抓取装置及空中运输车制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种抓取装置及空中运输车，应用于自动控制技术领域，其中抓取装置包括：基板、电机、双向丝杆、第一支撑座、第二支撑座、第一夹持机构、第二夹持机构和第一传感检测部，电机驱动双向四杆，双向丝杆带动第一夹持机构、第二夹持机构移动，第一传感检测部用于检测第一夹持机构与第二夹持机构之间的相对位置，并在所述相对位置满足第一预设位置时，触发所述电机关闭输出。通过电机结合第一传感检测部驱动两个夹持机构，抓取装置的整体结构简单，设备体积小，设备重量轻，而且可以精确控制夹持距离，既不容易磕碰目标物，也不容易对目标物过度夹持，保障搬运中的生产效率和生产安全。全。全。

【技术实现步骤摘要】
抓取装置及空中运输车


[0001]本专利技术属于自动控制
，更确切的说涉及半导体制造设备，尤其涉及一种抓取装置及空中运输车。

技术介绍

[0002]在半导体制造工厂中，用于空中搬运晶圆盒的空中运输车(也称天车)，通常吊装有抓取装置(如夹爪)，通过该抓取装置来抓取晶圆盒。
[0003]现有空中运输车中，抓取装置的结构复杂，占用体积大，设备重量重，对空中运输车的应用场合限制较多，如控制方式复杂，如占用较大的空中空间，如要求空中轨道能承受较重设备的运动等等。
[0004]基于此，本申请提供了解决以上技术问题的技术方案。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供一种抓取装置及空中运输车，可基于各个通用部件形成结构简单、体积小、重量轻的抓取部，有利于设备安装及调试，有利于提高空中运输车在各种场合中的应用性。
[0006]本专利技术提供的技术方案如下：
[0007]本专利技术提供一种抓取装置，包括：基板、电机、双向丝杆、第一支撑座、第二支撑座、第一夹持机构、第二夹持机构和第一传感检测部，所述第一夹持机构包括第一夹持部、第一连接板、第一导轨和第一螺母座，所述第二夹持机构包括第二夹持部、第二连接板、第二导轨和第二螺母座；
[0008]其中，所述第一夹持部与所述第一连接板连接后，通过所述第一导轨安装于所述基板上，以及通过所述第一螺母座套设于所述双向丝杆上；
[0009]所述第二夹持部与所述第二连接板连接后，通过所述第二导轨安装于所述基板上，以及通过所述第二螺母座套设于所述双向丝杆上；
[0010]所述双向丝杆通过所述第一支撑座和所述第二支撑座支撑安装于所述基板上；
[0011]所述第一传感检测部用于检测所述第一夹持机构与所述第二夹持机构之间的相对位置，并在所述相对位置满足第一预设位置时，触发所述电机关闭输出。
[0012]上述抓取装置的结构简单，体积小，重量轻，可以应用与多种空中运输车。
[0013]可选地，所述第一传感检测部包括第一传感器、第二传感器和第一检测板，所述第一检测板用于在所述相对位置满足第一预设位置时触发所述第一传感器输出触发信号或者触发所述第二传感器输出触发信号，所述触发信号用于触发所述电机关闭输出。
[0014]可选地，所述第一传感器和所述第二传感器分别安装于所述基板上，并分别位于所述第一连接板的两侧；
[0015]所述第一检测板安装于所述第一连接板上，以在所述第一连接板的移动中跟随移动。
[0016]可选地，所述抓取装置还包括导向检测机构，所述导向检测机构包括第二传感检测部和多个导向块；
[0017]其中，所述多个导向块分别安装于所述基板下方，以在抓取目标物中进行第一导向定位；
[0018]所述第二传感检测部用于在所述第一导向定位到达第二预设位置时，对所述目标物进行传感检测，并根据检测结果触发所述电机驱动所述双向丝杆，以使所述第一夹持机构和所述第二夹持机构作相向移动或者相背移动，所述相向移动用于夹持所述目标物，所述相背移动用于释放所述目标物。
[0019]可选地，所述第二传感检测部包括第三传感器、第四传感器、定位板、弹性组件和检测柱；
[0020]所述第三传感器和所述第四传感器分别安装于所述基板上，且所述第四传感器的安装高度高于所述第三传感器；
[0021]所述定位板上安装有所述弹性组件和所述检测柱，所述定位板通过所述弹性组件安装于所述基板下；
[0022]其中，所述定位板在重力作用下，使得所述检测柱处于第一检测位置，所述第一检测位置位于所述第三传感器的感应区域下方；
[0023]当所述导向块在进行第一导向定位中，所述定位板与所述目标物上的定位位置接触，并在所述目标物的顶触下，使得所述检测柱进入所述第三传感器的感应区域中触发所述第三传感器输出第一感应信号以表征与所述目标物的接触达到第一抓取条件；
[0024]当所述定位板在所述目标物的顶触下，使得所述检测柱离开所述第三传感器的感应区域并进入所述第四传感器的感应区域时，触发所述第三传感器输出第二感应信号和触发所述第四传感器输出第三感应信号以与所述目标物的接触达到第二抓取条件。
