静电泄放弹性针(pogo pin，带弹簧的可伸缩测试针)进行初步调试，通过移动CDM测试设备的控制按钮，让静电泄放弹性针跟被测试芯片某个被测管脚产生良好接触并对当前调整好的位置进行标记，然后移开静电泄放弹性针，开始对被测芯片上下侧的金属板施加高压，让金属板内部产生均匀电场，从而对芯片进行充电，然后静电泄放弹性针通过再次回到最初设定的位置跟被测试芯片的某个管脚接触并产生放电，从而完成一次CDM测试。
[0003]当前，在CDM测试过程中静电泄放弹性针和被测芯片被测管脚的初步调试环节，主要通过被测芯片附近的视频图像的监控画面来判断静电泄放弹性针和被测芯片的被测管脚是否已经精确接触。考虑到监控摄像头容易受被测样品的大小、材质、形状以及测试角度的影响，所监控画面往往不是非常清晰，导致无法准确判断是否恰好接触。因此会导致两个后果，第一个后果是实际上未能接触上，也就没法进行后续正常放电测试，下一步还需重新调整接触位置；第二个后果是接触过紧，静电泄放弹性针压缩幅度超出了弹簧的可压缩能力，导致弹性针失去弹性，过大压力可把弹性针压断或压变形，这种情况需重新更换静电泄放弹性针。
技术实现思路
[0004]本技术实施例的目的是提供一种用于静电测试的监测装置及静电测试系统，用于解决上述存在的技术问题。
[0005]第一方面，本技术提供一种用于静电测试的监测装置，所述监测装置包括：采集模块，与用于静电测试的静电泄放弹性针连接，用于在对所述静电泄放弹性针进行测试位置调试的过程中，采集所述静电泄放弹性针与被测试物体的接触压力，并生成对应的压力信号；控制模块，与所述采集模块连接，用于接收所述压力信号，并根据所述压力信号确定所述静电泄放弹性针与所述被测试物体的接触状态，以及生成对应于不同接触状态的不同控制指令；以及告警模块，与所述控制模块连接，用于响应于所述控制指令而进行告警提示。
[0006]优选地，所述采集模块为电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器中的任意一种。
[0007]优选地，所述控制模块包括：数据处理单元，用于从所述采集单元获取所述压力信号，并对所述压力信号进行信号处理，以得到相应的压力值；指令生成单元，用于比较所述压力值与预设阈值，并根据比较结果确定所述静电泄放弹性针与所述被测试物体的接触状态，以及生成与所确定的接触状态相对应的控制指令。
[0008]优选地，若所述压力值小于或者等于所述预设阈值，则所述指令生成单元确定所述静电泄放弹性针与所述被测试物体处于正常接触状态，并生成显示所述正常接触状态的第一控制指令；或者若所述压力值大于所述预设阈值，则所述指令生成单元确定所述静电泄放弹性针与所述被测试物体处于接触过密状态，并生成显示所述接触过密状态的第二控制指令。
[0009]优选地，所述指令生成单元还用于：在所述数据处理单元未能从所述采集单元获取所述压力信号时，确定所述静电泄放弹性针与所述被测试物体处于未接触状态，则生成显示所述静电泄放弹性针与所述被测试物体处于所述未接触状态的第三控制指令。
[0010]优选地，所述告警模块包括：显示设备，用于通过显示所述静电泄放弹性针与所述被测试物体的接触状态来进行告警提示；和/或扬声器，用于通过发出不同的告警提示音来进行告警提示。
[0011]优选地，所述监测装置还包括放大模块，其连接于所述采集模块和所述控制模块之间，用于对所述采集模块所生成的压力信号放大处理，并将放大后的压力信号传输至所述控制模块。
[0012]通过上述监测装置，实时监测静电泄放弹性针与被测试物体的接触状态，对相应的接触状态采取告警提示，精准定位静电泄放弹性针的测试位置，保证静电泄放弹性针与被测试物体有效接触。
[0013]第二方面，本技术还提供一种静电测试系统，包括第一方面或者第一方面任意一项所述的用于静电测试的监测装置和采用充电器件模型的测试装置，其中所述测试装置包括静电泄放弹性针，与所述监测装置连接。
[0014]优选地，所述测试装置还包括静电场感应底板、静电感应接地板、高压电源以及切换开关，用于采用不同测试模式电路对被测试物体进行静电测试。
[0015]通过在上述静电测试系统中配置监测装置，监测静电泄放弹性针与被测试物体的接触状态，提高静电测试的准确性和可靠性，同时减少静电泄放弹性针的损坏，有效提高静电测试的效率性。
