一种真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，且公开了一种真空镀膜设备，包括控制箱，所述控制箱的底部两侧均固定安装有支架，所述支架的底部固定安装有滚轮，所述控制箱的顶部固定安装有真空舱，所述真空舱的前侧固定安装有舱门，所述控制箱的内顶壁中部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定安装有丝杠，所述丝杠的外侧固定安装有固定架。该真空镀膜设备，能够直接对基片架进行冷却，便于均匀的对基片架进行散热，散热速度较快，散热效果好，无需将基片架移出真空舱，从而提高了生产效率，能够带动滚轮从控制箱的内部收入或伸出，便于带动真空舱进行移动，降低了搬运时的劳动成本，提高了真空舱的适应性。了真空舱的适应性。了真空舱的适应性。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜设备


[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体为一种真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法，例如，真空镀铝、真空镀铬等，真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。
[0003]目前现有的真空镀膜设备在对工件进行镀膜时，盛放工件的基片架上的温度也会随着升高，因此在完成镀膜后需要对基片架进行冷却，但是现有的真空镀膜设备在对基片架进行冷却时，通常将基片架单独移出冷却或采用真空腔外部的固定结构对基片架进行冷却，这种冷却方式耗时时间较长，冷却效率较低，易对生产效率造成影响，且现有的真空镀膜设备体积较大，质量较重，搬运时较为困难，因此导致镀膜设备的适应性较差。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对上述
技术介绍
中现有技术的不足，本技术提供了一种真空镀膜设备，以克服上述
技术介绍
中提出的现有的真空镀膜设备，冷却效率较低和搬运时较为困难的缺点。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：
[0008]一种真空镀膜设备，包括控制箱，所述控制箱的底部两侧均固定安装有支架，所述支架的底部固定安装有滚轮，所述控制箱的顶部固定安装有真空舱，所述真空舱的前侧固定安装有舱门；
[0009]所述控制箱的内顶壁中部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定安装有丝杠，所述丝杠的外侧固定安装有固定架，所述固定架的底部两侧均固定安装有固定柱，所述控制箱的内底壁一侧固定安装有冷却箱，所述冷却箱的顶部一侧固定安装有第一连接管，所述控制箱的内底壁另一侧固定安装有回收箱，所述回收箱的顶部一侧固定安装有第二连接管，所述真空舱的内底壁中部固定安装有固定座，所述固定座的顶部固定安装有冷却板，所述冷却板的顶部固定安装有基片架，所述冷却板的内部固定安装有冷却管。
[0010]进一步的，所述控制箱的内底壁两侧均固定安装有滑杆，所述滑杆的顶端贯穿固定架并与控制箱的内顶壁相固定。
[0011]进一步的，所述丝杠的底端与控制箱的内底壁中部相连接，所述固定架的外侧与控制箱的内壁活动连接。
[0012]进一步的，所述冷却箱位于丝杠的一侧设置，所述回收箱位于丝杠的另一侧设置，
所述冷却箱与回收箱之间固定安装有循环管。
[0013]进一步的，所述第一连接管的顶端贯穿冷却板的底部一侧并与冷却管的一端相固定。
[0014]进一步的，所述第二连接管的顶端贯穿冷却板的底部一侧并与冷却管的一端相固定。
[0015]进一步的，所述控制箱的底部开设有与滚轮相适配的收纳槽，所述固定柱的底端与支架的顶部相固定，所述冷却管的形状为蛇形。
[0016]工作原理，该真空镀膜设备，移动时，启动驱动电机，驱动电机通过丝杠上的固定架带动固定柱上的滚轮从收纳槽中伸出并将控制箱顶起，当支架完全伸出时，推动控制箱即可带动真空舱进行移动，冷却时，冷却箱通过第一连接管向冷却管的内部供水，冷却管中的水在流动的过程中带走基片架上的热量，从而实现对基片架的冷却，带有热量的水通过第二连接管流入回收箱的内部。
[0017]该文中出现的电器元件均可与自带的控制器电连接，且控制器可与外界的220V市电电连接，并且控制器可为计算机等起到控制的常规已知设备。
[0018](三)有益效果
