本申请实施例公开了一种蒸镀装置和蒸镀设备。其中，蒸镀装置用于对晶圆进行蒸镀，蒸镀装置包括：蒸镀腔体、蒸镀源、行星锅和中心锅。蒸镀源设置在所述蒸镀腔体的底部；行星锅，用于放置第一晶圆，所述行星锅设置有多个，多个所述行星锅设置在所述蒸镀源的上方；其中，多个所述行星锅绕一竖直线公转，所述竖直线穿过所述蒸镀源；中心锅，用于放置第二晶圆，所述中心锅设置在所述蒸镀源的上方，所述竖直线穿过所述中心锅。本申请实施例提供的蒸镀装置，通过在蒸镀腔体上部设置中心锅，能够有效提高蒸镀材料的利用率。镀材料的利用率。镀材料的利用率。
【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置以及蒸镀设备
[0001]本申请涉及显示
，尤其涉及一种蒸镀装置以及蒸镀设备。
技术介绍
[0002]蒸镀，属于一种物理沉积，是通过某种方式将蒸镀材料转化成气体分子蒸镀材料，气体分子蒸镀材料在真空环境中运动附着在待蒸镀物表面，从而在待蒸镀物表面形成薄膜的过程。
[0003]蒸镀设备的行星锅用于放置和固定待蒸镀物，待蒸镀物比如晶圆。蒸镀设备在加工待蒸镀物时，从蒸镀源出来的气体分子蒸镀材料，具有中间浓度大而集中，周围相对浓度小而分散的特点。现有的蒸镀设备的行星锅只能沉积部分气体分子蒸镀材料，对蒸镀材料的利用率不高。
技术实现思路
[0004]本申请实施例的目的是提供一种蒸镀装置以及蒸镀设备，能够有效提高蒸镀材料的利用率。
[0005]第一方面，本申请实施例提供了一种蒸镀装置，用于对晶圆进行蒸镀，蒸镀装置包括：蒸镀腔体、蒸镀源、行星锅和中心锅。蒸镀源设置在所述蒸镀腔体的底部；行星锅，用于放置第一晶圆，所述行星锅设置有多个，多个所述行星锅设置在所述蒸镀源的上方；其中，多个所述行星锅绕一竖直线公转，所述竖直线穿过所述蒸镀源；中心锅，用于放置第二晶圆，所述中心锅设置在所述蒸镀源的上方，所述竖直线穿过所述中心锅。
[0006]可选的，所述中心锅绕所述竖直线自转。
[0007]可选的，所述蒸镀装置包括驱动装置，所述驱动装置包括：驱动主轴、驱动支架和发动机。驱动主轴，所述驱动主轴连接于所述中心锅的非蒸镀面，用于驱动所述中心锅自转；驱动支架，所述驱动支架为多个；其中，多个所述驱动支架的一端分别连接于所述驱动主轴；多个所述驱动支架的另一端连接多个所述行星锅，所述驱动支架用于驱动所述行星锅公转；以及发动机，所述发动机设置在所述蒸镀腔体的外部，所述发动机用于提供机械能给所述驱动主轴和所述驱动支架。
[0008]可选的，所述中心锅的自转方向和所述行星锅的公转方向相反。
[0009]可选的，所述蒸镀装置还包括连接杆，所述连接杆用于调节所述中心锅的高度，所述连接杆连接所述中心锅和所述蒸镀腔体。
[0010]可选的，以所述蒸镀源所在水平面为基准面，所述中心锅与所述基准面的距离大于所述行星锅最高点与所述基准面的距离；所述中心锅的半径大于所述行星锅与所述竖直线的最小距离。
[0011]可选的，所述行星锅倾斜设置，所述行星锅的蒸镀面朝向所述蒸镀源。
[0012]可选的，所述竖直线穿过所述中心锅的中心以及所述蒸镀源的中心。
[0013]可选的，所述中心锅的蒸镀面为平面或凹面。
[0014]第二方面，本申请实施例还提供一种蒸镀设备，包括前述的蒸镀装置。
[0015]本申请实施例提供的蒸镀装置和蒸镀设备，针对示例性的蒸镀装置的行星锅公转也不能覆盖所有蒸镀区域而造成蒸镀区域浪费的问题，提出在蒸镀腔体的上部设置中心锅，由于中心锅也能够蒸镀晶圆，中心锅设置在行星锅覆盖不到的区域，将蒸镀不到行星锅上的蒸镀区域充分利用起来，所以设置中心锅能够减少蒸镀区域的浪费；将原本行星锅覆盖不到的区域对应的浪费的气体分子蒸镀材料利用起来，能够有效提高蒸镀材料的利用率；而且中心锅的设置还能增加晶圆的蒸镀产量，提高了产能，提升了生产效率。
附图说明
[0016]所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：
[0017]图1是本申请实施例的蒸镀装置的第一种实施方式的结构示意图；
[0018]图2是本申请实施例的蒸镀装置的第二种实施方式的结构示意图；
[0019]图3是本申请实施例的蒸镀装置中驱动主轴的第一种实施方式的部分结构示意图；
