真空门结构及真空设备制造技术

本申请涉及一种真空门结构及真空设备，真空门结构包括：直线运动机构、门板以及连接板；其中，直线运动机构安装在真空腔体前板的两侧，连接板安装在直线运动机构之间；门板上安装有支撑结构，门板通过支撑结构与连接板联动，由直线运动机构带动上下运动；门板两侧安装有导向轴承，导向轴承在真空腔体前板进行上下滑行；真空腔体前板在关闭位置设有轴承避位槽，连接板上安装有推进机构；导向轴承滑行至在轴承避位槽时，由推进机构将门板向真空腔体前板的密封圈压紧。该技术方案，实现了自动化打开和关闭真空腔室的门板，降低了操作者手工开启或关闭真空门的复杂性，同时为实现自动化上下料提供有效通道，提高制造过程的自动化程度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
真空门结构及真空设备


[0001]本申请涉及真空设备
，特别是一种真空门结构及真空设备。

技术介绍

[0002]真空腔室是镀膜机、刻蚀机等真空设备必须的主体结构，真空腔室由多个壁面的真空腔体和门结构构成一个密封体，门结构与真空腔体通过密封圈进行密封。
[0003]传统的真空腔室的门结构是采用合页连接翻转的方式，在使用时，通常是操作者先将门解锁，然后由手动打开；关闭时，先关闭门体，然后用气缸拉紧或推动卡扣卡紧，或人工操作卡扣卡紧。
[0004]由于真空腔室的门板通常都非常重，一般都有几十公斤以上，而真空腔室也经常需要进行上下料或者清洁作业，在此过程中，操作者需要对门结构打开和关闭的操作变得非常复杂，而且也不利于自动上下料和设备使用自动化。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对上述门结构打开和关闭的操作复杂的技术问题，提供一种真空门结构及真空设备。
[0006]一种真空门结构，包括：直线运动机构、门板以及连接板；其中，所述直线运动机构安装在真空腔体前板的两侧，所述连接板安装在所述直线运动机构之间；
[0007]所述门板上安装有支撑结构，门板通过支撑结构与连接板联动，由所述直线运动机构带动上下运动；所述门板两侧安装有导向轴承，所述导向轴承在所述真空腔体前板进行上下滑行；
[0008]所述真空腔体前板在关闭位置设有轴承避位槽，连接板上安装有推进机构；所述导向轴承滑行至在所述轴承避位槽时，由所述推进机构将门板向真空腔体前板的密封圈压紧。
[0009]在一个实施例中，所述支撑结构包括安装在门板上的支撑轴承，门板通过支撑轴承与连接板联动，由所述直线运动机构带动上下运动。
[0010]在一个实施例中，在关门动作中，所述门板向上运动到关闭位置时，所述导向轴承运动到真空腔体前板的轴承避位槽位置，所述推进机构输出作用力给门板将导向轴承压入轴承避位槽内悬空，并将门板压在真空腔体前板上。
[0011]在一个实施例中，在开门动作中，门板向下运动，连接板带动所述导向轴承脱离所述轴承避位槽，门板与所述真空腔体前板的密封圈脱离；所述导向轴承在真空腔体前板向下运动，门板通过支撑轴承与连接板联动运动到底部设定位置。
[0012]在一个实施例中，所述推进机构包括预压弹簧；其中，所述导向轴承在真空腔体前板上滑动时，预压弹簧处于深度压缩状态，将所述门板向真空腔体前板压紧，使得导向轴承与真空腔体前板保持接触；所述导向轴承运动到轴承避位槽位置，所述预压弹簧处于预压状态，导向轴承压入轴承避位槽内悬空，预压弹簧将门板压在真空腔体前板上。
[0013]在一个实施例中，所述推进机构包括气缸推进机构或电机推进机构。
[0014]在一个实施例中，所述直线运动机构包括双滑台模组；
[0015]所述双滑台模组包括分别安装在真空腔体前板两侧的滑台模组；所述连接板的两端分别安装在两个滑台模组的滑块上；每个滑台模组对应一个驱动电机，驱动滑块上下运动。
[0016]在一个实施例中，所述直线运动机构包括双直线导轨，一个驱动电机及丝杆结构；
[0017]所述双直线导轨包括分别安装在真空腔体前板两侧的直线导轨，所述连接板的两端分别安装在两个直线导轨的滑块上；
[0018]所述驱动电机安装在门板中部位置，通过所述丝杆结构驱动所述连接板上下运动。
[0019]在一个实施例中，所述直线运动机构包括一个滑台模组和一个直线导轨；
[0020]所述滑台模组和直线导轨分别安装在真空腔体前板两侧，所述连接板分别安装在所述滑台模组的滑块和直线导轨的滑块上；所述滑台模组对应一个驱动电机，驱动滑台模组的滑块上下运动。
[0021]一种真空设备，包括：真空腔室以及上述的真空门结构。
[0022]本申请的技术方案具有如下有益效果：
