【技术实现步骤摘要】
本申请涉及真空，尤其是一种旋转工件盘及其控制方法、真空设备。
技术介绍
1、在真空设备中，如真空镀膜设备和真空刻蚀设备，通常都设有旋转工件盘，用于装载与固定需要被镀膜或刻蚀的工件，旋转工件盘一般是采用水平旋转方式或者竖直转动方式，其结构上主要包括旋转机构、工件盘和旋转轴等组成部分，旋转机构输出动力旋转工件盘，旋转机构可设于真空腔室的部内或者室外。
2、在真空设备中，使用前需要人工将待处理的工件安装到工件盘上，为了保持整体平衡，用户往往需要对各个工件不断进行位置调整，严重降低了工作效率，而且也难以确保旋转工件盘的平衡；另外，在真空设备进行一些较为精密的处理过程时，整个腔体需要稳定的工作环境，由于旋转工件盘无法整体确保整体平衡，在旋转过程中容易产生振动，从而影响了真空设备的工作稳定性，降低了工件镀膜或刻蚀的质量。
3、由此可见，常规的工件安装方案工作效率较低，而且难以做到整体平衡，影响了真空设备的处理效果。
技术实现思路
1、本申请的目的旨在解决上述的技术缺陷之一，提供一种旋转工件盘及其控制方法、真空设备，提升工件安装工作效率和真空设备的处理效果。
2、一种旋转工件盘，设于真空设备中，包括旋转机构、工件盘和旋转轴，所述旋转机构通过所述旋转轴连接所述工件盘；在所述旋转轴上设有转动机构，所述转动机构位于工件盘上部位置；
3、所述转动机构连接一导向部件，所述导向部件在所述工件盘上方沿工件盘直径方向延伸，在所述导向部件上设有配重块；
5、所述导向部件推动所述配重块沿工件盘直径方向进行移动，使得所述配重块移动至距离旋转轴轴线设定距离位置处。
6、在一个实施例中，所述转动机构包括旋转座、第一齿轮、第二电机以及第二齿轮；
7、所述第一齿轮固定在旋转轴周围，所述旋转座连接所述导向部件，所述第二电机固定于旋转座上；
8、所述第二电机连接第二齿轮，所述第二齿轮与所述第一齿轮啮合；
9、所述第二电机驱动第二齿轮相对于第一齿轮转动，以驱动所述旋转座绕旋转轴轴线进行转动。
10、在一个实施例中，所述导向部件包括导轨组件和滑动组件；其中，所述滑动组件在导轨组件上进行移动，所述配重块设于滑动组件上；
11、所述滑动组件内置有第三电机及其连接的第三齿轮，所述导轨组件上设有齿条，所述第三齿轮与所述齿条啮合；
12、所述第三电机驱动第三齿轮在所述齿条上进行移动，以驱动所述滑动组件将配重块移动至设定位置处。
13、在一个实施例中，所述旋转座在所述导向部件对向位置还连接有平衡组件；其中，所述平衡组件外形以及重量与导轨组件一致。
14、在一个实施例中，所述的旋转工件盘还包括：分别连接所述旋转机构、转动机构和导向部件的控制器；其中，所述控制器被配置为检测所述旋转机构的输出功率并获取输出功率曲线，根据所述输出功率曲线的最小功率值控制所述转动机构将所述导向部件转到目标角度以及通过所述导向部件将所述配重块移动至目标位置。
15、在一个实施例中，所述旋转机构内置有第一电机；其中，所述第一电机、第二电机和第三电机分别连接至所述控制器。
16、一种旋转工件盘的控制方法，应用于所述的旋转工件盘，包括如下步骤：
17、在工件盘上安装工件之后，通过导向部件将配重块移动至初始位置，通过旋转机构旋转所述工件盘；
18、在工件盘处于旋转状态下，转动所述导向部件并根据所述旋转机构的第一输出功率将导向部件转到所述目标角度；
19、在所述目标角度下，移动所述配重块并根据所述旋转机构的第二输出功率将配重块移动至所述目标位置；
20、启动真空设备对所述旋转工件盘上的工件进行镀膜或刻蚀。
21、在一个实施例中，所述在工件盘处于旋转状态下，转动所述导向部件并根据所述旋转机构的第一输出功率将导向部件转到所述目标角度，包括：
22、通过转动机构驱动导向部件进行转动，检测所述旋转机构的第一输出功率，并生成所述导向部件转动一周的第一输出功率曲线；
23、根据所述第一输出功率曲线的最小值确定导向部件的目标角度，通过转动机构将导向部件转到所述目标角度；
24、所述在所述目标角度下，移动所述配重块并根据所述旋转机构的第二输出功率将配重块移动至所述目标位置，包括：
25、在所述目标角度下，通过导向部件将配重块进行一次全行程移动，检测所述旋转机构的第二输出功率，并生成所述配重块进行全行程移动的第二输出功率曲线；
26、根据所述第二输出功率曲线的最小值确定配重块的目标位置，通过导向部件将配重块移动至所述目标位置。
27、在一个实施例中，所述的旋转工件盘的控制方法，还包括：
28、在真空设备进行镀膜或刻蚀过程中，检测所述旋转机构的实时输出功率的变化值；
29、当所述变换值超过设定阈值时，通过所述导向部件移动所述配重块，直至所述变化值小于所述设定阈值。
