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本发明公开了一种多晶硅薄膜太阳能电池专用设备，包括设置在炉管中对薄膜电池片进行化学气体沉积处理的容器，进气管通过容器上的开口伸入容器中，在容器开口处近侧，设置有向容器开口喷射高压惰性气体的喷射装置。本发明结构合理，采用高压惰性气体对薄膜电池...该专利属于江苏林洋新能源有限公司;南通林洋新能源工程技术研究中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏林洋新能源有限公司;南通林洋新能源工程技术研究中心有限公司授权不得商用。