【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种实时信号处理系统,具体地说,涉及一种用于光刻装置的 对准方法及系统。
技术介绍
在工业装置中,由于高精度和高产能的需要,分布着大量高速实时信号采 样、数据采集、信号实时处理系统。其中信号实时处理系统需要采用有效的信号处理模型和方法以达到高精密、高效率的要求。有该需求的装置包括集成 电路制造光刻装置、液晶面板光刻装置、光掩膜刻印装置、MEMS(微电子机 械系统)/MOMS (微光机系统)光刻装置、先进封装光刻装置、印刷电路板光 刻装置、印刷电路板加工装置等。在现有技术中,如果上述装置中光刻对准系统使用的光源是DUV(深紫外) 光源,则该辐射源以波长为248nm、 193nm的准分子激光光源为主,也有的使 用157nm的准分子激光光源。此外,还有使用EUV (极紫外)脉冲辐射源和X 射线脉沖辐射源的对准系统。当对准系统使用的光源是脉冲辐射源时,对准系统中的对准方法对于掩膜 对准的重复精度有较大影响。通常,在该对准过程中,需要用探测到的脉冲辐 射信号振幅值代替脉冲辐射波形的能量值,即用脉冲辐射强度的最大值代替其 能量值。此时,由于光电探测的光电串扰、电气噪声和测量抖动,会导致实际 测量得到的脉沖辐射振幅最大值带有一定的噪声,从而与真实值存在一定误差。 同时,由于辐射发生源的激发控制信号与脉冲辐射的采样控制信号之间存在同 步误差,使得实际测量得到的振幅值并非脉沖辐射信号的最大值,且脉冲辐射 振幅测量值的变化与真实值之间的变化不成正比关系,从而导致了使用这些测 量值限制了对准位置重复精度的提高。在中国专利申请第200410055004.6号中,揭 ...
【技术保护点】
一种光刻装置的对准方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:a.启动对准扫描,使对准掩膜图形与工件台基准板对准图形相对移动;b.同步对掩膜台与工件台的位置数据进行采样,并对脉冲辐射探测信号进行扩展采样;c.对脉冲辐射探 测信号扩展采样得到的采样值进行自适应滤波去噪处理;d.对脉冲辐射激发数进行判断,若其少于设定的激发数,转至步骤b,否则转到步骤e;e.将脉冲辐射探测信号扩展采样值经过自适应滤波去噪后的值用于逼近脉冲模型,得到每个脉冲辐射的能 量值;f.用得到的每个脉冲辐射能量值及其对应的对准掩膜图形与工件台图形间的相对位置逼近模型得到相应的模型参数,用所述模型参数得到对准掩膜图形相对工件台图形之间的位置关系;g.完成对准扫描,将步骤f的结果用于校准对准掩膜图形坐 标系坐标相对工件台坐标系坐标之间的关系。
【技术特征摘要】
1、一种光刻装置的对准方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤a.启动对准扫描,使对准掩膜图形与工件台基准板对准图形相对移动;b.同步对掩膜台与工件台的位置数据进行采样,并对脉冲辐射探测信号进行扩展采样;c.对脉冲辐射探测信号扩展采样得到的采样值进行自适应滤波去噪处理;d.对脉冲辐射激发数进行判断,若其少于设定的激发数,转至步骤b,否则转到步骤e;e.将脉冲辐射探测信号扩展采样值经过自适应滤波去噪后的值用于逼近脉冲模型,得到每个脉冲辐射的能量值;f.用得到的每个脉冲辐射能量值及其对应的对准掩膜图形与工件台图形间的相对位置逼近模型得到相应的模型参数,用所述模型参数得到对准掩膜图形相对工件台图形之间的位置关系;g.完成对准扫描,将步骤f的结果用于校准对准掩膜图形坐标系坐标相对工件台坐标系坐标之间的关系。2、 如权利要求1所述的光刻装置的对准方法,其特征在于,所述步骤a中对准 掩膜图形与工件台基准板对准图形的相对移动包括只移动掩膜台、只移动工件 台或将掩膜台与工件台同时移动。3、 如权利要求1所述的光刻装置的对准方法,其特征在于,所述对准扫描是关 于掩膜台和工件台的位置、辐射器激发和脉沖辐射探测信号之间的同步扫描。4、 如权利要求1所述的光刻装置的对准方法,其特征在于,所述步骤b是根据 经过校准位置数据采样和脉冲辐射探测信号扩展采样后的同步时序关系,同时 对位置数据进行采样和对脉冲辐射探测信号进行扩展采样。5、 如权利要求1所述的光刻装置的对准方法,其特征在于,所述步骤c中的自 适应滤波去噪处理与采样同时进行。6、 如权利要求5所述的光刻装置的对准方法,其特征在于,所述自适应滤波去 噪处理方法包括最小均方类自适应滤波方法、递归最小二乘方类自适应滤波 方法、小波变换类自适应滤波,或使用小波变换类自适应滤波与最小均方类自 适应滤波方法,小波变换类自适应滤波与递归最小二乘方类自适应滤波方法形 成的组合滤波器进行处理。7、 如权利要求1所述的光刻装置的对准方法,其特征在于,所述步骤f中,每 个脉冲辐射能量值及其对应的对准掩膜图形与工件台图形间相对位置的二维逼 近才莫型为《(义,2) = 〃1.义2+//2,义.2 + 〃3.22+//4.义+ >5.2+;6,其中X可以用Y或Z 代替,X、 Y、 Z分别表示x、 y、 z等方向上的对准掩膜图形和工件台图形间的 相对位置,M A是逼近多项式的系数,g(X,Z)和g(Z,Z)分别是随x、 z方向上 和随y、 z方向上对准掩膜图形和工件台图形间的相对位置变化而变化的透射脉 冲辐射能量。8、 如权利要求1所述的光刻装置的对准方法,其特征在于,所述步骤f中,每 个脉冲辐射能量值及其对应的对准掩膜图形与工件台图形间相对位置的一维逼 近模型为g(I) = 〃rX2+/vy + y 3,其中X可以用Y或Z代替,X...
【专利技术属性】
技术研发人员:李焕炀,陈勇辉,周畅,严天宏,
申请(专利权)人:上海微电子装备有限公司,
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。