【技术实现步骤摘要】
本申请涉及真空检测，尤其是一种离子束测量方法、装置、离子束束流测量系统及真空设备。
技术介绍
1、在真空设备中，离子源需要使用到的重要设备，离子源可以输出离子束束流，离子束束流的大小及能量分布是离子源的重要参数，因此需要对离子源输出离子束束流进行检测，得到离子源的束流分布测试数据，进而对束流分布测试数据分析获得其性能参数。
2、常规的离子束束流测量方案，通常是在真空设备的真空腔体中放置多个探测装置，例如利用法拉第筒阵列，然后各个法拉第筒测量离子源束流参数，最后综合数据得到测量结果，虽然能够具有更高的测量效率，但是这种方式需要布局大量法拉第筒，而且由于不同探测装置本身存在差异，导致所测量数据一致性较差，无法真实测量出离子源的离子束束流参数。
技术实现思路
1、本申请的目的旨在解决上述的技术缺陷之一，提供一种离子束束流测量系统及真空设备，提升了测量数据的一致性。
2、第一方面：
3、一种离子束测量方法，用于对真空设备的离子源输出的离子束进行测量；包括：>
4、根据所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种离子束测量方法，用于对真空设备的离子源输出的离子束进行测量；其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的离子束测量方法，其特征在于，根据离子源的空间模型确定测量点序列，包括：
3.根据权利要求2所述的离子束测量方法，其特征在于，获取所述测量点序列各个测量点的位置参数，包括：
4.根据权利要求3所述的离子束测量方法，其特征在于，根据所述测量点序列的各个测量点及其位置参数计算将探测装置移动到相应测量点的控制参数，包括：
5.根据权利要求3所述的离子束测量方法，其特征在于，根据所述束流参数生成离子源的离子束束流分布图之
...【技术特征摘要】
1.一种离子束测量方法，用于对真空设备的离子源输出的离子束进行测量；其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的离子束测量方法，其特征在于，根据离子源的空间模型确定测量点序列，包括：
3.根据权利要求2所述的离子束测量方法，其特征在于，获取所述测量点序列各个测量点的位置参数，包括：
4.根据权利要求3所述的离子束测量方法，其特征在于，根据所述测量点序列的各个测量点及其位置参数计算将探测装置移动到相应测量点的控制参数，包括：
5.根据权利要求3所述的离子束测量方法，其特征在于，根据所述束流参数生成离子源的离子束束流分布图之前，还包括：
6.根据权利要求5所述的离子束测量方法，...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟基，冀鸣，邓政伟，范奕生，易洪波，赵刚，
申请(专利权)人：佛山市博顿光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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