一种芯片用高效清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种芯片用高效清洗装置，包括工作箱，所述工作箱一侧的下端开设有进料口，所述工作箱一侧的下端开设有出料口，所述工作箱的内壁位于出料口和进料口的下端均固定有承接台，所述工作箱内壁远离承接台的一侧等距固定有清洗池，所述清洗池的底部固定有进排水管，且进排水管的一端与工作箱固定，所述进排水管远离清洗池的一端穿过工作箱固定有第一电磁阀，所述工作箱的上方设置有用于吸取芯片的吸附机构，所述工作箱的顶部通过轴承转动连接有用于驱动吸附机构转动的转动送料机构，本实用新型专利技术能够有效的完成芯片的清洗工作，且能够极大程度的提高芯片的清洗效率，方便人们使用。方便人们使用。方便人们使用。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片用高效清洗装置


[0001]本技术涉及芯片加工设备
，具体为一种芯片用高效清洗装置。

技术介绍

[0002]集成电路(英语：integratedcircuit，缩写作IC)，或称微电路(microcircuit)、微芯片(microchip)、晶片/芯片(chip)在电子学中是一种把电路(主要包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上，在芯片的加工过程中，有一道工序是对芯片进行清洗，清洗是芯片制造过程中重要的环节之一，清洗效果影响了芯片质量，清洗不均、不干净或漏洗会导致脏污隐患，降低了芯片成品率。
[0003]根据现有专利CN109860079A提供的一种芯片的清洗装置，涉及半导体芯片
，包括装置本体，所述装置本体的两个侧面分别开有送料口与出料口，所述装置本体由上盖板和下槽体卡接而成，所述装置本体内设有传送机构和清洗机构，本专利技术操作便捷，通过设置传送机构、清洗机构、烘干机构实现了加密芯片的一体式自动化的浸泡、清洗、淋洗和烘干过程，自动化程度高，清洗效率高，洁净度高，减少芯片损伤，烘干过程中，可以通过调节加热管距离芯片的高度以及风扇的风速调节烘干环境，实用性高，该专利虽然能够完成对芯片的清洗工作，但是其清洗效率非常低，一个流程只能够完成一个芯片的清洗工作，而需要清洗第二个芯片时需要在第一个芯片的清洗流程全部结束时才能够清洗第二个芯片，极大的降低了清洗的效率，不适用于芯片的批量清洗工作。
[0004]为此，我们提出一种芯片用高效清洗装置。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种芯片用高效清洗装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种芯片用高效清洗装置，包括工作箱，所述工作箱一侧的下端开设有进料口，所述工作箱一侧的下端开设有出料口，所述工作箱的内壁位于出料口和进料口的下端均固定有承接台，所述工作箱内壁远离承接台的一侧等距固定有清洗池，所述清洗池的底部固定有进排水管，且进排水管的一端与工作箱固定，所述进排水管远离清洗池的一端穿过工作箱固定有第一电磁阀，所述工作箱的上方设置有用于吸取芯片的吸附机构，所述工作箱的顶部通过轴承转动连接有用于驱动吸附机构转动的转动送料机构。
[0007]优选的，所述吸附机构包括气泵、导管和真空吸嘴，所述工作箱的上方等距设置有气泵，所述气泵的出气端固定有导管，所述导管远离气泵的一端固定有真空吸嘴。
[0008]优选的，所述转动送料机构包括转动筒、固定盘、连接盘、蜗轮、蜗杆、电机、滑套、延长杆、避让槽、驱动柱、驱动框和驱动槽，所述工作箱上表面的中部通过轴承转动连接有转动筒，所述转动筒的顶部固定有固定盘，所述气泵与固定盘固定，所述转动筒的底部固定有连接盘，所述转动筒上端的外壁固定有蜗轮，所述工作箱上表面的一侧通过轴承转动连
接有蜗杆，所述蜗杆与蜗轮啮合连接，所述工作箱上表面靠近蜗杆的一侧固定有电机，所述蜗杆靠近电机的一端与电机的输出端固定，所述连接盘的底部等距固定有滑套，所述滑套的内壁滑动连接有延长杆，所述真空吸嘴与延长杆的底部固定，所述滑套远离转动筒的一侧开设有避让槽，所述延长杆上端靠近避让槽的一侧通过轴承转动连接有驱动柱，所述工作箱内壁的中部固定有驱动框，所述驱动框的中部开设有驱动槽，所述驱动柱远离延长杆的一端穿过避让槽与驱动槽的内壁滚动连接。
[0009]优选的，所述导管分别与延长杆、滑套、连接盘的底部和转动筒的内壁固定，且导管位于延长杆与滑套滑动的位置为软管。
[0010]优选的，所述工作箱的内壁位于出料口一侧的承接台的下方固定有沥水盒，所述沥水盒下端的一侧固定有出水管，所述出水管的一端固定有第二电磁阀，所述工作箱的内壁位于出料口一侧的承接台的表面等距开设有排水孔。
[0011]优选的，所述工作箱内壁底部的中部固定有热风机，所述热风机的出风口朝向出料口。
[0012]优选的，所述工作箱内壁顶部的中部固定有稳定套，所述转动筒与稳定套的内壁转动连接。
