半导体器件测试用防呆方法、装置及系统制造方法及图纸

技术编号:31804801 阅读:29 留言:0更新日期:2022-01-08 11:06
本申请提供了一种半导体器件测试用防呆方法、装置及系统,方法应用于ATE,ATE与至少一个防呆对象连接;每个防呆对象上设置有对应不同的特定属性值的标志器件;ATE中设置有与每个标志器件分别对应的激励源和测量单元;每个标志器件和对应的激励源、测量单元组成一个防呆测量回路;ATE与防呆对象的连接测试线与对应的防呆测量回路中的连接线处于绑定状态;防呆对象包括待测器件和/或对待测器件进行测试用到的指定器件;针对每个回路,均通过激励源对标志器件提供激励;通过测量单元检测标志器件的实测属性值;判断实测属性值与特定属性值是否一致;如果否,按照预设防呆机制进行防呆操作。本申请通过设置防呆测量回路,起到有效的防呆作用。的防呆作用。的防呆作用。

【技术实现步骤摘要】
半导体器件测试用防呆方法、装置及系统


[0001]本申请涉及半导体测试
,尤其是涉及一种半导体器件测试用防呆方法、装置及系统。

技术介绍

[0002]半导体自动化测试,指的是利用自动测试设备(Automatic Test Equipment,ATE)对被测器件(Device Under Test,DUT)的各项参数指标进行检测,剔除残次品以控制半导体器件的出厂品质。半导体自动化测试中的防呆,指的是通过在ATE中增加检测手段,防止因为设备操作人员操作失误导致的测试事故。
[0003]现有技术中,很少有ATE厂商会在自己的产品中考虑防呆措施,因此半导体自动化测试中的防呆,主要依靠测试厂商对自己操作人员的培训以及定期检查解决。
[0004]依靠培训和检查来解决防呆问题,缺点很显著。在实际生产中,即使有完善的制度,人犯错的概率仍远大于设备,而一旦产生测试事故,通常对测试厂商带来的纠错成本是巨大的。用人力作为防呆手段,不可靠,不经济,且需要妥善设计制度,并进行全面培训,实现难度较大。

技术实现思路

>[0005]本申请本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体器件测试用防呆方法,其特征在于,所述方法应用于自动测试设备ATE,所述ATE与至少一个防呆对象连接;每个所述防呆对象上设置有标志器件;每个所述标志器件对应有不同的特定属性值;所述ATE中设置有与每个所述标志器件分别对应的激励源和测量单元;每个所述标志器件和所述标志器件对应的所述激励源、所述测量单元组成一个防呆测量回路;所述ATE与所述防呆对象的连接测试线与对应的防呆测量回路中的连接线处于绑定状态;所述防呆对象包括待测器件和/或对所述待测器件进行测试时所用到的指定器件;所述方法包括:针对每个所述防呆测量回路,均执行以下步骤:通过所述激励源对所述标志器件提供激励;通过所述测量单元检测所述标志器件的实测属性值;判断所述实测属性值与所述特定属性值是否一致;如果否,按照预设防呆机制进行防呆操作。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述标志器件包括具有特定电阻值的电阻;所述标志器件对应的激励源包括电流源;所述标志器件对应的测量单元包括电压表;所述电阻、所述电流源和所述电压表均并联设置。3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,通过所述测量单元检测所述标志器件的实测属性值的步骤,包括:通过所述电压表检测所述电阻在所述电流源激励下的电压值;根据所述电压值和所述电流源的电流值,计算所述电阻的实测电阻值。4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,如果所述防呆对象为所述待测器件进行测试时所用到的电感,将具有特定电感值的所述电感作为所述标志器件;将所述ATE中的电压源作为所述激励源;将所述ATE中的电流表作为所述测量单元;所述电感、所述待测器件、所述电压源和所述电流表均串联设置。5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,通过所述测量单元检测所述标志器件的实测属性值的步骤,包括:通过所述电流表确定当所述待测器件的阻抗为零时,所述电流表的目标电流值,以及所述电感的电流值从零上升到所述目标电流值时上升时间;根据所述目标电流值、所述上升时间以及所述电压源的电压值,计算所述电感对应的实测电感值。6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述ATE设置有显示装置或报警装置;按照预设防呆机制进...

【专利技术属性】
技术研发人员:耿霄雄胡江孙海洋钟锋浩
申请(专利权)人:杭州长川科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1