测量传感器系统技术方案

通过在电源重叠共用数据信号线上重叠监视信号，减少电源、信号线的连接，并且对各个传感器子站的动作时期进行时间分割，以减少该测量传感器系统的动作时的电力量，且使安装、调整容易进行。测量传感器系统具有包含对被检测体（８）进行监视的传感器部的多个传感器子站（９，７ａ～７ｈ）。构成为这些传感器子站（９，７ａ～７ｈ）被连接到共用数据信号线（１１，１２），并将来自传感器部的监视信号经由共用数据信号线（１１，１２）传送给控制部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及检测平板状物品和定形状物品等的有无或者保管位置的测量(mapping)传感器系统。特别是，涉及检测液晶工厂中的 薄板的有无或者保管位置、或半导体工厂中的半导体晶片的有无或者 保管位置的测量传感器系统。
技术介绍
在平板状物品、定形状物品的保管或管理中，检测上述平板状物 品和定形状物品等的有无或者保管位置，在进行这些物品的制造工序 和使用时的物的保管和管理上，是重要的要件，通过将这些信息传至 主机系统和次工序的自动化机械，能够实现制造线和检查线或保管管 理中的工序的自动化。例如，通过测量传感器来检测半导体工厂中的 半导体晶片的有无和保管位置，并将上述检测结果数据交给经过自动 化的制造机器和检查设备、保管管理机器，使生产线自动化，或者在 液晶用玻璃、盘片用玻璃板、印制电路板等的生产中，也与上述同样 地使用着测量传感器。进而在定形医疗器具的保管管理中，也借助于 测量传感器来检测物品的有无或者保管位置。上述测量传感器具备具有投光元件以及受光元件的检测头，该测 量传感器、或者使用了测量传感器的晶片等的检测装置在专利文献 1 ~ 4中得以公开。在专利文献l(日本专利特开平11-074331号公报(段 落[0006、段落[0019))以及2 (日本专利特开平11-074332号公报(段 落[0006j、段落0019D)中公开了使用以包含一对棱镜的棱镜结构体 为主体能够在互反的双方向上进行投光或者受光的小型两方向性检 测头，并将它们作为投光用及受光用而交互进行了排列的晶片等的检 测装置。在这样构成的晶片等的检测装置中，由于使一个投光元件或者受光元件对应于在一直线上互反的两条检测光轴，即光纤夹所支持 的一对反射棱镜中的入射光轴或出射光轴沿着一条直线，所以能够节 约投光元件以及受光元件的个数，且能够检测严密的晶片等的位置。另外，在专利文献3 (日本专利特开平11-064101号公报(段落 [0018))中公开了利用透明树脂形成包含一对棱镜的棱镜结构体，构 成在一个光纤用检测头中能够在互反的双方向上进行投光或者受光 的小型两方向性检测头，并将投光用及受光用的两方向性头交互进行 了排列的光纤传感器用检测头。由于在这样构成的光纤传感器用检测 头中，能够用一个投光元件或者受光元件对应于两条检测光轴，所以 能够检测串联排列的许多薄物。进而在专利文献4 (日本专利特开平10-070176号公报(段落 [0014))中公开了通过在检测头上设置的投光部及受光部将本体箱的 投光元件和受光元件进行光耦合的晶片传感器。在这样所构成的晶片 传感器中，由于能够非常容易地进行电气配线，并且即便在各个检测 头发生故障时仅重新替换检测头即可而不用进行配线作业，所以就可 以简单地进行日常的保养检查。
技术实现思路
但是，在上述专利文献1~4所示的检测装置等中，通过使一个 投光元件或者受光元件对应于在一直线上互反的两条检测光轴，能够 节约投光元件以及受光元件的个数，或者通过将投光元件和受光元件 进行光耦合，而能够容易地进行电气配线，但是若测量传感器的个数 增加则电气信号配线的条数将会增加，所以就有电气信号线的配线作 业变得繁瑣的问题。例如，测量传感器的周边按各个测量传感器组逐个配置信号线和 电源线，接受它们的信号并连接到主机系统或自动化机器的终端位 置，需要按各个测量传感器逐个进行配线。其结果，配线数变多、端子台和配线的增加即成为问题，并且对于配线作业工时的增加、在组 装检查、各传感器的调整等，都需要大大花费时间和劳动力。另外还有随着配线工时的增加，牵涉到相应地工期增长和成本上升、设备的 规模增大的问题。另外在测量传感器的故障为上述配线的断线的情况下，与配线的 多少成比例，保养作业变得烦杂，需要较多的作业时间，并且装置的 小型化上的配线的处理成为问题，较多的配线数还牵涉到可靠性的降 低。另外在信号处理也是多个传感器同时动作的情况下，容易收到因 来自其他测量传感器的光的泄漏、测量传感器附近的照明等的光造成 的信号噪声的影响，将会伴随需要微调整等措施的烦杂度。另外若提 高被检测体的检测灵敏度则会误检知到其他照明等发出的光，或者受 其他测量传感器的光影响，发生误动作等的异常，因此产生需要灵敏 度的微调整的不便。进而，各个的检测头同时工作，与测量传感器的个数成比例，电 路消耗的电力增加，电源容量也增加，并且还有因检测头即测量传感 器之间的循环而造成误动作的不便。