测试分选机中缓冲盘间距的调节方法及装置制造方法及图纸

收纳半导体器件的缓冲盘的间距调节方法及装置中，所述缓冲盘包括收纳半导体器件的多对单元缓冲盘。通过第一传动部调节所述单元缓冲盘对之间的第一间距。通过第二传动部调节所述对中第一单元缓冲盘与第二单元缓冲盘之间的第二间距。通过测试分选机中的间距已调缓冲盘在测试盘与用户盘之间传送半导体器件。因此，缩短了传送半导体器件所需的时间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及-种测试半导体器件的装置。本专利技术尤其涉及一种在用于测试 半导体器件的测试分选机中收纳半导体器件的缓冲盘(buffer tray)。
技术介绍
一般地，在测试半导体器件(诸如易失性或非易失性存储器、系统大规模 集成(LSI)器件等)的工作特性以后，会装运该半导体器件。测试分选机将半导体器件传送到测试室中以测试该半导体器件。具体地， 半导体器件通过缓冲盘(buffer tray)从用户盘(customer tmy)传送至测试盘 (test tray)。此外，已在该测试室中测试过的半导体器件通过缓冲盘从测试盘 传送至用户盘。该测试分选机包括用于在该测试盘与该用户盘之间传送半导体器件的拾 取器系统。第6,761,526号、第7,000,648号、第7,023,197号等美国专利揭露 了该拾取器系统的例子。近来，为了縮短传送半导体器件所需的时间，该拾取器系统采用多个拾取 器。此外，该拾取器系统采用间距调节机构以使该拾取器之间的间距与该测试 盘的间距以及该用户盘的间距相等。然而，由于该间距调节机构的重量随着拾 取器数量的增加而增加，縮短传送半导体器件所需时间有所限制。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供了一种在用于测试半导体器件的测试分选机中，增进 所述半导体器件传送速度的缓冲盘间距调节方法。此外，本专利技术的实施例提供了 一种在用于测试半导体器件的测试分选机 中，增进所述半导体器件传送速度的缓冲盘间距调节装置。根据本专利技术一个方面的缓冲盘间距调节方法中，所述缓冲盘包括收纳半导 体器件的多对单元缓冲盘。通过调节所述单元缓冲盘对之间的第 一 间距以及调 节所述对中第 一 单元缓冲盘与第二单元缓冲盘之间的第二间距来调节所述缓冲盘的间距。本专利技术的一些实施例中，通过使至少一第一单元缓冲盘对与至少一第二单 元缓冲盘对互相以相反方向移动来调节所述第一间距。所述第一及第二单元缓 冲盘对分别放置在相对于该缓冲盘中心点的两侧。本专利技术的一些实施例中，通过使至少一第一单元缓冲盘对与至少一第二单 元缓冲盘对互相以相反方向移动来调节所述第一间距。所述第一及第二单元缓 冲盘对分别放置在相对于靠近该缓冲盘中心点的一对单元缓冲盘的两侧。本专利技术的一些实施例中，通过使得除最外侧单元缓冲盘对之外的其余单元 缓冲盘对中的至少一对以所述缓冲盘间距的方向移动来调节所述第一间距。本专利技术的一些实施例中，通过使所述第二单元缓冲盘相对于所述第一单元 缓冲盘作相对移动来调节所述第二间距。根据本专利技术另一个方面的缓冲盘间距调节装置中，所述缓冲盘包括收纳半导体器件的多对单元缓冲盘。第一传动部连接至所述单元缓冲盘对以调节所述 单元缓冲盘对之间的第一间距。第二传动部连接至所述单元缓冲盘对以调节所 述单元缓冲盘对中第一单元缓冲盘与第二单元缓冲盘之间的第二间距。本专利技术的一些实施例中，所述第一传动部包括连接至所述单元缓冲盘对的 多个齿条；齿轮机构，包括至少一个与所述齿条啮合的输出齿轮；连接至所述 齿轮机构以向所述齿轮机构提供旋转力的电动机单元。所述齿条连接至分别放 置在相对于所述缓冲盘中心点两侧的至少一第一单元缓冲盘对及至少第二 单元缓冲盘对。此外，所述齿条与所述至少一个输出齿轮啮合以使所述第一及 第二对互相以相反方向移动。本专利技术的-些实施例中，所述齿轮机构包括传动齿轮、第一小齿轮及第二 小齿轮。