制造电子装置的设备以及支撑电子装置制造室的设备制造方法及图纸

本发明专利技术揭示了一种电子装置制造室及其形成方法。在第一方面中，提供了一种第一多板室。该第一多板室包括：（１）中央板，具有第一侧面和第二侧面；（２）第一侧板，适合与中央板的第一侧面连接；以及（３）第二侧板，适合与中央板的第二侧面连接。当中央板、第一侧板和第二侧板连接在一起时，构成基本呈圆筒形的内室区域。还提供了许多其它内容。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及平板显示和/或电子装置制造，尤其涉及。
技术介绍
由于平板显示器中使用的基板尺寸增大，用于制造大型平板显示器的电子装置制造室(如处理和/或传送室)的尺寸也必须增大。但是，基于该室的外形尺寸和/或重量，制造和运输这种室的难度也随着该室的尺寸而增大。因此，需要改进的用于制造大型平板显示器的电子装置制造室，包括改进的运输这种室的方法。
技术实现思路
在某些实施例中，提供了一种多板室，包括(1)中央板，具有第一侧面和第二侧面；(2)第一侧板，适合与中央板的第一侧面连接；(3)第二侧板，适合与中央板的第二侧面连接。当中央板、第一侧板和第二侧板连接在一起时，构成基本呈圆筒形的内室区域。在某些实施例中，提供了一种中央板，具有(1)第一开口侧；(2)第二开口侧，与第一开口侧相对；(3)第一平面，位于第一开口侧和第二开口侧之间，适合与室连接，并具有其大小允许基板通过的开口；(4)第二平面，与第一平面相对，位于第一开口侧和第二开口侧之间。该第二平面适合与室连接，并具有至少两个其大小允许基板通过的垂直堆叠的开口。该多板室还包括(1)第一侧板，适合与中央板的第一开口侧连接，并具有至少第一平面，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种设备，包括：电子装置制造室支撑件，具有一个或多个滑动机构；且电子装置制造室，与一个或多个滑动机构相连；其中，一个或多个滑动机构接纳电子装置制造室的膨胀，并阻止电子装置制造室移出电子装置制造室支撑件上的位置。

【技术特征摘要】
US 2004-6-2 60/576,902;US 2004-7-12 60/587,1091.一种设备，包括电子装置制造室支撑件，具有一个或多个滑动机构；且电子装置制造室，与一个或多个滑动机构相连；其中，一个或多个滑动机构接纳电子装置制造室的膨胀，并阻止电子装置制造室移出电子装置制造室支撑件上...

【专利技术属性】
技术研发人员：S库利塔，WT布劳尼干，M伊纳贾瓦，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]