一种涂胶显影机用恒温加热装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种涂胶显影机用恒温加热装置，包括底座和主壳体，底座的顶部通过转杆转动连接有立柱，立柱的顶部与主壳体的底部固定连接，转杆的一端贯穿底座的内壁并固定连接有旋钮，底座上设有与旋钮对应的锁紧机构；主壳体上设有对称设置的多个安装槽，安装槽内设有上下相通的通口，通口内固定插设有防尘网，安装槽内滑动插设有控制盒，安装槽的内壁上设有与控制盒对应的缓冲机构，控制盒上设有与缓冲机构对应的定位槽

【技术实现步骤摘要】
一种涂胶显影机用恒温加热装置


[0001]本专利技术涉及显影机加热板
，尤其涉及一种涂胶显影机用恒温加热装置
。

技术介绍

[0002]涂胶显影机广泛应用于半导体晶片加工处理过程，尤其是在涂胶显影过程中，包括粘附促进剂涂层
、
光刻胶
、
前烘
、
曝光
、
抗蚀层
、
后烘等过程的处理
。
[0003]涂胶显影机在进行涂胶时一般采用布辊输送，之后进行均匀涂胶，为了使工作效率更快，需要使用到加热设备
。
[0004]但是现有的加热设备在使用时，加热的热量流动效率低，空气流通差，直接影响设备的加热效果，且传统的涂胶显影机加热设备不方便进行拆卸更换，从而当加热设备损坏时不便对其进行维修
。

