防护门装置及真空镀膜机制造方法及图纸

本申请涉及一种防护门装置及真空镀膜机，所述防护门装置，用于真空镀膜机，包括至少一个防护门，该防护门包括：底板，位于两侧的侧板，位于正面的面板和位于上部的顶板；其中，所述面板和顶板结合部位的至少部分区域的设置为包括至少一个台阶的阶梯结构；所述一侧的侧板通过转动装置与真空腔体的底部侧边铰接，另一侧的侧板相对于真空腔体活动设计；该技术方案，设计了立体式的防护门结构，在面板和顶板结合部位的至少部分区域的设置为包括至少一个台阶的阶梯结构，操作人员可以通过阶梯结构登上顶板上进行相应操作，无需搬运辅助设备到防护门板前，降低了准备工作的复杂度，减少辅助设备占用空间，提升了真空镀膜机使用便利性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
防护门装置及真空镀膜机


[0001]本申请涉及真空镀膜机
，特别是一种防护门装置及真空镀膜机。

技术介绍

[0002]在真空镀膜机中，需要使用到电子枪产生的电子轰击膜料，使膜料进行蒸发镀膜，而电子枪的使用需要提供高压电，正常的供电为8KV到10KV。常用的真空镀膜机，通常电子枪的电气部件设置在真空腔体的底部，因为使用的是高压电，必须要做防护，一般是在真空腔体底线往下，设置一个防护门装置，在门板内部设置传感器，当有人员打开防护门装置时，触发传感器，断开高压电路，实现高压保护的目的。
[0003]由于真空腔体底部离地面会有一定的高度差，同时，在真空腔体内的镀膜伞架到底部也有相当的高度差，当操作员需要维护真空镀膜机、更换镀膜伞架或查看镀膜伞架上的产品状态时，往往需要借助二步梯等辅助设备来使用，如图1所示，图1是辅助设备使用状态示意图，每次打开真空腔体10进行相关操作之前，操作人员都需要搬运辅助设备30到防护门板20前，增加了准备工作的复杂度，且辅助设备30占用空间大，影响了真空镀膜机使用便利性。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对上述技术缺陷之一，提供一种防护门装置及真空镀膜机，以提升真空镀膜机使用便利性。
[0005]一种防护门装置，用于真空镀膜机，包括至少一个防护门，该防护门包括：底板，位于两侧的侧板，位于正面的面板和位于上部的顶板；其中，
[0006]所述面板和顶板结合部位的至少部分区域的设置为包括至少一个台阶的阶梯结构；
[0007]所述一侧的侧板通过转动装置与真空腔体的底部侧边铰接，另一侧的侧板相对于真空腔体活动设计。
[0008]在一个实施例中，所述底板下部以及所述阶梯结构的下部分别设有加强筋。
[0009]在一个实施例中，所述阶梯结构的台阶面上覆盖有防滑层。
[0010]在一个实施例中，所述顶板上部覆盖有绝缘防护垫，用于防滑和防止静电。
[0011]在一个实施例中，所述防护门内侧与真空腔体接触的位置上设有传感器，用于在所述防护门被打开时触发断开高压电。
[0012]在一个实施例中，所述传感器包括：机械式行程开关、接近传感器或者光电传感器中的至少两个。
[0013]在一个实施例中，所述底板下部设有至少一个万向轮，用于在打开防护门过程中支撑防护门门体。
[0014]在一个实施例中，所述防护门与真空腔体接触位置上设有门锁，用于闭锁保护防护门。
[0015]在一个实施例中，所述防护门装置为双开门结构设计，包括对称的左防护门和右防护门；
[0016]所述左防护门的左侧侧板通过转动装置与真空腔体的底部侧边铰接，且右侧的面板和顶板结合部位的部分区域设置为阶梯结构；
[0017]所述右防护门的右侧侧板通过转动装置与真空腔体的底部侧边铰接，且左侧的面板和顶板结合部位的部分区域设置为阶梯结构。
[0018]一种真空镀膜机，其特征在于，包括：真空腔体，以及安装在真空腔体底部的如上述的防护门装置。
[0019]本申请的技术方案具有如下有益效果：
[0020]设计了立体式的防护门结构，在面板和顶板结合部位的至少部分区域的设置为包括至少一个台阶的阶梯结构，操作人员可以通过阶梯结构登上顶板上进行相应操作，无需搬运辅助设备到防护门板前，降低了准备工作的复杂度，减少辅助设备占用空间，提升了真空镀膜机使用便利性。
附图说明
[0021]图1是辅助设备使用状态示意图；
[0022]图2是单开门的防护门装置关闭状态示意图；
[0023]图3是双开门的防护门装置关闭状态示意图；
[0024]图4是双开门的防护门装置打开状态示意图。
具体实施方式
