信号传输电路及其形成方法技术

本发明专利技术提供一种信号传输电路及其形成方法。该信号传输电路可包括多条信号传输线和基准传输面，所述多条信号传输线的每条配置为通过信号电流传送数据，所述基准传输面配置为传送对应于所述信号电流的返回电流，所述基准传输面通过绝缘层与所述多条信号传输线的每条隔离，所述基准传输面包括至少一个隔离槽。

【技术实现步骤摘要】


技术介绍
可提供微条线图案(micro strip line pattern)或条线图案来控制信号传输 电路的传输特性。在常规微条线结构中，具有地电压或电源电压的基准传输 面(reference transmission plane )可位于信号传输线下面。常^L条线结构中， 多个基准传输面可分别布置在多条信号传输线上面和下面。条线结构的信号 传输线和基准传输面可通过多个绝缘层彼此电隔离。信号传输电路的传输特 性可通过基准传输面或信号传输线的图案来调整。图l是常规信号传输电路的透视图。图1的信号传输电路可包括多个第 一至第五信号传输线SL1、 SL2、 SL3、 SL4和SL5及多个基准传输面RP1 和RP2，以及多个绝缘层D1、 D2和D3。所述多个第一至第五信号传输线 SL1、 SL2、 SL3、 SL4和SL5可由多个金属层形成，所述多个基准传输面 RP1和RP2可由多个金属层形成。图2示出了图1的第一和第二信号传输线SL1和SL2及基准传输面RP1 的一部分。现在将参照图2解释相邻信号传输线之间的干护L (例如串扰)。参照图2,第一信号传输线SL1可传输第一信号电流Isl且第二信号传 输线SL2可传输第二信号电流Is2。基准传输面RP1可传输对应于第一信号 电流Isl的返回电流Irl和对应于第二信号电流Is2的返回电流Ir2。参照图2,在基准传输面RP1中，伴随返回电流Irl的电石兹波噪声Nw 会影响第二信号电流Is2，且伴随返回电流Ir2的电磁波噪声Nw会影响第一 信号电流Isl,由此导致第一和第二信号传输线SL1和SL2之间的串扰。此 外，如果高频信号通过信号传输线传输，串扰会增大，这会进一步降低系统 性能。
技术实现思路
本专利技术的一示例性实施例涉及信号传输电路，包括多条信号传输线和基 准传输面，所述多条信号传输线的每条配置来通过信号电流传送数据，基准 传输面配置来传送对应于信号电流的返回电流，基准传输面通过绝缘层与多 条信号传输线的每条隔离，基准传输面包括至少一个隔离槽。本专利技术的另一示例性实施例涉及形成信号传输电路的方法，包括形成多 条信号传输线和形成基准传输面，所述多条信号传输线的每条配置为通过信 号电流传送数据，基准传输面配置为传送对应于信号电流的返回电流，基准 传输面通过绝缘层与所述多条信号传输线的每条隔离，基准传输面包括至少一个隔离才曹(separation slot )。本专利技术的另一示例性实施例涉及信号传输电路，包括形成在基准传输面 中的隔离槽从而减少相邻信号传输线之间的串扰。附图说明提供附图以提供对本专利技术的进一步理解，且附图包括在说明书中并构成 说明书的一部分。附图示出了本专利技术的示例性实施例，并与说明书一起用来 解释本专利技术的原理。附图中图1是常规信号传输电路的透视图；图2示出了图1的第一和第二信号传输线及基准传输面的一部分； 图3输出了根据本专利技术一示例性实施例的信号传输电路； 图4输出了根据本专利技术另一示例性实施例的沿图3的信号传输电路的线 IV-IV得到的剖视图；图5A是图2的常规信号传输电路的平面图；图5B是根据本专利技术另 一示例性实施例的图3的信号传输电路的平面图； 图5C和5D是根据本专利技术其它示例性实施例的信号传输电路的平面图； 图6A示出了包括常规公共基准传输面的信号传输电路； 图6B示出了包括根据本专利技术另一示例性实施例的公共基准传输面的信 号传输电路；图7A示出了不包括隔离槽的常规信号传输电路； 图7B示出了根据本专利技术另一示例性实施例的包括隔离槽的信号传输电 路；以及图8A、 8B、 8C和8D是曲线图，比较图7A所示的常规信号传输电路的S参数和图7B所示的信号传输电路的S参数。