本实用新型专利技术涉及废气净化技术领域，尤其是一种基于风速均一化的ECS装置。其包括处理箱体，所述处理箱体内沿着废气处理方向依次设置第一隔板、第二隔板和第三隔板，所述第一隔板下端固定连接处理箱体下箱板，第一隔板上端固定连接处理箱体上箱板，第一隔板和处理箱体前端箱体之间形成废气的预处理室，第一隔板面向多个导风管进风口位置处设置多个相互平行的第一喷淋管，多个第一喷淋管分别固定在多个第一管架上，多个第一管架固定在第一隔板上。本实用新型专利技术通过喷淋的洗涤水能够有效吸收处理半导体清洗工艺过程中产生的废气中的有害物质；通过设置整流板，废气从第一整流板和第二整流板的整流孔通过时能够风速均一化，提高后续吸附效率。续吸附效率。续吸附效率。
【技术实现步骤摘要】
一种基于风速均一化的ECS装置
[0001]本技术涉及废气净化
，尤其是一种基于风速均一化的ECS装置。
技术介绍
[0002]ECS(Exhaust Control System)即废气控制装置，主要应用于半导体晶圆清洗领域，其工作原理为废气和洗涤液采用逆流原理，使得废气在经过吸收填料时，与洗涤液得到充分接触被吸收。
[0003]现有技术中，ECS中采用的洗涤液为工业用水，能够满足对半导体清洗工艺过程中产生的一般浓度酸碱、有机水溶性废气的吸收；但是随着半导体工艺的进步与发展，后续可能会需要对高浓度酸碱，有机水溶液废气进行吸收处理，因此需要提高吸附效率，填料的吸附效率在过流方向风速2
‑
3m/s区间吸附效率最高，要提高吸附效率，就要将填料区域风速控制在2
‑
3m/s左右。
技术实现思路
[0004]本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种基于风速均一化的ECS装置，能够有效吸收处理半导体清洗工艺过程中产生的废气中的有害物质，提高了吸附效率。
[0005]本技术所采用的技术方案如下：
[0006]一种基于风速均一化的ECS装置，包括处理箱体，所述处理箱体内沿着废气处理方向依次设置第一隔板、第二隔板和第三隔板，第一隔板、第二隔板和第三隔板均竖直设置；
[0007]所述第一隔板下端固定连接处理箱体下箱板，第一隔板上端固定连接处理箱体上箱板，第一隔板和处理箱体前端箱体之间形成废气的预处理室，第一隔板面向多个导风管进风口位置处设置多个相互平行的第一喷淋管，多个第一喷淋管分别固定在多个第一管架上，多个第一管架固定在第一隔板上；
[0008]所述第二隔板上端和处理箱体上箱板之间留有空气通过的间隙，第二隔板下端固定连接处理箱体下箱板，第二隔板和第一隔板之间形成废气的第一洗涤室，第一洗涤室上部设置多个平行设置的第二喷淋管，多个第二喷淋管共同固定在第二管架上，第二管架两端分别固定在第一隔板和第二隔板上；
[0009]所述第三隔板上端固定连接处理箱体上箱板，第三隔板下端固定连接处理箱体下箱板，第三隔板和第二隔板之间形成废气的过渡室，过渡室顶部设置第三喷淋管，第三喷淋管固定在第三管架上，第三管架固定在第三隔板上；
[0010]所述第三隔板和处理箱体后箱板之间形成废气的第二洗涤室，第二洗涤室中部设置多个相互平行设置的第四喷淋管，多个第四喷淋管分别固定在多个第四管架上，多个第四管架分别固定在第三隔板和处理箱体后箱板上。
[0011]进一步的，处理箱体前箱板上固定多个导风管，多个导风管沿着前端箱体均匀分布，多个导风管和处理箱体内部腔体连通。
[0012]进一步的，多个导风管水平设置。
[0013]进一步的，多个导风管的进风口斜向上设置，并且多个导风管和水平面呈45
°
夹角。
[0014]进一步的，第一隔板底部设置第一流通槽，第一连通槽将预处理室和第一洗涤室底部连通，第二隔板底部设置第二流通槽，第二流通槽将第一洗涤室和过渡室连通，第三隔板底部设置第三流通槽，第三流通槽将过渡室和第二洗涤室底部连通。
[0015]进一步的，处理箱体内下部同一高度位置处横向固定第一整流板和第二整流板，第一整流板一端固定连接第二隔板侧面，第一整流板另一端穿过第一隔板并固定连接在处理箱体前端箱体内侧面，第二整流板一端固定连接第三隔板，另一端固定连接处理箱体后箱板。
[0016]进一步的，第一整流板和第二整流板表面均匀设置多个整流孔。
[0017]进一步的，第一整流板和第二整流板上部设置填料层。
[0018]本技术的有益效果如下：
[0019]本技术结构紧凑、合理，操作方便，通过喷淋的洗涤水能够有效吸收处理半导体清洗工艺过程中产生的废气中的有害物质；通过设置整流板，废气从第一整流板和第二整流板的整流孔通过时能够风速均一化，提高后续吸附效率。
附图说明
[0020]图1为本技术实施例一立体图。
[0021]图2为本技术实施例二主视图。
[0022]图3为本技术实施例一半剖图。
