一种涂胶显影机制造技术

本发明专利技术公开了一种涂胶显影机，包括机体及机体内设置的工艺单元

【技术实现步骤摘要】
一种涂胶显影机


[0001]本专利技术涉及涂胶显影机
，尤其涉及一种涂胶显影机
。

技术介绍

[0002]在晶圆进行光刻加工时，需要先将化学品室中的化学溶液涂覆到晶圆上的操作，其中涂胶工艺涂覆的是光刻胶，显影工艺涂覆的是显影液
。
[0003]现有的涂胶显影机中化学品室大多是设置在工艺单元的下方或其中一侧，如前侧或后侧，此种布置方式会使化学品室与多个工艺单元之间的距离不同，需要使用不同长度的管路和对应的控制系统，控制系统较为臃杂，并且较长的管路也会导致光刻胶的凝结，使光刻胶不能稳定供应，影响涂胶显影机的稳定运行
。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在需要使用不同长度的管路和对应的控制系统，控制系统较为臃杂，并且较长的管路也会导致光刻胶的凝结，使光刻胶不能稳定供应，影响涂胶显影机的稳定运行的缺点，而提出的一种涂胶显影机
。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0006]一种涂胶显影机，包括机体及机体内设置的工艺单元
、
化学品室，所述工艺单元包括涂胶单元；
[0007]所述涂胶单元设有多个且对称设置在化学品室两侧，化学品室与所述涂胶单元通过管道
、
分流管连接；
[0008]位于化学品室两侧的多个所述分流管对称设置；
[0009]所述管道与分流管的连接处设置在两侧分流管的对称轴线上
。
[0010]优选的，多个所述分流管的管径
、
长度及高度落差完全相同
。
[0011]优选的，所述管道与分流管的连接处还设有分流阀
。
[0012]优选的，所述化学品室内设有多个用于光刻胶储藏区及用于安装光刻胶泵的泵安装层，光刻胶储藏区内设有多个储存罐，泵安装层内设有光刻胶泵，光刻胶泵进料端与储存罐贯通连接
。
[0013]更优选的，所述化学品室一侧还设有光刻胶暂存管，光刻胶暂存管进料一端与光刻胶泵出料端相连接，光刻胶暂存管出料一端与管道贯通连接
。
[0014]更优选的，所述化学品室上下两侧均设有多个滑轨，机体内对应滑轨固定安装有滑座
。
[0015]优选的，所述工艺单元还包括冷板单元，所述冷板单元设置在所述化学品室的另一端相对位置
。
[0016]更优选的，所述冷板单元两侧均设有多个热板单元
。
[0017]优选的，所述机体内对应工艺单元一侧设有功能模块，功能模块内设有中转单元，功能模块另一侧设有晶圆盒站
。
[0018]一种涂胶显影机，包括机体及机体内设置的工艺单元
、
化学品室，所述工艺单元包括涂胶单元和显影单元；
[0019]所述涂胶单元设有多个且对称设置在化学品室两侧，化学品室与所述涂胶单元通过第一管道
、
第一分流管连接；
[0020]所述显影单元设有多个且对称设置在化学品室两侧，机体外侧对应化学品室位置设有供液装置，供液装置与所述显影单元通过第二管道
、
第二分流管连接；
[0021]位于化学品室两侧的多个所述第一分流管对称设置；且第一管道与第一分流管的连接处设置在两侧第一分流管的对称轴线上；
[0022]位于供液装置两侧的多个所述第二分流管对称设置，且第二管道与第二分流管的连接处设置在两侧第二分流管的对称轴线上
。
[0023]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0024]1、
本专利技术中，通过将涂胶单元对称布置在化学品室两侧，大大缩短了光刻胶管路的长度，缩短了光刻胶的输送距离，有效的避免了光刻胶在管路内的凝结，保证了光刻胶的稳定供应；
[0025]2、
本专利技术中，通过两侧对称设置的分流管，配合分流阀对光刻胶进行均匀分流，使多个分流管内的光刻胶能均匀送料，保证光刻胶的同步送进可均匀控制，保证了光刻胶的供应效果；
[0026]3、
本专利技术中，通过完全对称设置的分流管，有效的方便了光刻胶供应的控制，大大简化了供应系统，方便了设备的检修，简化了涂胶显影机的结构设计，降低了涂胶显影机的设计和制造成本
