本实用新型专利技术提供一种能够高精度地研磨衬垫原料的衬垫原料研磨装置。一种衬垫原料研磨装置(100)，具备：衬垫原料送出部(110)，用于送出衬垫原料(S)；橡胶辊(122)，形成为圆筒形状且绕第一轴线(O1)旋转；研磨辊(125)，绕第二轴线(O2)旋转并通过与所述橡胶辊(122)协作来研磨衬垫原料(S)；衬垫原料卷取机(180)，用于卷取研磨后的衬垫原料(S)；和第一拉力施加机构(150)，配置在衬垫原料运送方向上的所述研磨辊(125)的后方侧，并且对衬垫原料(S)施加从衬垫原料(S)被所述研磨辊(125)研磨的研磨区域朝向衬垫原料运送方向后方侧的拉力。朝向衬垫原料运送方向后方侧的拉力。朝向衬垫原料运送方向后方侧的拉力。
【技术实现步骤摘要】
衬垫原料研磨装置
[0001]本技术涉及一种能够高精度而高效地研磨衬垫原料的衬垫原料研磨装置。
技术介绍
[0002]众所周知，在对晶片等基板进行研磨的基板研磨装置中，广泛执行通过对贴合在平板上的研磨衬垫按压基板并使之相对移动来研磨基板的方法(例如，参照专利文献 1)。
[0003]在这种基板研磨中使用的研磨衬垫是通过裁剪衬垫原料而制造的，需要确保较高的平面度。因此，需要高精度地研磨衬垫原料。
[0004]因此，公开了高精度地研磨衬垫原料的各种研磨装置(例如，参照专利文献2)。
[0005]专利文献1：日本专利公开平9
‑
155721号公报
[0006]专利文献2：日本专利公开2000
‑
158303号公报
[0007]然而，为了进一步高精度地研磨晶片等基板，期待制造更高精度的衬垫原料。
技术实现思路
[0008]本技术是鉴于上述情况而提出的，其目的之一是提供一种能够高精度地研磨衬垫原料的衬垫原料研磨装置。
[0009]本技术为了解决上述问题而提出了以下方案。
[0010]关于本技术的衬垫原料研磨装置的一方式，具备：进给辊，形成为圆筒形状，并且以能够绕第一轴线旋转的方式被支撑；研磨辊，形成为圆筒形状，所述研磨辊以能够绕与所述第一轴线平行的第二轴线旋转的方式被支撑，并且通过与所述进给辊协作来研磨衬垫原料；进给辊驱动部，用于旋转驱动所述进给辊；研磨辊驱动部，用于旋转驱动所述研磨辊；和第一拉力施加机构，配置在运送衬垫原料的衬垫原料运送方向上的所述研磨辊的后方侧，并且对衬垫原料施加从衬垫原料被所述研磨辊研磨的研磨区域朝向衬垫原料运送方向后方侧的拉力。
[0011]根据本技术的衬垫原料研磨装置，由于具备形成为圆筒形状且以能够绕第一轴线旋转的方式被支撑的进给辊、形成为圆筒形状且以能够绕第二轴线旋转的方式被支撑的研磨辊、用于旋转驱动进给辊的进给辊驱动部、用于旋转驱动研磨辊的研磨辊驱动部和第一拉力施加机构，因此例如对于从衬垫原料送出部(原料辊)送出并被送到进给辊的衬垫原料来说，当衬垫原料在进给辊上移动的期间，在研磨区域中，绕第二轴线旋转的研磨辊与进给辊协作来研磨衬垫原料。
[0012]具体而言，在进给辊与研磨辊之间形成规定的间隙(间隔；Gap)，通过使衬垫原料经过该间隙(间隔)来研磨衬垫原料。
[0013]此时，通过第一拉力施加机构从由研磨辊研磨衬垫原料的研磨区域朝向衬垫原料运送方向上的后方侧对衬垫原料施加拉力，从而朝向研磨区域后方侧拉伸衬垫原料，在研磨区域中能够抑制衬垫原料产生伸缩差，从而抑制衬垫原料厚度产生偏差。
[0014]其结果，能够稳定且以高精度(均匀的厚度)研磨衬垫原料。
[0015]在此，研磨区域是为了概念性地表示由研磨辊研磨衬垫原料的区域而使用的。
[0016]另外，在本技术的衬垫原料研磨装置中，所述第一拉力施加机构也可以具备：第一拉力检测机构，用于检测从所述研磨区域朝向衬垫原料运送方向后方侧对衬垫原料产生的拉力；和第一拉力调整机构，基于由所述第一拉力检测机构检测出的拉力，将朝向衬垫原料运送方向后方侧对衬垫原料产生的拉力调整为规定的范围。
[0017]根据本技术的衬垫原料研磨装置，由于第一拉力施加机构具备第一拉力检测机构和第一拉力调整机构，通过第一拉力检测机构，检测衬垫原料中产生的朝向运送方向上的后方侧的拉力，并且基于由第一拉力检测机构检测出的拉力，通过第一拉力调整机构，以将衬垫原料中产生的从研磨区域朝向运送方向上的后方侧的拉力设为规定的范围的方式进行调整，因此能够抑制运送到进给辊的衬垫原料的厚度产生偏差，能够使衬垫原料的厚度稳定。
[0018]其结果，能够以稳定的厚度研磨衬垫原料并制造高质量的研磨衬垫。
[0019]另外，本技术的衬垫原料研磨装置也可以具备：第二拉力施加机构，配置在衬垫原料运送方向上的所述研磨辊的前方侧，并且对衬垫原料施加从所述研磨区域朝向衬垫原料运送方向前方侧的拉力。
