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本申请涉及一种离子束测量方法、装置、离子束束流测量系统及真空设备；所述方法包括：在对真空设备的离子源输出的离子束进行测量时，根据离子源的空间模型确定测量点序列及其位置参数，并计算将探测装置移动到相应测量点的控制参数，然后根据控制参数依次控制...
该专利属于佛山市博顿光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过佛山市博顿光电科技有限公司授权不得商用。

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