30、一种真空设备，用于对工件进行镀膜或刻蚀，其特征在于，包括：真空腔室，以及所述的旋转工件盘；其中，所述旋转工件盘用于安装待处理的工件。
31、如上述实施例的技术方案，在旋转轴上设置转动机构及配重块，通过转动机构驱动导向部件绕旋转轴轴线进行旋转调整配重块的角度位置，通过导向部件调整配重块沿工件盘直径方向的位置；该技术方案，实现了上料操作过程的自动化配平，提升了上料操作工作效率，确保旋转工件盘的平衡，增强了真空设备的工作稳定性，提升了工件镀膜或刻蚀的质量。
32、进一步的，通过将控制器配置为检测旋转机构的输出功率并获取输出功率曲线，根据输出功率曲线的最小功率值控制转动机构将导向部件转到目标角度以及通过导向部件将配重块移动至目标位置，在无需增加设备下，实现了成本低、准确性高的配平过程。
33、进一步的，通过在镀膜或刻蚀之前旋转安装工件后的工件盘，通过检测旋转机构的第一电机实时的输出功率，拟合了输出功率曲线，利用输出功率曲线的最小值来测定配重块的最优目标角度和目标位置，然后自动地进行配平处理，采用该技术方案，可以降低设备成本，而且能够获取到准确的测定结果，从而提升了工作效率，也提升了真空设备的镀膜或刻蚀质量和效果。
34、进一步的，在真空设备进行镀膜或刻蚀过程中对配重块进行微调，从而将整个工件盘保持在最优的平衡状态，从而可以保持整个真空设备的平衡性，提升了镀膜或刻蚀的质量和效果。
35、本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
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1.一种旋转工件盘，设于真空设备中，包括旋转机构、工件盘和旋转轴，所述旋转机构通过所述旋转轴连接所述工件盘；其特征在于，在所述旋转轴上设有转动机构，所述转动机构位于工件盘上部位置；
2.根据权利要求1所述的旋转工件盘，其特征在于，所述转动机构包括旋转座、第一齿轮、第二电机以及第二齿轮；
3.根据权利要求2所述的旋转工件盘，其特征在于，所述导向部件包括导轨组件和滑动组件；其中，所述滑动组件在导轨组件上进行移动，所述配重块设于滑动组件上；
4.根据权利要求3所述的旋转工件盘，其特征在于，所述旋转座在所述导向部件对向位置还连接有平衡组件；其中，所述平衡组件外形以及重量与导轨组件一致。
5.根据权利要求3所述的旋转工件盘，其特征在于，还包括：分别连接所述旋转机构、转动机构和导向部件的控制器；其中，所述控制器被配置为检测所述旋转机构的输出功率并获取输出功率曲线，根据所述输出功率曲线的最小功率值控制所述转动机构将所述导向部件转到目标角度以及通过所述导向部件将所述配重块移动至目标位置。
6.根据权利要求5所述的旋转工件盘，其特征在于，
7.一种旋转工件盘的控制方法，其特征在于，应用于权利要求1-6任一项所述的旋转工件盘，包括如下步骤：
8.根据权利要求7所述的旋转工件盘的控制方法，其特征在于，所述在工件盘处于旋转状态下，转动所述导向部件并根据所述旋转机构的第一输出功率将导向部件转到所述目标角度，包括：
9.根据权利要求7所述的旋转工件盘的控制方法，其特征在于，还包括：
10.一种真空设备，用于对工件进行镀膜或刻蚀，其特征在于，包括：真空腔室，以及权利要求1-6任一项所述的旋转工件盘；其中，所述旋转工件盘用于安装待处理的工件。
...【技术特征摘要】
1.一种旋转工件盘，设于真空设备中，包括旋转机构、工件盘和旋转轴，所述旋转机构通过所述旋转轴连接所述工件盘；其特征在于，在所述旋转轴上设有转动机构，所述转动机构位于工件盘上部位置；
2.根据权利要求1所述的旋转工件盘，其特征在于，所述转动机构包括旋转座、第一齿轮、第二电机以及第二齿轮；
3.根据权利要求2所述的旋转工件盘，其特征在于，所述导向部件包括导轨组件和滑动组件；其中，所述滑动组件在导轨组件上进行移动，所述配重块设于滑动组件上；
4.根据权利要求3所述的旋转工件盘，其特征在于，所述旋转座在所述导向部件对向位置还连接有平衡组件；其中，所述平衡组件外形以及重量与导轨组件一致。
5.根据权利要求3所述的旋转工件盘，其特征在于，还包括：分别连接所述旋转机构、转动机构和导向部件的控制器；其中，所述控制器被配置为检测所述旋转机构的输出功率并获取输出功率曲线，根据所...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟基，冀鸣，吴秋生，易洪波，赵刚，
申请(专利权)人：佛山市博顿光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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