具体实施方式这里公开本专利技术的详细的说明性的示例实施例。然而，这里公开的具体 结构和功能细节仅是代表性的，用于描述本专利技术的示例性实施例。本专利技术的 示例性实施例仍可以以很多替代方式实施而不应理解为局限于这里提出的 实施例。因此，尽管本专利技术的示例性实施例易于进行各种修改和替代形式，其具 体实施例通过示例方式在附图中示出并将在这里详细描述。然而，应该理解， 这并不意图限制本专利技术的示例性实施例为所公开的特定形式，而是相反，本 专利技术的示例性实施例将涵盖落在本专利技术的精神和范围内的所有变型、等价和 替代。在说明书附图中相似的附图标记可始终表示相似的元件。将理解，尽管术语第一、第二等可以在这里用来表示各种元件，但是这 些元件不应局限于这些术语。这些术语仅用于将一个元件与另一元件区别 开。例如，第一元件可以被称为第二元件并且第二元件可以称为第一元件而 不会偏离本专利技术的范围。这里使用时，术语和/或包括相关所列项的一个或更多的任意和全部组合。应理解，当元件被称为连接或耦接到另一元件时，其可以直接 连接或耦接到其它元件或者可以存在居间元件。相反，当元件被称为直接 连接，，或直接耦接到另一元件时，没有居间元件。用于描述元件之间的 关系的其它词语应该以类似方式理解(刮如，在...之间与直接在...之间， 相邻与直接相邻等)。这里使用的术语仅用于描述特定实施例的目的而无意限制本专利技术的示 例性实施例。这里使用时，单数形式一，，和该意在也包括复数形式， 除非上下文另外地清楚描述。还将理解，当在本说明书中使用时术语包含 和/或包括指定所陈述的特征、整体、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但是不排除一个或更多其他特征、整体、步骤、澡作、元件、部件和/ 或其群组的存在或增加。除非另外定义，这里使用的所有术语(包括科技术语)具有与本专利技术所 属
的普通技术人员一般理解的意思相同的意思。还将理解，术语， 例如 一般使用的字典中定义的那些术语，应被理解为具有与它们在相关技术和本公开的背景中的意思一致的意思，且将不会在理想化或过于正式的意义 上来理解，除非这里清楚地这样定义。图3输出了根据本专利技术一示例性实施例的信号传输电路。在图3的示例性实施例中，信号传输电路可包括传输第一信号电流Isl的第一信号传输线SL1、传输第二信号电流Is2的第二信号传输线SL2及具有多个隔离槽SS的基准传输面RPSS。在图3的示例性实施例中，第一和第二信号传输线SL1和SL2可由第一金属层形成且基准传输面RPSS可由第二金属层(例如与第 一金属层不同)形成。形成第一和第二信号传输线SL1和SL2的第一金属层可通过绝缘层 (未示出)与形成基准传输面RPSS的第二金属层电隔离。基准传输面RPSS可相对于第一和第二信号传输线SL1 SL2维持给定电压(例如地电压或电源电压)。在图3的示例性实施例中，第一和第二信号传输线SL1和SL2的第一 和第二信号电流Isl和Is2可包含数据信息。例如，第一信号电流Isl可表示 第一数据且第二信号电流Is2可表示第二数据(例如与第一数据不同)。对应 于第 一信号电流Is 1的返回电流Irl和对应于第二信号电流Is2的返回电流Ir2 可通过基准传输面RPSS传输。在图3的示例性实施例中，基准传输面RPSS可分成对应于第一信号传 输线SL1的区域RG1、对应于第二信号传输线SL2的区域RG2、第一和第 二信号传输线SL1和SL2及RG1和RG2之间的区域RG—SS。在一示例中， 对应于第一信号电流Isl的返回电流lrl本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种信号传输电路，包括：　　　　多条信号传输线，所述多条信号传输线的每条配置为通过信号电流传送数据；以及　　　　基准传输面，配置为传送与所述信号电流对应的返回电流，所述基准传输面通过绝缘层与所述多条信号传输线的每条隔离，所述基准传输面包括至少一个隔离槽。