[0023]其中：1、处理箱体；2、导风管；3、第一隔板；4、第二隔板；5、第三隔板；6、第一整流板；7、第二整流板；8、第一喷淋管；9、第一管架；10、第二喷淋管；11、第二管架；12、第三喷淋管；13、第三管架；14、第四喷淋管；15、第四管架；17、第一流通槽；18、第二流通槽；19、第三流通槽。
具体实施方式
[0024]下面结合附图，说明本技术的具体实施方式。
[0025]如图1和图3所示的实施例中，主要包括处理箱体1，处理箱体1内沿着废气处理方向依次设置第一隔板3、第二隔板4和第三隔板5，第一隔板3、第二隔板4和第三隔板5均竖直设置。
[0026]如图3所示的实施例中，处理箱体1前箱板上固定多个导风管2，多个导风管2水平设置，多个导风管2沿着前端箱体均匀分布，多个导风管2和处理箱体1内部腔体连通。
[0027]如图2所示的实施例中，多个导风管2的进风口斜向上设置，并且多个导风管2和水平面呈45
°
夹角。压力损失的形式通常分为沿程压力损失和局部压力损失，由于洗涤废气的废气行进路线设定，导风管2设置成与水平面呈45
°
夹角时比水平设置有效减少局部压力损失。
[0028]如图3所示的实施例中，第一隔板3下端固定连接处理箱体1下箱板，第一隔板3上端固定连接处理箱体1上箱板。第一隔板3和处理箱体1前端箱体之间形成废气的预处理室，第一隔板3面向多个导风管2进风口位置处设置多个相互平行的第一喷淋管8，多个第一喷
淋管8分别固定在多个第一管架9上，多个第一管架9固定在第一隔板3上，第一喷淋管8面向由多个导风管2进入预处理室的废气进行预处理喷淋。
[0029]如图3所示的实施例中，第二隔板4上端和处理箱体1上箱板之间留有空气通过的间隙，第二隔板4下端固定连接处理箱体1下箱板。第二隔板4和第一隔板3之间形成废气的第一洗涤室，第一洗涤室上部设置多个平行设置的第二喷淋管10，多个第二喷淋管10面向第一洗涤室下部上升中的废气进行喷淋处理，多个第二喷淋管10共同固定在第二管架11上，第二管架11两端分别固定在第一隔板3和第二隔板4上。第一洗涤室内的废气在上升过程中，多个第二喷淋管10内的洗涤水向下喷淋，吸收净化废气。
[0030]如图3所示的实施例中，第三隔板5上端固定连接处理箱体1上箱板，第三隔板5下端固定连接处理箱体1下箱板。第三隔板5和第二隔板4之间形成废气的过渡室，过渡室顶部设置第三喷淋管12，第三喷淋管12固定在第三管架13上，第三管架13固定在第三隔板5上。
[0031]如图3所示的实施例中，第三隔板5和处理箱体1后箱板之间形成废气的第二洗涤室，第二洗涤室中部设置多个相互平行设置的第四喷淋管14，多个第四喷淋管14分别固定在多个第四管架15上，多本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于风速均一化的ECS装置，包括处理箱体(1)，其特征在于：所述处理箱体(1)内沿着废气处理方向依次设置第一隔板(3)、第二隔板(4)和第三隔板(5)，第一隔板(3)、第二隔板(4)和第三隔板(5)均竖直设置；所述第一隔板(3)下端固定连接处理箱体(1)下箱板，第一隔板(3)上端固定连接处理箱体(1)上箱板，第一隔板(3)和处理箱体(1)前端箱体之间形成废气的预处理室，第一隔板(3)面向多个导风管(2)进风口位置处设置多个相互平行的第一喷淋管(8)，多个第一喷淋管(8)分别固定在多个第一管架(9)上，多个第一管架(9)固定在第一隔板(3)上；所述第二隔板(4)上端和处理箱体(1)上箱板之间留有空气通过的间隙，第二隔板(4)下端固定连接处理箱体(1)下箱板，第二隔板(4)和第一隔板(3)之间形成废气的第一洗涤室，第一洗涤室上部设置多个平行设置的第二喷淋管(10)，多个第二喷淋管(10)共同固定在第二管架(11)上，第二管架(11)两端分别固定在第一隔板(3)和第二隔板(4)上；所述第三隔板(5)上端固定连接处理箱体(1)上箱板，第三隔板(5)下端固定连接处理箱体(1)下箱板，第三隔板(5)和第二隔板(4)之间形成废气的过渡室，过渡室顶部设置第三喷淋管(12)，第三喷淋管(12)固定在第三管架(13)上，第三管架(13)固定在第三隔板(5)上；所述第三隔板(5)和处理箱体(1)后箱板之间形成废气的第二洗涤室，第二洗涤室中部设置多个相互平行设置的第四喷淋管(14)，多个第四喷淋管(14)分别固定在多个第四管架(15)上，多个第四管架(15)分别固定在第三隔板(5)和处理箱体(1)后箱板上。2.如...
【专利技术属性】
技术研发人员：王贝易，孙涛，侯新建，
申请(专利权)人：盛奕半导体科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。