[0016]本技术实施例的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
[0017]附图是用来提供对本技术实施例的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本技术实施例，但并不构成对本技术实施例的限制。在附图中：
[0018]图1是根据一示例性实施例示出的一种用于静电测试的监测装置示意框图；
[0019]图2是根据一示例性实施例示出的一种电阻应变片电路示意图；
[0020]图3是根据一示例性实施例示出的一种用于静电测试的监测装置示意框图；
[0021]图4是根据一示例性实施例示出的一种控制模块示意框图；
[0022]图5是根据一示例性实施例示出的一种静电测试系统示意图。
具体实施方式
[0023]以下结合附图对本技术实施例的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术实施例，并不用于限制本技术实施例。
[0024]图1是根据一示例性实施例示出的一种用于静电测试的监测装置示意框图。如图1所示，监测装置10包括采集模块101，与用于静电测试的静电泄放弹性针连接，用于在对所述静电泄放弹性针进行测试位置调试的过程中，采集所述静电泄放弹性针与被测试物体的接触压力，并生成对应的压力信号；控制模块102，与所述采集模块101连接，用于接收所述压力信号，并根据所述压力信号确定所述静电泄放弹性针与所述被测试物体的接触状态，以及生成对应于不同接触状态的不同控制指令；以及告警模块103，与所述控制模块102连接，用于响应于所述控制指令而进行告警提示。
[0025]举例而言，在静电测试放电过程中，需要静电泄放弹性针与被测试物体有效接触，被测试物体的静电才可以经由与之接触的静电泄放弹性针释放到外部。为了能精确获知静电泄放弹性针与被测试物体是否有效接触，本公开实施例将采集模块101与静电泄放弹性针连接，例如与静电泄放弹性针的弹簧连接，实时采集由于静电泄放弹性针与被测试物体接触而导致弹簧变形所产生的应力。根据力学原理可知，该弹簧所产生的应力与静电泄放弹性针和被测试物体之间的接触压力相关联。进一步，控制单元本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于静电测试的监测装置，其特征在于，所述监测装置包括：采集模块，与用于静电测试的静电泄放弹性针连接，用于在对所述静电泄放弹性针进行测试位置调试的过程中，采集所述静电泄放弹性针与被测试物体的接触压力，并生成对应的压力信号；控制模块，与所述采集模块连接，用于接收所述压力信号，并根据所述压力信号确定所述静电泄放弹性针与所述被测试物体的接触状态，以及生成对应于不同接触状态的不同控制指令；以及告警模块，与所述控制模块连接，用于响应于所述控制指令而进行告警提示。2.根据权利要求1所述的监测装置，其特征在于，所述采集模块为电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器中的任意一种。3.根据权利要求1所述的监测装置，其特征在于，所述控制模块包括：数据处理单元，用于从所述采集模块获取所述压力信号，并对所述压力信号进行信号处理，以得到相应的压力值；指令生成单元，用于比较所述压力值与预设阈值，并根据比较结果确定所述静电泄放弹性针与所述被测试物体的接触状态，以及生成与所确定的接触状态相对应的控制指令。4.根据权利要求3所述的监测装置，其特征在于，若所述压力值小于或者等于所述预设阈值，则所述指令生成单元确定所述静电泄放弹性针与所述被测试物体处于正常接触状态，并生成显示所述正常接触状态的第一控制指令；或者若所述压力值大于所述预设阈值，则所述指令生成单元确定所述静电泄放弹性针与所述被测试物体处于接触过密状态，并生成显示所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：鹿祥宾，陈燕宁，董广智，钟明琛，单书珊，刘波，
申请(专利权)人：北京芯可鉴科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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