[0025]为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0026]在一个实施例中，本申请的防护门装置可以采用单开门结构设计，参考图2所示，图2是单开门的防护门装置关闭状态示意图；如图2中，防护门装置包括一个防护门20，该防护门20安装在真空镀膜机100的真空腔体10底部，防护门20包括底板21，位于两侧的侧板22，位于正面的面板23和位于上部的顶板24等部分；其中，位于中间部位的面板23和顶板24结合部位，部分区域的设置为两个台阶的阶梯结构34，一侧(图中所示结构为右侧)的侧板22通过转动装置22a(合页)与真空腔体10的底部侧边铰接，另一侧(左侧)的侧板22相对于真空腔体10活动设计，从而可以打开或者关闭。
[0027]通过上述实施例的技术方案，设计了立体式的防护门20结构，在面板23和顶板24结合部位的中间部分区域的设置阶梯结构34，在真空腔体10工作时，能够对位于真空腔体10的底部的电子枪的电气部件进行高压保护，在维护时，操作人员可以通过阶梯结构34登上顶板24上并直接踩在顶板24上进行作业，无需使用额外的辅助设备，降低了准备工作的复杂度，减少辅助设备占用空间，提升了真空镀膜机使用便利性。
[0028]在另一个实施例中，本申请的防护门装置可以采用双开门结构设计，防护门装置包括左右两个防护门20，每个防护门20包括底板21，位于两侧的侧板22，位于正面的面板23和位于上部的顶板24等结构；其中，在靠近真空腔体10中间位置区域，面板23和顶板24结合
部位设置为包括两个台阶的阶梯结构34，防护门20一侧的侧板22通过转动装置22a与真空腔体10的底部侧边铰接，另一侧的侧板22相对于真空腔体10活动设计。如所述防护门装置为双开门结构设计，包括对称的左防护门和右防护门。
[0029]参考图3
‑
4所示，图3是双开门的防护门装置关闭状态示意图，图4是双开门的防护门装置打开状态示意图。
[0030]如图示，所述左防护门20的左侧侧板22通过转动装置与真空腔体10的底部侧边铰接，右侧的面板23和顶板24结合部位的部分区域设置为阶梯结构34；所述右防护门20的右侧侧板22通过转动装置与真空腔体10的底部侧边铰接，左侧的面板23和顶板24结合部位的部分区域设置为阶梯结构34。
[0031]上述实施例的技术方案，设计了立体式的双开门防护门20结构，在面板23和顶板24结合部位的中间部分区域的设置阶梯结构34，在真空腔体10工作时，能够对位于真空腔体10的底部的电子枪的电气部件进行高压保护，在维护时，操作人员可以通过阶梯结构34登上顶板24上并直接踩在顶板24上进行作业，无需使用额外的辅助设备，降低了准备工作的复杂度，减少辅助设备占用空间，提升了真空镀膜机100使用便利性；同时，相对于单开门结构，双开门在打开门时占用更少的场地空间。
[0032]优选的，在防护门20的底板21下部以及所述阶梯结构34的下部分别设有加强筋31；通过加强筋31能够增强阶梯结构34和顶板24的承压能力，确保操作人员能够在上面进行自由踩踏而不变形。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防护门装置，用于真空镀膜机，其特征在于，包括至少一个防护门，该防护门包括：底板，位于两侧的侧板，位于正面的面板和位于上部的顶板；其中，所述面板和顶板结合部位的至少部分区域的设置为包括至少一个台阶的阶梯结构；所述一侧的侧板通过转动装置与真空腔体的底部侧边铰接，另一侧的侧板相对于真空腔体活动设计。2.根据权利要求1所述的防护门装置，其特征在于，所述底板下部以及所述阶梯结构的下部分别设有加强筋。3.根据权利要求1所述的防护门装置，其特征在于，所述阶梯结构的台阶面上覆盖有防滑层。4.根据权利要求1所述的防护门装置，其特征在于，所述顶板上部覆盖有绝缘防护垫，用于防滑和防止静电。5.根据权利要求1所述的防护门装置，其特征在于，所述防护门内侧与真空腔体接触的位置上设有传感器，用于在所述防护门被打开时触发断开高压电。6.根据权利要求5所述的防护门装置，其特征在于，所述传感器包括：机械式行程开...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋毅，刘伟基，冀鸣，易洪波，赵刚，李宏盛，
申请(专利权)人：佛山市博顿光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：