【技术实现步骤摘要】
一种厂房除硫净化结构
[0001]本技术主要涉及半导体生产领域,尤其涉及一种厂房除硫净化结构。
技术介绍
[0002]在半导体的封装焊线工程中金线会受到空气中硫化物的污染,从而使得金线在与焊盘粘合时受负离子迁移影响,最终导致金球受到挤压,发生高尔夫球现象,产生不良品。目前的MAU厂房,只有空气过滤,并不包含硫化物清除功能,导致问题时常发生,最终导致产品质量下降。
技术实现思路
[0003]针对现有技术的上述缺陷,本技术提供一种厂房除硫净化结构,包括空气净化房1,空气净化房1通过风机和送风管将空气传输至厂房区2,空气净化房1的进风口处设有水淋箱11,水淋箱11内设有立式水管112,水淋箱11的底部通过出水管道与废水箱12相连,立式水管112通过运水设备与外部的水池相连,立式水管112的侧壁设有水淋喷头113。
[0004]优选的,立式水管112设有多个,多个立式水管112等距设置在水淋箱11内,每个立式水管112的侧壁均等距设有多个水淋喷头113,每个水淋喷头113的喷洒方向均朝向水淋箱11的中心。
[0005]优选的,废水箱12位于水淋箱11的地底下方。
[0006]优选的,空气净化房1内还设有除湿房,除湿房通过管道与水淋箱11连接。
[0007]优选的,厂房区2内的多间MAU厂房。
[0008]优选的,水淋喷头113常态处于开启状态。
[0009]本技术的有益效果:根据硫化物易溶于水的原理,在空气净化房的空气进入口中加装水淋系统,强化去除空气中较多的硫化物 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种厂房除硫净化结构,其特征在于,包括空气净化房(1),所述空气净化房(1)通过风机和送风管将空气传输至厂房区(2),所述空气净化房(1)的进风口处设有水淋箱(11),所述水淋箱(11)内设有立式水管(112),所述水淋箱(11)的底部通过出水管道与废水箱(12)相连,所述立式水管(112)通过运水设备与外部的水池相连,所述立式水管(112)的侧壁设有水淋喷头(113)。2.根据权利要求1所述的一种厂房除硫净化结构,其特征在于:所述立式水管(112)设有多个,多个所述立式水管(112)等距设置在水淋箱(11)内,每个所述立式水管(112)...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱健,
申请(专利权)人:海太半导体无锡有限公司,
类型:新型
国别省市:
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