所述传动齿轮连接至所述电动机单元传动轴。所述第一小齿轮连接至 所述传动轴并且与相对的第一齿条及第二齿条啮合。此外，所述第一小齿轮的 节圆小于所述传动齿轮的节圆。第二小齿轮与所述传动齿轮啮合，利用传动齿 轮旋转，并且与相对的第三齿条及第四齿条啮合。此外，所述第二小齿轮的节 圆小于所述传动齿轮的节圆。本专利技术的一些实施例中，所述装置包括其上放置有所述第一及第二传动部 的基板。本专利技术的一些实施例中，所述齿条及所述齿轮机构放置于所述基板的上表 面。所述电动机单元放置在基板的下表面。所述电动机单元通过所述基板连接 至所述齿轮机构。本专利技术的一些实施例中，所述齿条通过多个支架连接至所述单元缓冲盘 对。所述支架以基本垂直于所述缓冲盘间距方向的方向延伸。本专利技术的一些实施例中，所述第一传动部包括多个齿条；包括至少一个输出齿轮的齿轮机构；及连接至所述齿轮机构以向所述齿轮机构提供旋转力的电 动机单元。所述齿条连接至分别放置在相对于靠近所述缓冲盘中心点的一对单 元缓冲盘的两侧的至少一第一单元缓冲盘对及至少一第二单元缓冲盘对。此 外，所述齿条与至少一个输出齿轮啮合以使所述第一及第二对互相以相反方向 移动。本专利技术的一些实施例中，所述第一传动部包括多个齿条；包括多个输出齿 轮的齿轮机构；及连接至所述齿轮机构以向所述齿轮机构提供旋转力的电动机 单元。所述齿条连接至除最外侧单元缓冲盘对之外的其余单元缓冲盘对，并且 与所述输出齿轮啮合以使所述其余单元缓冲盘对以所述缓冲盘的间距方向移 动。本专利技术的一些实施例中，所述缓冲盘包括两对单元缓冲盘，并且所述第一 传动部包括连接至所述两对单元缓冲盘之一以调节所述第-一间距的齿条；齿轮 机构，包括与所述齿条啮合的输出齿轮；及连接至所述齿轮机构以向所述齿轮 机构提供旋转力的电动机单元。本专利技术的一些实施例中，所述装置进一步包括连接至所述第一单元缓冲盘 的第一连杆，及将所述第二单元缓冲盘与所述第一连杆连接的第二连杆。所述 第一传动部连接至所述第一单元缓冲盘或所述第二单元缓冲盘。本专利技术的一些实施例中，所述第一及第二单元缓冲盘通过多个以基本垂直 于所述缓冲盘间距方向的方向延伸的支架连接至所述第 一 及第二连杆。本专利技术的一些实施例中，所述第二传动部连接至所述第一连杆或所述第二 连杆，并且向所述第一连杆或所述第二连杆施加传动力以使所述第一单元缓冲 盘与所述第二单元缓冲盘之间产生相对移动。本专利技术的一些实施例中，所述装置进一步包括至少一个导向部件，其设置 成为以所述缓冲盘的间距方向对所述第一单元缓冲盘及所述第二单元缓冲盘 进行导向。本专利技术的一些实施例中，所述装置进一步包括以所述缓冲盘的间距方向延 伸的导向部件。通过所述第二传动部以基本垂直于所述缓冲盘间距方向的方向 可移动地放置所述导向部件，并且所述导向部件以所述缓冲盘间距方向在所述 第-一连杆之间或第二连杆之间对连接部进行导向。此外，所述装置包括第二导 向部件，其连接至所述导向部件的两个侧部以在基本垂直于所述缓冲盘间距方 向的方向上对所述导向部件进行导向。根据本专利技术再一个方面的缓冲盘间距调节装置中，所述缓冲盘包括收纳半 导体器件的多个单元缓冲盘。所述装置包括生成旋转力的电动机单元；连接至 所述电动机单元的齿轮机构，所述齿轮机构包括至少一个输出齿轮；及至少J 个齿条，其连接至所述单元缓冲盘中至少一个以及所述至少一个输出齿轮以调节所述单元缓冲盘之间间距。本专利技术的一些实施例中，各所述单元缓冲盘具有收纳所述半导体器件的多 个插槽。所述插槽排列成与所述缓冲盘间距方向基本垂直的至少一列，并且所 述单元缓冲盘以所述单元缓冲盘间距方向排列。本专利技术的一些实施例中，所述缓冲盘包括偶数个单元缓冲盘。多个齿条连 接至分别放置在相对于所述缓冲盘中心点两侧的至少一个第一单元缓冲盘及 至少一个第二单元缓冲盘，并且与所述至少一个输出齿轮啮合以使所述第一及 第二单元缓冲盘互相以相本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种缓冲盘间距调节方法，所述缓冲盘包括收纳半导体器件的多对单元缓冲盘，包括：　调节所述单元缓冲盘对之间的第一间距；及　调节所述各对中第一单元缓冲盘与第二单元缓冲盘之间的第二间距。

