一种镀件前装式的镀锅制造技术

本申请提供一种镀件前装式的镀锅，包括：镀锅主体、连接件和工件固定件，所述包括多个通孔，通孔均匀的分布在镀锅主体，工件固定件位于通孔的下方，工件固定件与镀锅主体之间具有间隙，连接件将工件固定件与镀锅主体连接固定，所述工件固定件包括承载件、凸条和弹簧，承载件用于放置被镀膜工件，承载件为薄片，凸条有一个或者多个，凸条设置在承载件的边沿并且凸条的底面低于承载件的下表面，弹簧的一端与连接件连接，安装被镀膜工件时，被镀膜工件在承载件上通过凸条和弹簧固定，所述承载件的形状与被镀膜工件的形状相对应。状与被镀膜工件的形状相对应。状与被镀膜工件的形状相对应。

【技术实现步骤摘要】
一种镀件前装式的镀锅


[0001]本技术涉及真空蒸镀机
，更具体地，涉及一种镀件前装式的镀锅。

技术介绍

[0002]真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。
[0003]在真空蒸镀的加工工艺中，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。真空蒸镀机具有一个或者多个镀锅，镀锅进行公转或者同时进行公转和自转，在现有技术中，被镀膜工件放置在镀锅主体的通孔上，并且通孔上面放置有托盘，托盘为中空的薄片，被镀膜工件放置在托盘上，被镀膜工件的上方再加上压盖和压条将被镀膜工件与镀锅主体固定，其中，被本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀件前装式的镀锅，其特征在于，包括：镀锅主体(1)、连接件(2)和工件固定件(3)，包括多个通孔(11)，通孔(11)均匀的分布在镀锅主体(1)，工件固定件(3)位于通孔(11)的下方，工件固定件(3)与镀锅主体(1)之间具有间隙，连接件(2)将工件固定件(3)与镀锅主体(1)连接固定，所述工件固定件(3)包括承载件(31)、凸条(32)和弹簧(33)，承载件(31)用于放置被镀膜工件，承载件(31)为薄片，凸条(32)有一个或者多个，凸条(32)设置在承载件(31)的边沿并且凸条(32)的底面低于承载件(31)的下表面，弹簧(33)的一端与连接件(2)连接，安装被镀膜工件时，被镀膜工件在承载件(31)上通过凸条(32)和弹簧(33)固定，所述承载件(31)的形状与被镀膜工件的形状相对应。2.如权利要求1所述的镀件前装式的镀锅，其特征在于，镀锅主体(1)为伞状结构，镀锅主体(1)的通孔(11)的形状与承载件(31)的形状相对应。3.如权利要求2所述的镀件前装式的镀锅，其特征在于，通孔(11)的边沿还具有减重孔(12)，用于减轻镀锅主体(1)的重量。4.如权利要求3所述的镀件前装式的镀锅，其特征在于，一个通孔(11)的边沿设置有一个或者多个减重孔(12)，减重孔(12)的面积小于通孔(11)的面积。5.如权利要求1所述的镀件前装式的镀锅，其特征在于，所述连接件(2)有一个或者多个，连接件(2)的一端与承载件(31)的边沿固定另一端通过螺丝或螺钉与镀锅主体(1)固定。6.如权利要求5所述的镀件前装式的镀锅，其特征在于，连接件(2)有多个，弹簧(33)的一端与其中一个连...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛蒙晓，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：