。
[0027]本专利技术设计新颖，通过将涂胶单元布置在化学品室两侧的设计，有效的缩短了光刻胶的供应管路，避免了光刻胶在管路内的凝结，保证了光刻胶的稳定供应，同时也大大简化了光刻胶供应系统的设计，保证了涂胶显影机的稳定使用
。
附图说明
[0028]图1为本专利技术的管路系统示意图
。
[0029]图2为本专利技术中实施例五的管路系统示意图
。
[0030]图3为本专利技术的化学品室与工艺单元位置关系示意图
。
[0031]图4为本专利技术的化学品室在工艺单元位置关系俯视示意图
。
[0032]图5为本专利技术的化学品室结构示意图
。
[0033]图6为本专利技术的化学品室侧面结构示意图
。
[0034]图中：工艺单元
1、
涂胶单元
11、
显影单元
12、
供液装置
121、
热板单元
13、
冷板单元
14、
化学品室
2、
滑轨
21、
光刻胶储藏区
22、
储存罐
221、
泵安装层
23、
光刻胶暂存管
24、
管道
3、
第一管道
301、
第一分流管
3011、
第二管道
302、
第二分流管
3021、
分流管
31、
分流阀
311、
滑座
4、
晶圆盒站
5、
功能模块
6、
中转单元
61。
具体实施方式
[0035]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
[0036]实施例一
[0037]参照图1‑6，一种涂胶显影机，包括机体及机体内设置的工艺单元
1、
化学品室2，所述工艺单元1包括涂胶单元
11
和显影单元
12
；
[0038]所述涂胶单元
11
设有多个且对称设置在化学品室2两侧，化学品室2与所述涂胶单元
11
通过管道
3、
分流管
31
连接；
[0039]位于化学品室2两侧的多个所述分流管
31
对称设置；
[0040]所述管道3与分流管
31
的连接处本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种涂胶显影机，其特征在于，包括机体及机体内设置的工艺单元
(1)、
化学品室
(2)
，所述工艺单元
(1)
包括涂胶单元
(11)
和显影单元
(12)
；所述涂胶单元
(11)
设有多个且对称设置在化学品室
(2)
两侧，化学品室
(2)
与所述涂胶单元
(11)
通过管道
(3)、
分流管
(31)
连接；位于化学品室
(2)
两侧的多个所述分流管
(31)
对称设置；所述管道
(3)
与分流管
(31)
的连接处设置在两侧分流管
(31)
的对称轴线上
。2.
根据权利要求1所述的一种涂胶显影机，其特征在于，多个所述分流管
(31)
的管径
、
长度及高度落差完全相同
。3.
根据权利要求1所述的一种涂胶显影机，其特征在于，所述管道
(3)
与分流管
(31)
的连接处还设有分流阀
(311)。4.
根据权利要求1所述的一种涂胶显影机，其特征在于，所述化学品室
(2)
内设有多个用于光刻胶储藏区
(22)
及用于安装光刻胶泵的泵安装层
(23)
，光刻胶储藏区
(22)
内设有多个储存罐
(221)
，泵安装层
(23)
内设有光刻胶泵，光刻胶泵进料端与储存罐
(221)
贯通连接
。5.
根据权利要求4所述的一种涂胶显影机，其特征在于，所述化学品室
(2)
一侧还设有光刻胶暂存管
(24)
，光刻胶暂存管
(24)
进料一端与光刻胶泵出料端相连接，光刻胶暂存管
(24)
出料一端与管道
(3)
贯通连接
。6.
根据权利要求4所述的一种涂胶显影机，其特征在于，所述化学品室
(2)
上下两侧均设有多个滑轨
(21)
，机体内对应滑轨
(21)
固定安装有滑座
(4)。7.
根据权利要求1所述的一种涂胶显...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡虹，王向东，徐政伟，赵明山，魏祥红，邵东，
申请(专利权)人：合肥开悦半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：