[0013]优选的，所述工作箱的底部等距固定有可调支撑脚。
[0014]优选的，所述工作箱内壁靠近进料口一侧的承接台的顶部固定有定位块，且定位块位于真空吸嘴的正下方。
[0015]优选的，所述电机为减速电机。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0017]1、本技术通过设置三个清洗池，一个真空吸嘴在吸取芯片后能够带动芯片进行三次清洗工作，从而极大程度的提高清洗的质量。
[0018]2、本技术通过设置的转动送料机构能够自动完成将芯片送入到清洗池内进行清洗的工作，且配合吸附机构能够使得清洗工作呈流水线式进行，从而能够持续不断的进行芯片的清洗工作，极大程度的提高了清洗效率。
附图说明
[0019]图1为本技术的整体结构示意图；
[0020]图2为本技术的吸附机构结构示意图；
[0021]图3为本技术的A处放大图；
[0022]图4为本技术的转动送料机构结构示意图之一；
[0023]图5为本技术的转动送料机构结构示意图之二；
[0024]图6为本技术的B处放大图。
[0025]图中：1、工作箱；2、进料口；3、出料口；4、承接台；5、清洗池；6、进排水管；7、第一电磁阀；8、吸附机构；81、气泵；82、导管；83、真空吸嘴；9、转动送料机构；91、转动筒；92、固定盘；93、连接盘；94、蜗轮；95、蜗杆；96、电机；97、滑套；98、延长杆；99、避让槽；910、驱动柱；911、驱动框；912、驱动槽；10、沥水盒；11、出水管；12、第二电磁阀；13、排水孔；14、热风机；15、稳定套；16、可调支撑脚；17、定位块。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]请参阅图1和图4，本技术提供一种技术方案：一种芯片用高效清洗装置，包括工作箱1，所述工作箱1一侧的下端开设有进料口2，所述工作箱1一侧的下端开设有出料口3，所述工作箱1的内壁位于出料口3和进料口2的下端均固定有承接台4，所述工作箱1内壁远离承接台4的一侧等距固定有清洗池5，所述清洗池5的底部固定有进排水管6，且进排水管6的一端与工作箱1固定，所述进排水管6远离清洗池5的一端穿过工作箱1固定有第一电磁阀7，所述工作箱1的上方设置有用于吸取芯片的吸附机构8，所述工作箱1的顶部通过轴承转动连接有用于驱动吸附机构8转动的转动送料机构9。
[0028]请参阅2、图3、图4和图5，所述吸附机构8包括气泵81、导管82和真空吸嘴83，所述工作箱1的上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片用高效清洗装置，包括工作箱(1)，其特征在于：所述工作箱(1)一侧的下端开设有进料口(2)，所述工作箱(1)一侧的下端开设有出料口(3)，所述工作箱(1)的内壁位于出料口(3)和进料口(2)的下端均固定有承接台(4)，所述工作箱(1)内壁远离承接台(4)的一侧等距固定有清洗池(5)，所述清洗池(5)的底部固定有进排水管(6)，且进排水管(6)的一端与工作箱(1)固定，所述进排水管(6)远离清洗池(5)的一端穿过工作箱(1)固定有第一电磁阀(7)，所述工作箱(1)的上方设置有用于吸取芯片的吸附机构(8)，所述工作箱(1)的顶部通过轴承转动连接有用于驱动吸附机构(8)转动的转动送料机构(9)。2.根据权利要求1所述的一种芯片用高效清洗装置，其特征在于：所述吸附机构(8)包括气泵(81)、导管(82)和真空吸嘴(83)，所述工作箱(1)的上方等距设置有气泵(81)，所述气泵(81)的出气端固定有导管(82)，所述导管(82)远离气泵(81)的一端固定有真空吸嘴(83)。3.根据权利要求2所述的一种芯片用高效清洗装置，其特征在于：所述转动送料机构(9)包括转动筒(91)、固定盘(92)、连接盘(93)、蜗轮(94)、蜗杆(95)、电机(96)、滑套(97)、延长杆(98)、避让槽(99)、驱动柱(910)、驱动框(911)和驱动槽(912)，所述工作箱(1)上表面的中部通过轴承转动连接有转动筒(91)，所述转动筒(91)的顶部固定有固定盘(92)，所述气泵(81)与固定盘(92)固定，所述转动筒(91)的底部固定有连接盘(93)，所述转动筒(91)上端的外壁固定有蜗轮(94)，所述工作箱(1)上表面的一侧通过轴承转动连接有蜗杆(95)，所述蜗杆(95)与蜗轮(94)啮合连接，所述工作箱(1)上表面靠近蜗杆(95)的一侧固定有电机(96)，所述蜗杆(95)靠近电机(96)的一端与电机(96)的输出端固定，所述连接盘(93)的底部等距固定有滑套(97)，所述滑套(97)的内壁...

【专利技术属性】
技术研发人员：王少花，
申请(专利权)人：优普士电子深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：