[0020]图4是本申请实施例的蒸镀装置中驱动主轴的第二种实施方式的部分结构示意图；
[0021]图5是本申请实施例的蒸镀装置的第三种实施方式的结构示意图；
[0022]图6是本申请实施例的蒸镀装置中关于驱动主轴的一种实施方式的结构示意图；
[0023]图7是本申请实施例的蒸镀装置的第四种实施方式的结构示意图；
[0024]图8是本申请实施例的蒸镀装置的第五种实施方式的结构示意图；
[0025]图9是本申请实施例的蒸镀装置的第六种实施方式的结构示意图。
[0026]其中：10
‑
蒸镀腔体；100
‑
蒸镀源；110
‑
电子枪；120
‑
偏转磁场； 130
‑
加热灯；200
‑
行星锅；210
‑
圆形轨道；240
‑
接线座；300
‑
中心锅； 400
‑
驱动装置；410
‑
驱动主轴；420
‑
驱动支架；430
‑
发动机；411
‑ꢀ
第一驱动副轴；4111
‑
第一齿轮；412
‑
第二驱动副轴；4121
‑
第二齿轮； 500
‑
连接杆。
具体实施方式
[0027]需要理解的是，这里所使用的术语、公开的具体结构和功能细节，仅仅是为了描述具体实施例，是代表性的，但是本申请可以通过许多替换形式来具体实现，不应被解释成仅受限于这里所阐述的实施例。
[0028]在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示相对重要性，或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，除非另有说明，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征；“多个”的含义是两个或两个以上。术语“包括”及其任何变形，意为不排他的包含，可能存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/ 或其组合。
[0029]另外，“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、
“
外”等指示的方位或位置关系的术语，是基于附图所示的方位或相对位置关系描述的，仅是为了便于描述本申请的简化描述，而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0030]此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，或是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0031]下面参考附图和可选的实施例对本申请作详细说明。
[0032]如图1所示，本申请实本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：蒸镀腔体；蒸镀源，设置在所述蒸镀腔体的底部；行星锅，用于放置第一晶圆，所述行星锅设置有多个，多个所述行星锅设置在所述蒸镀源的上方；其中，多个所述行星锅绕一竖直线公转，所述竖直线穿过所述蒸镀源；以及中心锅，用于放置第二晶圆，所述中心锅设置在所述蒸镀源的上方，所述竖直线穿过所述中心锅。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述中心锅绕所述竖直线自转。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括驱动装置，所述驱动装置包括：驱动主轴，所述驱动主轴连接于所述中心锅的非蒸镀面，用于驱动所述中心锅自转；驱动支架，所述驱动支架为多个；其中，多个所述驱动支架的一端连接于所述驱动主轴；多个所述驱动支架的另一端分别连接多个所述行星锅，所述驱动支架用于驱动所述行星锅公转；以及发动机，所述发动机用于提供机械能给所述驱动主轴和所述驱动支架。4.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵利，孙玉群，孙军旗，刘芳军，徐赛赛，鲁艳春，
申请(专利权)人：北海惠科半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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