【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种制造多晶硅薄膜太阳能电池用设备。技术背景-现有的多晶硅薄膜太阳能电池制造设备中，对薄膜电池片进行化学 气体沉积处理的容器，其进气管处，采用固体密封形式，每次对薄膜电 池处理时，均需要重新装密封件，操作麻烦，工作效率低，且固体密封 件易在高温下发生泄露等现象，影响工作效果。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种结构合理，采用气体密封方式进行进行 密封处理，工作效果好的多晶硅薄膜太阳能电池专用设备。 本专利技术的技术解决方案是一种多晶硅薄膜太阳能电池专用设备，包括设置在炉管中对薄膜电 池片进行化学气体沉积处理的容器，进气管通过容器上的开口伸入容器 中，其特征是在容器开口处近侧，设置有向容器开口喷射高压惰性气 体的喷射装置。容器开口处呈扩大的喇叭口形。向容器开口喷射高压惰性气体的喷 射装置包括套装在进气管上的惰性气体管，惰性气体管的端部设置喷射 孔，且多个喷射孔沿惰性气体管的圆周方向均匀布置。向容器开口喷射 高压惰性气体的喷射装置为设置在容器开口部位壁上的惰性气体孔。进气管主体为陶瓷管，陶瓷管外壁上包有铂层。惰性气体管是铂材料的管 子。所述惰性...
【技术保护点】
一种多晶硅薄膜太阳能电池专用设备，包括设置在炉管中对薄膜电池片进行化学气体沉积处理的容器，进气管通过容器上的开口伸入容器中，其特征是：在容器开口处近侧，设置有向容器开口喷射高压惰性气体的喷射装置。
【技术特征摘要】
1、一种多晶硅薄膜太阳能电池专用设备，包括设置在炉管中对薄膜电池片进行化学气体沉积处理的容器，进气管通过容器上的开口伸入容器中，其特征是在容器开口处近侧，设置有向容器开口喷射高压惰性气体的喷射装置。2、 根据权利要求1所述的多晶硅薄膜太阳能电池专用设备，其特 征是容器开口处呈扩大的喇叭口形。3、 根据权利要求1或2所述的多晶硅薄膜太阳能电池专用设备， 其特征是向容器开口喷射高压惰性气体的喷射装置包括套装在进气管 上的惰性气体管，惰性气体管的端部设置喷射孔，且多个喷射...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯林，班群，王汉飞，
申请(专利权)人：江苏林洋新能源有限公司，南通林洋新能源工程技术研究中心有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]
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