[0019]本技术提供了一种真空镀膜设备，具备以下有益效果：
[0020](1)、该真空镀膜设备，通过冷却箱、第一连接管、回收箱、第二连接管、冷却管之间的配合设置，能够直接对基片架进行冷却，便于均匀的对基片架进行散热，散热速度较快，散热效果好，无需将基片架移出真空舱，从而提高了生产效率。
[0021](2)、该真空镀膜设备，通过驱动电机、丝杠、固定架、固定柱之间的配合设置，能够带动滚轮从控制箱的内部收入或伸出，便于带动真空舱进行移动，降低了搬运时的劳动成本，提高了真空舱的适应性。
附图说明
[0022]图1为本技术真空镀膜设备的整体的主视结构示意图；
[0023]图2为本技术真空镀膜设备的整体的剖面结构示意图；
[0024]图3为本技术真空镀膜设备的固定架的立体结构示意图；
[0025]图4为本技术真空镀膜设备的冷却板的仰视剖面结构示意图；
[0026]图5为本技术真空镀膜设备的冷却板的立体结构示意图。
[0027]图中：1、控制箱；2、支架；3、滚轮；4、真空舱；5、舱门；6、驱动电机；7、丝杠；8、固定架；9、固定柱；10、滑杆；11、冷却箱；12、第一连接管；13、回收箱；14、第二连接管；15、固定座；16、冷却板；17、基片架；18、冷却管。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0029]请参阅图1
‑
5所示，本技术提供一种真空镀膜设备；
[0030]根据图1所示，包括控制箱1，控制箱1的底部两侧均固定安装有支架2，支架2的底
部固定安装有滚轮3，控制箱1的底部开设有与滚轮3相适配的收纳槽，控制箱1的顶部固定安装有真空舱4，真空舱4的前侧固定安装有舱门5；
[0031]根据图2
‑
5所示，控制箱1的内顶壁中部固定安装有驱动电机6，驱动电机6的输出端固定安装有丝杠7，丝杠7的底端与控制箱1的内底壁中部相连接，丝杠7的外侧固定安装有固定架8，固定架8的外侧与控制箱1的内壁活动连接，固定架8的底部两侧均固定安装有固定柱9，固定柱9的底端与支架2的顶部相固定，通过驱动电机6、丝杠7、固定架8、固定柱9之间的配合设置，能够带动滚轮3从控制箱1的内部收入或伸出，便于带动真空舱4进行移动，降低了搬运时的劳动成本，提高了真空舱4的适应性，控制箱1的内底壁两侧均固定安装有滑杆10，滑杆10的顶端贯穿固定架8并与控制箱1的内顶壁相固定，控制箱1的内底壁一侧固定安装有冷却箱11，冷却箱11位于丝杠7的一侧设置，冷却箱11的顶部一侧固定安装有第一连接管12，控制箱1的内底壁另一侧固定安装有回收箱13，回收箱13位于丝杠7的另一侧设置，冷却箱11与回收箱13之间固定安装有循环管，回收箱13的顶部一侧固定安装有第二连接管14，真空舱4的内底壁中部固定安装有固定座15，固定座15的顶部固定安装有冷却板16，冷却板16的顶部固定安装有基片架17，冷却板16的内部固定安装有冷却管18，第一连接管12的顶端贯穿冷却板16的底部一侧并与冷却管18的一端相固定，第二连接管14的顶端贯穿冷却板16的底部另本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备，包括控制箱(1)，其特征在于，所述控制箱(1)的底部两侧均固定安装有支架(2)，所述支架(2)的底部固定安装有滚轮(3)，所述控制箱(1)的顶部固定安装有真空舱(4)，所述真空舱(4)的前侧固定安装有舱门(5)；所述控制箱(1)的内顶壁中部固定安装有驱动电机(6)，所述驱动电机(6)的输出端固定安装有丝杠(7)，所述丝杠(7)的外侧固定安装有固定架(8)，所述固定架(8)的底部两侧均固定安装有固定柱(9)，所述控制箱(1)的内底壁一侧固定安装有冷却箱(11)，所述冷却箱(11)的顶部一侧固定安装有第一连接管(12)，所述控制箱(1)的内底壁另一侧固定安装有回收箱(13)，所述回收箱(13)的顶部一侧固定安装有第二连接管(14)，所述真空舱(4)的内底壁中部固定安装有固定座(15)，所述固定座(15)的顶部固定安装有冷却板(16)，所述冷却板(16)的顶部固定安装有基片架(17)，所述冷却板(16)的内部固定安装有冷却管(18)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述控制箱(1)的内底壁两侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：李帅领，
申请(专利权)人：上海子微智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：