技术实现思路

[0005]1.
要解决的技术问题
[0006]本专利技术的目的是为了解决现有技术中加热设备在使用时，加热的热量流动效率低，空气流通差和不方便拆卸更换的问题，而提出的一种涂胶显影机用恒温加热装置
。
[0007]2.
技术方案
[0008]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0009]一种涂胶显影机用恒温加热装置，包括底座和主壳体，所述底座的顶部通过转杆转动连接有立柱，所述立柱的顶部与主壳体的底部固定连接，所述转杆的一端贯穿底座的内壁并固定连接有旋钮，所述底座上设有与旋钮对应的锁紧机构；
[0010]所述主壳体上设有对称设置的多个安装槽，所述安装槽内设有上下相通的通口，所述通口内固定插设有防尘网，所述安装槽内滑动插设有控制盒，所述安装槽的内壁上设有与控制盒对应的缓冲机构，所述控制盒上设有与缓冲机构对应的定位槽，所述安装槽的槽口处通过转轴转动连接有挡板，所述主壳体的外壁上固定连接有卡块，所述挡板上固定连接有与卡块对应的卡紧机构；
[0011]所述控制盒上设有与通口对应的安装口，所述安装口内固定连接有风扇和电热棒，所述安装口的内壁上固定连接有温度传感器，所述控制盒内设有控制器
、
存储器
、
信号接收器和电源，所述温度传感器
、
电源和信号接收器的输出端均与控制器的输入端连接，所述控制器的输出端分别与风扇
、
电热棒和存储器的输入端连接
。
[0012]优选地，所述锁紧机构包括弧形插杆，所述弧形插杆通过销轴与底座转动连接，所述旋钮上环绕设与有弧形插杆对应的多个插槽，所述销轴上套设有扭力弹簧，所述扭力弹簧的两端分别与弧形插杆和底座固定连接
。
[0013]优选地，所述底座的底部固定连接有多个紧固块，所述紧固块上设有紧固口
。
[0014]优选地，所述底座上设有与通口位置对应的多个通风孔
。
[0015]优选地，所述控制盒的外壁上固定嵌设有电源接头，所述电源接头的输出端与电
源的输入端连接，所述挡板上设有与电源接头对应的接线口
。
[0016]优选地，所述卡紧机构包括固定块，所述固定块上滑动插设有卡杆，所述卡杆靠近卡块的一端固定套接有卡套，所述卡杆的顶部固定连接有拉杆
。
[0017]优选地，所述卡杆上套设有第一弹簧，所述第一弹簧的两端分别与卡套和固定块固定连接
。
[0018]优选地，所述缓冲机构包括滑杆和缓冲板，所述滑杆上滑动套接有对称设置的两个滑块，所述滑块与缓冲板之间通过交错设置的两个连接杆连接，两个所述连接杆的两端分别与滑块和缓冲板转动连接，所述滑杆上套设有第二弹簧，所述第二弹簧的两端分别与两个滑块相抵
。
[0019]优选地，所述风扇的外壁上固定连接有多个锁紧块，所述锁紧块上设有锁紧口
。
[0020]3.
有益效果
[0021]相比于现有技术，本专利技术的优点在于：
[0022](1)
本专利技术中，通过加热结构和吹风结构的设置，可以有效保证加热装置的空气流动性，同时温度监测控制机构的设置，可以使装置进行恒温加热，同时拆卸安装机构的设置，可以方便对装置进行拆卸维护
。
[0023](2)
本专利技术中，通过底座的设置，将主壳体与布辊进行连接，然后转动旋钮带动转杆转动，对主壳体的角度进行调节，并通过温度传感器对安装口内的温度进行监测，然后将监测信号发送到控制器，控制器然后根据预设阈值，对电热棒和风扇进行启动，从而进行加热，当需要拆卸控制盒时，将挡板打开，并拉动控制盒，将控制盒从安装槽内抽出即可
。
[0024](3)
本专利技术中，锁紧机构的设置，可以方便对旋钮进行固定，同时紧固块可以方便对底座进行固定，卡紧机构可以方便对挡板进行固定，同时缓冲机构可以对控制盒起到一定弹性缓冲作用，防尘网的设置，可以有效起到防尘作用
。
附图说明
[0025]图1为本专利技术提出的一种涂胶显影机用恒温加热装置的结构示意图；
[0026]图2为本专利技术提出的一种涂胶显影机用恒温加热装置转杆处的侧视结构示意图；
[0027]图3为图1的
A
处结构示意图；
[0028]图4为图1的
B
处结构示意图；
[0029]图5为本专利技术提出的一种涂胶显影机用恒温加热装置的控制系统示意图
。
[0030]图中：1底座
、2
主壳体
、3
转杆
、4
立柱
、5
旋钮
、6
安装槽
、7
防尘网
、8
控制盒
、9
转轴
、10
挡板
、11
卡块
、12
安装口
、13
风扇
、14
电热棒
、15
温度传感器
、16
控制器
、17
存储器
、18
信号接收器
、19
电源
、20
弧形插杆
、21
销轴
、22
紧固块
、23
通风孔
、24
电源接头
、25
固定块
、26
卡杆
、27
卡套
、28
拉杆
、29
第一弹簧
、30
滑杆
、31
缓冲板
、32
滑块
、33
连接杆
、34
第二弹簧
、35
锁紧块
。
具体实施方式
[0031]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种涂胶显影机用恒温加热装置，包括底座
(1)
和主壳体
(2)
，其特征在于，所述底座
(1)
的顶部通过转杆
(3)
转动连接有立柱
(4)
，所述立柱
(4)
的顶部与主壳体
(2)
的底部固定连接，所述转杆
(3)
的一端贯穿底座
(1)
的内壁并固定连接有旋钮
(5)
，所述底座
(1)
上设有与旋钮
(5)
对应的锁紧机构；所述主壳体
(2)
上设有对称设置的多个安装槽
(6)
，所述安装槽
(6)
内设有上下相通的通口，所述通口内固定插设有防尘网
(7)
，所述安装槽
(6)
内滑动插设有控制盒
(8)
，所述安装槽
(6)
的内壁上设有与控制盒
(8)
对应的缓冲机构，所述控制盒
(8)
上设有与缓冲机构对应的定位槽，所述安装槽
(6)
的槽口处通过转轴
(9)
转动连接有挡板
(10)
，所述主壳体
(2)
的外壁上固定连接有卡块
(11)
，所述挡板
(10)
上固定连接有与卡块
(11)
对应的卡紧机构；所述控制盒
(8)
上设有与通口对应的安装口
(12)
，所述安装口
(12)
内固定连接有风扇
(13)
和电热棒
(14)
，所述安装口
(12)
的内壁上固定连接有温度传感器
(15)
，所述控制盒
(8)
内设有控制器
(16)、
存储器
(17)、
信号接收器
(18)
和电源
(19)
，所述温度传感器
(15)、
电源
(19)
和信号接收器
(18)
的输出端均与控制器
(16)
的输入端连接，所述控制器
(16)
的输出端分别与风扇
(13)、
电热棒
(14)
和存储器
(17)
的输入端连接
。2.
根据权利要求1所述的一种涂胶显影机用恒温加热装置，其特征在于，所述锁紧机构包括弧形插杆
(20)
，所述弧形插杆
(20)
通过销轴
(21)
与底座
(1)
转动连接，所述旋钮
(5)
上环绕设与有弧形插杆
(20)
对应的多个插槽，所述销轴
...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱志林，
申请(专利权)人：深圳市圣柏林橡塑电子有限公司，
类型：发明
国别省市：