本专利技术，在共用的信号线、即在输送用于终端工作的电力的线上， 重叠被检测体的检测信息，以减少电源及信号线的连接，并且具有通 过对各个测量传感器的投光及受光动作时期进行分时处理，来抑制测 量传感器相互的干涉的投光驱动电路及受光定时调整电路，同时还具 有可以从左右两方向简洁地进行各个传感器灵敏度调整的构造及调 整电路。由此就能够从多方位对表示传感器灵敏度调整完成、电路动 作正常这一情况的显示进行确认，另外还能够减少该测量传感器系统 动作时的电力量，并且能够使测量传感器的安装调整容易进行，能够 实现省配线化及配线作业的简单化。即，本专利技术的第1目的在于提供一种能够减少电源或信号线的配 线和连接，并且即便测量传感器数量增加，也能够通过连接与配线连 接简单的搭接配线，来抑制测量传感器相互的干涉的测量传感器系 统。本专利技术的第2目的在于提供一种能够从左右两方向简洁地进行各个传感器灵敏度调整，并能够从多方向对表示在传感器灵敏度调整 已完成时电路动作正常这一情况的显示进行确认的测量传感器系统。本专利技术的第3目的在于提供一种能够降低测量传感器组动作时 的电力量，并且能够容易地进行安装调整，进而能够通过节省配线而 使配线作业简化的测量传感器系统。涉及技术方案1的专利技术是一种测量传感器系统，如图1~图3、 图7、图9、图11、图12、图13、图17所示那样，其特征是，具有 分别监视被控制部的传感器部(124)的多个检测头即测量传感器(111), 多个检测头即测量传感器(111)被连接到共用数据信号线(11,12)，并将 来自传感器部(124)的监视信号经由共用数据信号线(11，12)传送给控 制部(24)。在该技术方案1所记载的测量传感器系统中，通过采用在来自电 源的电力上重叠测量传感器(lll)的信号，并将各自的信号以移位寄存 器构造来传送信号，并且在各自的测量传感器(lll)间用搭接配线进行 连接，或者在各自的测量传感器(lll)间借助于光来进行信号传递的方 法，就可以将信号线的数量汇总成电源线2条(共用数据信号线D+(11) 及D-(12))，可以大幅减少配线的数量。特别是在半导体工厂设备和液 晶工厂设备中能够实现设备的小型化、省空间化。涉及技术方案2的专利技术是一种测量传感器系统，如图1 ~图3以 及图7、图9、图11、图12、图13、图17所示那样，其特征是具备 用于发生同步于规定的同步传送时钟的投光定时移动信号(60)或者定 时移动信号(87)的定时移动信号发生电路(113，120，121,122);在投光定 时移动信号(60)或者定时移动信号(87)的控制下，对检测被检测体(8) 的各个多个检测头即测量传感器(lll)之中所构成的单一检测用投光器(18)或者多个检测用投光器，基于同步传送时钟顺次使个别的测量本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测量传感器系统，其特征在于包括：　　　　分别监视被控制部的传感器部（１２４）的多个检测头即测量传感器（１１１），　　　　所述多个检测头即所述测量传感器被连接到共用数据信号线（１１，１２），将来自所述传感器部（１２４）的监视信号经由所述共用数据信号线（１１，１２）传送给控制部（２４）。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2005-8-25 274634/20051. 一种测量传感器系统，其特征在于包括分别监视被控制部的传感器部(124)的多个检测头即测量传感器(111)，所述多个检测头即所述测量传感器被连接到共用数据信号线(11，12)，将来自所述传感器部(124)的监视信号经由所述共用数据信号线(11，12)传送给控制部(24)。2. —种测量传感器系统，其特征在于包括 定时移动信号发生电路(113，120，121，122)，用于发生同步于规定的同步传送时钟的投光定时移动信号(60)或者定时移动信号(87);投光信号发生电路(114)，在所述投光定时移动信号(60)或者所述 定时移动信号(87)的控制下，对检测被检测体(8)的各个所述多个检测 头即所述测量传感器之中所构成的单一检测用投光器(18)或者多个检 测用投光器，基于所述同步传送时钟顺次使个别的所述测量传感器中 的所述单一检测用投光器(18)或者多个所述检测用投光器发光；检测受光电路(116)，依照所述单一检测用投光器(18)或者多个所 述检测用投光器的发光定时，对单一检测用受光信号(5)或者多个所述 检测用受光信号进行受光；动作显示电路(118)，保持所述检测用受光信号；以及传送输出信号电路(117)，将所述单一检测用受光信号(5)或者多 个所述检测用受光信号作为监视信号送给共用数据信号线(11，...

【专利技术属性】
技术研发人员：斋藤善胤，锦户宪治，
申请(专利权)人：株式会社恩尼怀尔，
类型：发明
国别省市：JP[日本]