[0023]利用直线运动机构、门板以及连接板结合的结构，在门板上安装支撑结构，门板通过支撑结构与连接板联动，并由直线运动机构带动上下运动，门板两侧安装导向轴承，导向轴承在真空腔体前板进行上下滑行，在真空腔体前板在关闭位置设置轴承避位槽，并连接板上安装推进机构，导向轴承滑行至在轴承避位槽时，由推进机构将门板向真空腔体前板的密封圈压紧，实现门板的打开和关闭；该技术方案，实现了自动化打开和关闭真空腔室的门板，降低了操作者手工开启或关闭真空门的复杂性，同时为实现自动化上下料提供有效通道，并且结合上下游工艺，可以实现物料的自动周转，提高制造过程的自动化程度。
附图说明
[0024]图1是真空门结构安装示意图；
[0025]图2是一个实施例的真空门结构示意图；
[0026]图3是真空门结构关闭状态下的俯视图；
[0027]图4和5是真空门结构关闭状态下的剖面视图；
[0028]图6是一个实施例的直线运动机构结构示意图；
[0029]图7是另一个实施例的直线运动机构结构示意图；
[0030]图8是又一个实施例的直线运动机构结构示意图。
具体实施方式
[0031]为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0032]本申请实施例的术语“包括”以及其他任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或模块，而
是可选地还包括没有列出的步骤或模块，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或模块。
[0033]参考图1，图1是真空门结构安装示意图，如图中所示，在真空腔体的真空腔体前板40上，通过自动化运行的真空门结构，真空腔室的门板20可以上下滑动来完成打开或关闭。
[0034]参考图2，图2是一个实施例的真空门结构示意图，图2为图1的虚线圈部分处于关闭状态下的放大图，该真空门结构包括：直线运动机构10、门板20以及连接板30；其中，直线运动机构10安装真空腔体前板40的两侧，连接板30安装在直线运动机构10之间。
[0035]门板20上安装有支撑结构21，门板20通过支撑结构21与连接板30联动，由直线运动机构10带动上下运动；门板20两侧安装有导向轴承22，导向轴承22在所述真空腔体前板40进行上下滑行。真空腔体前板40在关闭位置设有轴承避位槽401，连接板30上安装有推进机构23；导向轴承22滑行至在轴承避位槽401时，由推进机构23将门板20向真空腔体前板40的密封圈402压紧。
[0036]在一个实施例中，对于本申请的支撑结构21，可以包括安装在门板20上的支撑轴承211，门板20通过支撑轴承211与连接板30联动，由直线运动机构10带动上下运动。
[0037]基于上述实施例的真空门结构，其在关门和开门中操作可以如下：
[0038]在关门动作中：门板20向上运动到关闭位置时，导向轴承22运动到真空腔本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空门结构，其特征在于，包括：直线运动机构、门板以及连接板；其中，所述直线运动机构安装在真空腔体前板的两侧，所述连接板安装在所述直线运动机构之间；所述门板上安装有支撑结构，门板通过支撑结构与连接板联动，由所述直线运动机构带动上下运动；所述门板两侧安装有导向轴承，所述导向轴承在所述真空腔体前板进行上下滑行；所述真空腔体前板在关闭位置设有轴承避位槽，连接板上安装有推进机构；所述导向轴承滑行至在所述轴承避位槽时，由所述推进机构将门板向真空腔体前板的密封圈压紧。2.根据权利要求1所述的真空门结构，其特征在于，所述支撑结构包括安装在门板上的支撑轴承，门板通过支撑轴承与连接板联动，由所述直线运动机构带动上下运动。3.根据权利要求1所述的真空门结构，其特征在于，所述推进机构包括预压弹簧；其中，所述导向轴承在真空腔体前板上滑动时，预压弹簧处于深度压缩状态；所述导向轴承运动到轴承避位槽位置，所述预压弹簧处于预压状态。4.根据权利要求1所述的真空门结构，其特征在于，所述推进机构包括气缸推进机构或电机推进机构。5.根据权利要求1
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【专利技术属性】
技术研发人员：蒋毅，刘伟基，冀鸣，赵刚，易洪波，
申请(专利权)人：佛山市博顿光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：