[0025]可选地，所述第三传感器包括第一光发射组件和第一光接收组件，所述第一光发射组件和所述第一光接收组件相对设置；
[0026]所述第四传感器包括第二光发射组件和第二光接收组件，所述第二光发射组件和所述第二光接收组件相对设置。
[0027]本专利技术还提供一种方案，所述第一夹持部包括手指板定位块，所述手指板定位块的两侧设置有斜面以在所述第一夹持部接触所述目标物时通过所述斜面进行导向定位。
[0028]可选地，所述第一夹持部还包括V型定位块，所述V型定位块用于与所述目标物上预设的V型口进行导向定位。
[0029]本专利技术还提供一种方案，所述第一夹持部还包括第五传感器，所述第五传感器安装于所述手指板定位块中，所述第五传感器用于检测第一夹持部是否夹持有所述目标物。
[0030]本专利技术还提供一种空中运输车，包括前面任意一项所述的抓取装置、吊装带和控制系统，其中吊装带连接于所述抓取装置的基板上，所述控制系统用于控制所述吊装带的伸缩以使所述抓取装置抓取目标物，并在所述抓取装置抓取到所述目标物后，吊装搬运所述目标物到指定位置。
[0031]本专利技术提供一种抓取装置及空中运输车，能够带来以下至少一种有益效果：
[0032]通过电机结合第一传感检测部驱动两个夹持机构，不仅简化了抓取装置的整体结构，减小设备体积，降低设备重量，而且使得连接于双向丝杆上的两个夹持机构之间的相对
位置可以得到精确控制，这样夹持机构在夹持目标物中，既不容易磕碰目标物，也不容易对目标物过度夹持，可更精准、平衡、平稳地快速抓取住目标物(如晶圆盒)，保障了晶圆产品在搬运中的生产效率和生产安全。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0034]图1为本专利技术提供的一种抓取装置的立体结构示意图；
[0035]图2为本专利技术提供的一种抓取装置在未抓取目标物时的俯视示意图；
[0036]图3为本专利技术提供的一种抓取装置在未抓取目标物时的前视示意图；
[0037]图4为本专利技术提供的一种抓取装置在未抓取目标物时第二传感检测部的立体示意图；
[0038]图5为本专利技术提供的一种抓取装置在抓取目标物时的俯视示意图；
[0039]图6为本专利技术提供的一种抓取装置在抓取目标物时的前视示意图；
[0040]图7为本专利技术提供的一种抓取装置在抓取目标物时第二传感检测部的立体示意图；
[0041]图8为本专利技术提供的一种抓取装置在异常抓取目标物时第二传感检测部的立体示意图；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种抓取装置，其特征在于，应用于空中运输车，所述抓取装置包括：基板、电机、双向丝杆、第一支撑座、第二支撑座、第一夹持机构、第二夹持机构和第一传感检测部，所述第一夹持机构包括第一夹持部、第一连接板、第一导轨和第一螺母座，所述第二夹持机构包括第二夹持部、第二连接板、第二导轨和第二螺母座；其中，所述第一夹持部与所述第一连接板连接后，通过所述第一导轨安装于所述基板上，以及通过所述第一螺母座套设于所述双向丝杆上；所述第二夹持部与所述第二连接板连接后，通过所述第二导轨安装于所述基板上，以及通过所述第二螺母座套设于所述双向丝杆上；所述双向丝杆通过所述第一支撑座和所述第二支撑座支撑安装于所述基板上；所述第一传感检测部用于检测所述第一夹持机构与所述第二夹持机构之间的相对位置，并在所述相对位置满足第一预设位置时，触发所述电机关闭输出。2.根据权利要求1所述的抓取装置，其特征在于，所述第一传感检测部包括第一传感器、第二传感器和第一检测板，所述第一检测板用于在所述相对位置满足第一预设位置时触发所述第一传感器输出触发信号或者触发所述第二传感器输出触发信号，所述触发信号用于触发所述电机关闭输出。3.根据权利要求2所述的抓取装置，其特征在于，所述第一传感器和所述第二传感器分别安装于所述基板上，并分别位于所述第一连接板的两侧；所述第一检测板安装于所述第一连接板上，以在所述第一连接板的移动中跟随移动。4.根据权利要求1所述的抓取装置，其特征在于，所述抓取装置还包括导向检测机构，所述导向检测机构包括第二传感检测部和多个导向块；其中，所述多个导向块分别安装于所述基板下方，以在抓取目标物中进行第一导向定位；所述第二传感检测部用于在所述第一导向定位到达第二预设位置时，对所述目标物进行传感检测，并根据检测结果触发所述电机驱动所述双向丝杆，以使所述第一夹持机构和所述第二夹持机构作相向移动或者相背移动，所述相向移动用于夹持所述目标物，所述相背移动用于释放所述目标物。5.根据权利要求4所述的抓取装置，其特征在于，所述第二传感检测部包括第三传感器、第四传感器、定位板、弹性组件和检测柱；所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜宝宝，缪峰，
申请(专利权)人：弥费实业上海有限公司，
类型：发明
国别省市：