一种机械手臂制造技术

本发明专利技术公开了一种机械手臂，包括底板

【技术实现步骤摘要】
一种机械手臂


[0001]本专利技术涉及涂胶显影设备晶圆运输
，更具体地说，涉及一种机械手臂
。

技术介绍

[0002]涂胶显影设备是与光刻胶配套的晶圆处理设备，其对晶圆进行涂覆光刻胶
、
显影等工
。
在涂胶显影设备中，存在单独设置的对中装置，将从晶圆盒获取的晶圆进行对中，保证晶圆在机械臂上的位置可控；机械臂将晶圆从对中装置抓取后，运输至各种工艺处理单元，如涂胶
、
显影；为了提高涂胶显影设备的产能，会将机械臂的运行速度提升
。
[0003]单独设置的对中装置，存在如下缺点：晶圆在对中装置中进行对中占用工艺时间，导致设备的生产效率较低
。
同时，将机械臂的运行速度提升，会导致机械臂抓取晶圆不够牢固，导致晶圆在运输中移动或飞片
。
晶圆在运输过程中移动会导致设备不能正确地获取晶圆的位置，导致后续工艺流程的位置出现偏差，从而使晶圆的良品率降低；晶圆在运输过程中飞片，会导致设备停止，甚至有可能造成安全事故
。
[0004]另外，由于晶圆生产时的误差，导致同一尺寸的晶圆的实际大小不一致，而后续的涂胶
、
显影等工艺过程需要对晶圆与工艺装置的间隙控制到合适的距离
。
现有技术中针对同一尺寸，其将晶圆中心与周边位置设置成固定值，而晶圆大小不一致时，晶圆周边与工艺装置的距离存在差异，不能使所有的晶圆满足合适的距离，造成晶圆的涂覆效果差
。

