【技术实现步骤摘要】
一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂
[0001]本技术涉及晶圆加工
,尤其是涉及一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂。
技术介绍
[0002]现有技术中,晶圆尺寸具有多种,例如4寸、6寸以及12寸等,目前通过传送手臂进行传送,仅仅针对特定的尺寸或两种尺寸的晶圆,兼容性差,同时现有的可以兼容两种尺寸的晶圆传送手臂采用独立气道吸附实现晶圆固定,结构复杂。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是提供一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂,适用于多种尺寸的晶圆传送,结构简单,定位可靠,提高了设备的兼容性。
[0004]为实现上述目的,本技术提供了一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂,包括臂体,所述臂体的安装端设置有安装孔,所述臂体的承载端开设有第一承载槽、第二承载槽以及调节槽,所述第一承载槽、所述第二承载槽以及所述调节槽同心设置,所述调节槽的中部设置有升降吸附固定机构,所述调节槽内对称设置有调节承载机构。
[0005]优选的,所述升降吸附固定机构包括锥形吸盘、升降管、升降气缸以及连接环,所述连接环一侧与所述升降气缸固定连接,所述连接环另一侧与所述升降管底部固定连接,所述升降管顶部与所述锥形吸盘固定连接。
[0006]优选的,所述升降管侧面固定有两层密封圈,所述升降管插设于供气管内。
[0007]优选的,所述调节承载机构包括三角形托板、调节板、龙门固定架以及定位顶丝,所述定位顶丝固定于所述龙门固定架上,所述调节板一端穿过所述龙门固定架并设置于插槽内,所述调节板另一端与所述三角形托板固定连接,所述三角 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂,包括臂体,其特征在于:所述臂体的安装端设置有安装孔,所述臂体的承载端开设有第一承载槽、第二承载槽以及调节槽,所述第一承载槽、所述第二承载槽以及所述调节槽同心设置,所述调节槽的中部设置有升降吸附固定机构,所述调节槽内对称设置有调节承载机构。2.根据权利要求1所述的一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂,其特征在于:所述升降吸附固定机构包括锥形吸盘、升降管、升降气缸以及连接环,所述连接环一侧与所述升降气缸固定连接,所述连接环另一侧与所述升降管底部...
【专利技术属性】
技术研发人员:唐正隆,王正辉,吴星华,储长流,张立,
申请(专利权)人:合肥开悦半导体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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