【技术特征摘要】
KR 2007-8-22 10-2007-00843411.一种缓冲盘间距调节方法，所述缓冲盘包括收纳半导体器件的多对单元缓冲盘，包括调节所述单元缓冲盘对之间的第一间距；及调节所述各对中第一单元缓冲盘与第二单元缓冲盘之间的第二间距。2、 如权利要求1所述的方法，其中通过使至少一第-一单元缓冲盘对与至少一第二单元缓冲盘对互相以相反方向移动来调节所述第一 间距，并且其中所述第一及第二单元缓冲盘对分别放置在相对于 该缓冲盘中心点的两侧。3、 如权利要求1所述的方法，其中通过使至少一第一单元缓冲盘对 与至少 第二单元缓冲盘对互相以相反方向移动来调节所述第一 间 距，并且其中所述第 一 及第二单元缓冲盘对分别放置在相对于 靠近该缓冲盘中'1>点的 一 对单元缓冲盘的两侧。4、 如权利耍求1所述的方法，其中通过使得除最外侧单元缓冲盘对 之外的其余单元缓冲盘对中的至少一对以所述缓冲盘间距的方向 移动来调节所述第一间距。5、 如权利要求1所述的方法，其中通过使所述第二单元缓冲盘相对 于所述第一单元缓冲盘作相对移动来调节所述第二间距。6、 一种缓冲盘间距调节装置，所述缓冲盘包括收纳半导体器件的多 对单元缓冲盘，包括第一传动部，其连接至所述单元缓冲盘对以调节所述单元缓 冲盘对之间的第-间距；及第二传动部，其连接至所述单元缓冲盘对以调节所述单元缓 冲盘对中第一単元缓冲盘与第二单元缓冲盘之间的第二间距。7、 如权利要求6所述的装置，其中所述第一传动部包括连接至所述单元缓冲盘对的多个齿条； 齿轮机构，包括至少一个与所述齿条啮合的输出齿轮；及 连接至所述齿轮机构以向所述齿轮机构提供旋转力的电动机 单元，其中所述齿条连接至分别放置在相对于所述缓冲盘中心点两 侧的至少一第一单元缓冲盘对及至少一第二单元缓冲盘对，并且 与所述至少一个输出齿轮啮合以使所述第一及第二单元缓冲盘对 互相以相反方向移动。8、 如权利要求7所述的装置，其中所述齿轮机构包括连接至所述电动机单元传动轴的传动齿轮；连接至所述传动轴并且与彼此相对的第一齿条及第二齿条啮 合的第一小齿轮，所述第一小齿轮的节圆小于所述传动齿轮的节圆；及与所述传动齿轮啮合，利用所述传动齿轮旋转并且与彼此相 对的第三齿条及第四齿条啮合的第二小齿轮，所述第二小齿轮的 节圆d 、于所述传动齿轮的节圆。9、 如权利要求7所述的装置，包括其上放置有所述第一及第二传动 部的基板。10、 如权利要求9所述的装置，其中所述齿条及所述齿轮机构放置于 所述基板的上表面，所述电动机单元放置于基板的下表面，并且 所述电动机单元通过所述基板连接至所述齿轮机构。11、 如权利要求7所述的装置，其中所述齿条通过多个以基本垂直于 所述缓冲盘间距方向的方向延伸的支架连接至所述单元缓冲盘 对。12、 如权利要求6所述的装置，其中所述第一传动部包括多个齿条；包括至少一个输出齿轮的齿轮机构；及连接至所述齿轮机构以向所述齿轮机构提供旋转力的电动机 单元，其中所述齿条连接至分别放置在相对于靠近所述缓冲盘中心 点的一对单元缓冲盘的两侧的至少一第一单元缓冲盘对及至少一 第二单元缓冲盘对，并且与所述至少一个输出齿轮啮合以使所述 第一及第二单元缓冲盘对互相以相反方向移动。13、 如权利要求6所述的装置，其中所述第一传动部包括多个齿条；包括多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：李镇焕，
申请(专利权)人：赛科隆股份有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]