技术实现思路
/>[0005]本专利技术的目的在于提供一种机械手臂，用以解决上述
技术介绍
中存在的技术问题
。
[0006]本专利技术技术方案公开了一种机械手臂，包括底板
、
支撑组件
、
驱动组件
、
连接组件和夹持组件；
[0007]所述驱动组件与所述连接组件活动连接，所述夹持组件与所述连接组件活动连接，所述连接组件组件和所述夹持组件均设置为两组，所述夹持组件的夹持部位设置为弧形结构，且弧度与晶圆的弧度相适应，所述驱动组件驱动两组所述夹持组件同步沿靠近或远离晶圆方向移动
。
[0008]在一个优选地实施例中，所述驱动组件包括驱动气缸
、
与所述驱动气缸的推杆连接的连接块，所述连接组件与所述连接块活动连接
。
[0009]在一个优选地实施例中，所述连接块两侧均开设有腰型槽，所述连接组件靠近所述连接块一端设置有凸起结构，所述凸起结构伸入所述腰型槽中
。
[0010]在一个优选地实施例中，所述连接组件包括相互连接的第一连杆
、
第二连杆和固定杆，所述第一连杆与所述第二连杆活动连接，所述第二连杆穿过所述固定杆设置，且二者滑动连接；所述夹持组件远离夹持晶圆一侧间隔设置有两限位杆，其中一个所述限位杆穿过固定杆与所述第二连杆活动连接，另一所述限位杆与固定杆活动连接
。
[0011]在一个优选地实施例中，所述第二连杆上设置有一直线段，该直线段穿过所述固
定杆设置，且与所述固定杆滑动连接
。
[0012]在一个优选地实施例中，所述第一连杆的两端均设置有凸起结构，所述第二连杆的两端均设置有腰型槽，所述第一连杆一端的凸起结构伸入所述连接块上的腰型槽中，另一端的所述凸起结构伸入所述第二连杆一端的腰型槽中，穿过固定杆的所述限位杆上设置有凸起结构，该凸起结构伸入所述第二连杆另一端的腰型槽中
。
[0013]在一个优选地实施例中，所述夹持组件为弧形夹块
。
[0014]在一个优选地实施例中，所述底板上且位于所述连接块下方依次设置有若干个检测孔，若干个所述检测孔依次设置在所述连接块的移动路径上，检测时所述检测孔内为半真空状态
。
[0015]本专利技术技术方案的有益效果是：
[0016]1,
本方案将对中步骤与运输步骤进行结合，减少工艺时间，且夹持的稳定性高，在运输过程中辅助夹持晶圆，使晶圆可以稳定传输至目标位置，避免出现飞片的问题
。
[0017]2.
本方案的机械手臂可判断晶圆的大小，对后续工艺处理提供帮助
。
附图说明
[0018]图1为本专利技术俯视图，
[0019]图2为本专利技术整体结构示意图，
[0020]图3为本专利技术夹持组件
、
连接组件和驱动组件结构示意图，
[0021]图4为本专利技术图1中
A
部放大图，
[0022]图5为本专利技术检测孔设置图
。
[0023]附图标记说明：1底板
、2
驱动气缸
、3
连接块
、4
第一连杆
、5
第二连杆
、6
固定杆
、7
凸起结构
、8
腰型槽
、9
弧形夹块
、10
弧形支撑块
、11
检测孔
、12
晶圆
、13
限位杆
。
具体实施方式
[0024]下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明
。
本专利技术的实施例是为了示例和描述方便起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本专利技术限于所公开的形式
。
很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的
。
选择和描述实施例是为了更好说明本专利技术的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本专利技术从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例
。
[0025]如图1‑3所示，本专利技术技术方案公开了一种机械手臂，包括底板
1、
支撑组件
、
驱动组件
、
连接组件和夹持组件
。
所述驱动组件与所述连接组件活动连接，所述夹持组件与所述连接组件活动连接，所述连接组件组件和所述夹持组件均设置为两组，所述夹持组件的夹持部位设置为弧形结构，且弧度与晶圆
12
的弧度相适应，所述驱动组件驱动两组所述夹持组件同步沿靠近或远离晶圆
12
方向移动
。
[0026]晶圆
12
通过支撑组件进行支撑，支撑组件设置为四组且位于同一圆周上，每组包括一个弧形支撑块
10
，通过支撑块毁上的支撑面对晶圆
12
进行支撑
。
驱动组件和连接组件相互配合对夹持组件进行驱动，进而实现对晶圆
12
的夹持和自动对中
。
本方案将对中步骤与运输步骤进行结合，减少工艺时间，且夹持的稳定性高，在运输过程中辅助夹持晶圆
12
，使晶圆
12
可以稳定传输至目标位置，避免出现飞片的问题
。
[0027]所述驱动组件包括驱动气缸...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种机械手臂，包括底板和设置在底板上的支撑组件
，
其特征在于：还包括驱动组件
、
连接组件和夹持组件；所述驱动组件设置在所述底板上，所述驱动组件与所述连接组件活动连接，所述夹持组件与所述连接组件活动连接，所述连接组件和所述夹持组件均设置为两组，所述驱动组件驱动两组所述夹持组件同步沿靠近或远离晶圆方向移动
。2.
根据权利要求1所述的一种机械手臂，其特征在于：所述驱动组件包括驱动气缸
、
与所述驱动气缸的推杆连接的连接块，所述连接组件与所述连接块活动连接
。3.
根据权利要求2所述的一种机械手臂，其特征在于：所述连接块两侧均开设有腰型槽，所述连接组件靠近所述连接块一端设置有凸起结构，所述凸起结构伸入所述腰型槽中
。4.
根据权利要求3所述的一种机械手臂，其特征在于：所述连接组件包括相互连接的第一连杆
、
第二连杆和固定杆，所述第一连杆与所述第二连杆活动连接，所述第二连杆穿过所述固定杆设置，且二者滑动连接；所述夹持组件远离夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏祥红，邵东，田来，
申请(专利权)人：合肥开悦半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：