【技术特征摘要】
KR 2006-9-13 88694/061. 一种信号传输电路，包括多条信号传输线，所述多条信号传输线的每条配置为通过信号电流传送 数据；以及基准传输面，配置为传送与所述信号电流对应的返回电流，所述基准传 输面通过绝缘层与所述多条信号传输线的每条隔离，所述基准传输面包括至 少一个隔离槽。2. 如权利要求1的信号传输电路，其中所述至少一个隔离槽是所述基 准传输面的去除部分。3. 如权利要求2的信号传输电路，其中所述基准传输面的该去除部分 被至少部分地填充有电介质材料。4. 如权利要求1的信号传输电路，其中所述至少一个隔离槽在所述基 准传输面内具有给定形状。5. 如权利要求4的信号传输电路，其中所述给定形状是多边形、圓形 和椭圓形中的一种。6. 如权利要求1的信号传输电路，其中所述多条信号传输线的每条由 多个金属层中的一个形成，且所述基准传输面由所述多个金属层中的另 一个 形成。7. 如权利要求6的信号传输电路，其中所述多条信号传输线包括传输 表示第 一数据的第 一信号电流的第 一信号传输线和传输表示不同于该第一 数据的第二数据的第二信号电流的第二信号传输线，所述第 一信号传输线由 所述多个金属层中的所述一个形成，所述第二信号传输线由所述多个金属层 中的所述一个形成，且其中所述基准传输面传输对应于所述第 一信号电流的第 一返回电流和 对应于所述第二信号电流的第二返回电流，所述基准传输面由所述多个金属 层中的所述另一个形成。8. 如权利要求1的信号传输电路，其中所述多条信号传输线由多个金 属层中的第 一金属层形成，所述基准传输面由所述多个金属层中的第二金属 层形成，且所述至少一个隔离槽包括与所述多条信号传输线中的相邻信号传 输线平行地形成的多个隔离槽。9. 如权利要求8的信号传输电路，其中配置所述多个隔离槽从而减小 由于所述返回电流导致的所述相邻信号传输线之间的串扰。10. 如权利要求8的信号传输电路，其中所述返回电流的路径分别形成 在与所述相邻信号传输线对应的所述基准传输面的区域中，并且所述多个隔的区域中。11. 如权利要求8的信号传输电路，其中所述多个隔离槽通过切穿形成 所述基准传输面的所述多个金属层中的所述第二金属层而形成。12. 如权利要求11的信号传输电路，其中所述多个隔离槽填充有电介质材料。13. 如权利要求8的信号传输电路，其中所述多个隔离槽以多个行的至 少一行形成，所述至少一行与所述相邻信号传输线平行。14. 如权利要求1的信号传输电路，其中所述基准传输面相对于所述多 条信号传输线设定为给定电压。15. 如权利要求14的信号传输电路，其中所述给定电压是地电压和电 源电压之一。16. 如权利要求1的信号传输电路，其中配置所述至少一个隔离槽从而 减小由于第一和第二返回电流导致的第一和第二信号传输线之间的串扰。17. 如权利要求16的信号传输电路，其中所述至少一个隔离槽通过切 穿形成所述基准传输面的金属层并通过用电介质物质至少部分填充所述切 割部分而形成。18. 如权利要求16的信号传输电路，其中所述第一信号传输线传输表 示第 一翁:据的第 一信号电流，所述第 一信号传输线由所述多个金属层中的第 一金属层形成，且所述第二信号传输线传输表示不同于第一数据的第二数据 的第二信号电流，所述第二信...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴光洙，金钟勋，李载濬，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]