[0020]根据本技术的衬垫原料研磨装置，由于具备第二拉力施加机构，对衬垫原料施加朝向衬垫原料运送方向上的前方侧的拉力，并且对待研磨的衬垫原料施加均等的拉力，因此能够将衬垫原料研磨成均匀的厚度。
[0021]其结果，能够进一步高精度且稳定地研磨衬垫原料。
[0022]另外，在本技术的衬垫原料研磨装置中，所述第二拉力施加机构也可以具备：第二拉力检测机构，用于检测从所述研磨区域朝向衬垫原料运送方向前方侧对衬垫原料产生的拉力；和第二拉力调整机构，基于由所述第二拉力检测机构检测出的拉力，将朝向衬垫原料运送方向前方侧对衬垫原料产生的拉力调整为规定的范围。
[0023]根据本技术的衬垫原料研磨装置，由于第二拉力施加机构具备第二拉力检测机构和第二拉力调整机构，通过第二拉力检测机构，检测衬垫原料中产生的朝向运送方向上的前方侧的拉力，第二拉力调整机构基于该拉力，以将衬垫原料中产生的朝向衬垫原料运送方向上的前方侧的拉力设为规定的范围的方式进行调整，因此能够抑制运送到进给辊的衬垫原料的厚度产生偏差，能够使衬垫原料的厚度稳定。
[0024]其结果，能够以稳定的厚度研磨衬垫原料并制造高质量的研磨衬垫。
[0025]另外，在本技术的衬垫原料研磨装置中，在所述研磨辊的内部形成有能够供调温用流体流通的调温用流体通道，能够通过使调温用流体在所述调温用流体通道中流通来调整对衬垫原料进行研磨时的研磨温度。
[0026]根据本技术的衬垫原料研磨装置，由于在研磨辊的内部形成有能够供调温用流体流通的调温用流体通道，能够通过使调温用流体在调温用流体通道中流通来调整对衬垫原料进行研磨时的研磨温度，因此能够因研磨时的温度而以高精度研磨衬垫原料。
[0027]根据本技术所涉及的衬垫原料研磨装置，能够高精度地研磨衬垫原料。
附图说明
[0028]图1是用于说明本技术的第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的大致结
构的从侧面观察的示意性结构图。
[0029]图2是用于说明第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的详细内容的从侧面观察的图。
[0030]图3是用于说明第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的辊布局的大致结构的侧视图。
[0031]图4是用于说明第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的橡胶辊(进给辊) 的大致结构的沿衬垫原料运送方向观察的图。
[0032]图5是用于说明第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的研磨辊的大致结构的沿衬垫原料运送方向观察的图。
[0033]图6是用于说明第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的电刷单元的大致结构的沿衬垫原料运送方向观察的图。
[0034]图7A及图7B是用于说明第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的辊间隔调整机构的大致结构的从侧面观察的图，上侧表示研磨辊与橡胶辊(进给辊)的间隔调整前的状态，下侧表示间隔本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种衬垫原料研磨装置，其特征在于，具备：进给辊，形成为圆筒形状，并且以能够绕第一轴线旋转的方式被支撑；研磨辊，形成为圆筒形状，所述研磨辊以能够绕与所述第一轴线平行的第二轴线旋转的方式被支撑，并且通过与所述进给辊协作来研磨衬垫原料；进给辊驱动部，用于旋转驱动所述进给辊；研磨辊驱动部，用于旋转驱动所述研磨辊；和第一拉力施加机构，配置在运送衬垫原料的衬垫原料运送方向上的所述研磨辊的后方侧，并且对衬垫原料施加从衬垫原料被所述研磨辊研磨的研磨区域朝向衬垫原料运送方向后方侧的拉力。2.根据权利要求1所述的衬垫原料研磨装置，其特征在于，所述第一拉力施加机构具备：第一拉力检测机构，用于检测从所述研磨区域朝向衬垫原料运送方向后方侧对衬垫原料产生的拉力；和第一拉力调整机构，基于由所述第一拉力检测机构检测出的拉力，将朝向衬垫原料运送方向后方侧对衬垫原...
【专利技术属性】
技术研发人员：桧山正太郎，柏谷诚，
申请(专利权)人：三菱综合材料技术株式会社，
类型：新型
国别省市：
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