X射线平板探测器制造技术

本发明专利技术涉及一种Ｘ射线平板探测器，包括薄膜晶体管基板；像素电极层，设置在所述薄膜晶体管基板上；Ｎ型非晶硅层，设置在所述像素电极层上；非晶硅层，设置在所述Ｎ型非晶硅层，用于进行可见光转换成电信号；绝缘层，设置所述非晶硅层上；透明电极膜，设置在所述绝缘层上；以及光子转换层，设置在所述透明电极上，用于将Ｘ射线的能量转换成可见光。本发明专利技术提供的这种Ｘ射线平板探测器利用绝缘层替代Ｐ型非晶硅层，同样实现了光信号转换成电信号，但同时却节约生产成本。因此，本发明专利技术能够降低医疗仪器的生产成本，使得具有这种Ｘ射线平板探测器的医疗仪器能够被广泛使用，从而降低患者昂贵的医疗费用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及平板成像设备，尤其涉及一种用于医疗仪器的X射线平板探测器。技术背景目前，数字化X射线照相检测(Digital Radiography,简称DR)技术被广泛应用在医疗仪器上，例如拍摄X射线胸片的X射线机。数字化X射线照相检测通常指采用电子成像板技术-平板检测器技术 (FPD Technique)。其中电子成像板由大量微小的带有薄膜晶体管(TFT) 的探测器成阵列排列而成。由于电子转换模式不同，数字化X射线照相 检测可以分为间接转换型DR系统(Indirect DR，简称IDR)，其关键部 件是获取图像的平板探测器(FPD)，由X线转换层与非晶硅光电二极管、 薄膜晶体管、信号储存基本像素单元及信号放大与信号读取等组成。间接平板探测器的结构为多层结构，主要是由闪烁体(目前主要有碘 化铯CsI)或荧光体(硫氧化钆GdSO)层加具有光电二极管作用的非晶硅层 (amorphous Silicom， a-Si)再加TFT阵列构成平板检测器。此类平板探测器的 闪烁体或荧光体层经X射线曝光后，可以将X射线光子转换为可见光，用二 维光电转换装置将可见光转换为电信号，通过薄膜晶体管阵列本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种Ｘ射线平板探测器，其特征在于，包括：薄膜晶体管基板，用于逐行读出电信号的电荷；像素电极层，设置在所述薄膜晶体管基板上，用于采集电信号的电荷；Ｎ型非晶硅层，设置在所述像素电极层上，用于阻止像素电极上的电荷的减少；　 　非晶硅层，设置在所述Ｎ型非晶硅层，用于进行可见光转换成所述电信号；绝缘层，设置所述非晶硅层上，用于阻止电荷进入非晶硅层；透明电极膜，设置在所述绝缘层上，用于施加电压使非晶硅层产生光电效应；以及光子转换层，设置在 所述透明电极上，用于将Ｘ射线的能量转换成可见光。

【技术特征摘要】
1、一种X射线平板探测器，其特征在于，包括薄膜晶体管基板，用于逐行读出电信号的电荷；像素电极层，设置在所述薄膜晶体管基板上，用于采集电信号的电荷；N型非晶硅层，设置在所述像素电极层上，用于阻止像素电极上的电荷的减少；非晶硅层，设置在所述N型非晶硅层，用于进行可见光转换成所述电信号；绝缘层，设置所述非晶硅层上，用于阻止电荷进入非晶硅层；透明电极膜，设置在所述绝缘层上，用于施加电压使非晶硅层产生光电效应；以及光子转换层，设置在所述透明电极上，用于将X射线的能量转换成可见光。2、 根据权利要求1所述的X射线平板探测器，其特征在于所述非...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵玮，
申请(专利权)人：德润特数字影像科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]