本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜除气装置，包括真空泵和底板，所述底板顶部设置有一号吸气管，且一号吸气管顶部两侧均通过螺丝安装套筒，所述套筒顶部套接有套杆，且套杆顶部通过螺丝安装二号吸气管，所述真空泵一侧抽气端通过软管连接二号吸气管，所述一号吸气管和二号吸气管内表面均开设有吸气孔。本实用新型专利技术一种真空镀膜除气装置，二号吸气管可以在套杆的作用下调整其自身高度，从而使得一号吸气管和二号吸气管分别位于对应容器内不同高度位置，从而使得真空泵工作时，一号吸气管和二号吸气管能够快速的将气体排出，以提高除气效率，适合被广泛推广和使用。被广泛推广和使用。被广泛推广和使用。
【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜除气装置
[0001]本技术涉及镀膜
，特别涉及一种真空镀膜除气装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜主要指需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。
[0003]常见的真空镀膜除气装置存在以下不足：1、在除气时，无法便捷的调整吸气机构的位置，导致除气效率低，2、在除气装置位于容器内后，无法便捷对吸气机构顶部的结构进行支撑，影响吸气机构的使用稳定性。
技术实现思路
[0004]本技术的主要目的在于提供一种真空镀膜除气装置，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0006]一种真空镀膜除气装置，包括真空泵和底板，所述底板顶部设置有一号吸气管，且一号吸气管顶部两侧均通过螺丝安装套筒，所述套筒顶部套接有套杆，且套杆顶部通过螺丝安装二号吸气管，所述真空泵一侧抽气端通过软管连接二号吸气管，所述一号吸气管和二号吸气管内表面均开设有吸气孔。
[0007]进一步地，所述底板顶部外围表面开设有环形滑槽，且环形滑槽内滑动连接有滑块，所述滑块顶部通过螺丝安装定位筒，且定位筒内表面通过预留螺纹安装有丝杆，所述丝杆顶部通过螺丝安装支撑板，且支撑板顶部两侧表面均通过预留螺纹孔安装有螺杆，所述螺杆顶部设置有顶板；丝杆与定位筒之间通过螺纹进行配合，具有良好的稳定性。
[0008]进一步地，所述套筒一侧顶部表面均通过预留螺纹孔安装有扭紧旋钮；人员可以通过扭紧旋钮固定套杆的伸出长度。
[0009]进一步地，所述底板顶部两侧表面均开设有固定螺纹孔。
[0010]进一步地，所述一号吸气管和二号吸气管之间通过软管连接。
[0011]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0012]1.通过设置套杆、一号吸气管、二号吸气管，二号吸气管可以在套杆的作用下调整其自身高度，从而使得一号吸气管和二号吸气管分别位于对应容器内不同高度位置，从而使得真空泵工作时，一号吸气管和二号吸气管能够快速的将气体排出，以提高除气效率。
[0013]2.通过设置滑块、丝杆、顶板和支撑板，在环形滑槽和滑块的作用下，定位筒可以转动，并且，丝杆转动时可以带动支撑板上升，从而可以使得支撑板顶住对应结构，以防止此结构下压二号吸气管，而当此结构形状较为复杂，支撑板无法充分与其进行接触时，人员可以手动旋转螺杆，从而使得顶板顶住此结构，增加接触面积，以提高本装置对此结构的支撑稳定性。
附图说明
[0014]图1为本技术一种真空镀膜除气装置的整体结构示意图。
[0015]图2为本技术一种真空镀膜除气装置的顶板、丝杆、支撑板和螺杆位置结构示意图。
[0016]图3为本技术一种真空镀膜除气装置的二号吸气管剖面结构示意图。
[0017]图中：1、底板；2、固定螺纹孔；3、滑块；4、定位筒；5、丝杆；6、支撑板；7、环形滑槽；8、软管；9、吸气孔；10、二号吸气管；11、套杆；12、扭紧旋钮；13、套筒；14、真空泵；15、顶板；16、螺杆；17、一号吸气管。
具体实施方式
[0018]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0019]如图1
‑
3所示，一种真空镀膜除气装置，包括真空泵14和底板1，所述底板1顶部设置有一号吸气管17，且一号吸气管17顶部两侧均通过螺丝安装套筒13，所述套筒13顶部套接有套杆11，且套杆11顶部通过螺丝安装二号吸气管10，所述真空泵14一侧抽气端通过软管连接二号吸气管10，所述一号吸气管17和二号吸气管10内表面均开设有吸气孔9。
[0020]其中，所述底板1顶部外围表面开设有环形滑槽7，且环形滑槽7内滑动连接有滑块3，所述滑块3顶部通过螺丝安装定位筒4，且定位筒4内表面通过预留螺纹安装有丝杆5，所述丝杆5顶部通过螺丝安装支撑板6，且支撑板6顶部两侧表面均通过预留螺纹孔安装有螺杆16，所述螺杆16顶部设置有顶板15。
[0021]本实施例中如图1、2所示，顶板15顶部两侧表面开设有与顶板15相对应的凹槽，所以顶板15可以位于凹槽内。
[0022]其中，所述套筒13一侧顶部表面均通过预留螺纹孔安装有扭紧旋钮12。
[0023]本实施例中如图1所示，人员可以通过扭紧旋钮12将套杆11的伸出长度固定。
[0024]其中，所述底板1顶部两侧表面均开设有固定螺纹孔2。
[0025]本实施例中如图1所示，人员可以通过固定螺纹孔2将底板1固定。
[0026]其中，所述一号吸气管17和二号吸气管10之间通过软管8连接。
[0027]本实施例中如图1所示，一号吸气管17和和二号吸气管10之间的气体会通过软管8流通。
[0028]需要说明的是，本技术为一种真空镀膜除气装置，工作时，人员可以将本装置固定在容器内部，随后，人员可以根据容器的情况，手动的调整套杆11的伸出长度，从而调整二号吸气管10的高度，进而使得二号吸气管10位于容器内指定高度，然后，人员可以手动打开真空泵14，其能够通过一号吸气管17和二号吸气管10将容器内的气体抽出，以进行除气作业，并且，一号吸气管17和二号吸气管10分别位于容器内的不同高度，从而可以提高除气效率，下一步，人员可以根据具体情况，在环形滑槽7和滑块3的作用下使得定位筒4转动，从而使得支撑板6位于指定位置，并且，人员可以手动旋转丝杆5，使其带动支撑板6上升，从而使得支撑板6顶住对应结构，以防止此结构下压二号吸气管10，而当此结构形状较为复杂，支撑板6无法充分与其进行接触时，人员可以手动旋转螺杆16，从而使得顶板15顶住此结构，以提高对此结构的支撑稳定性。
[0029]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜除气装置，包括真空泵(14)和底板(1)，其特征在于：所述底板(1)顶部设置有一号吸气管(17)，且一号吸气管(17)顶部两侧均通过螺丝安装套筒(13)，所述套筒(13)顶部套接有套杆(11)，且套杆(11)顶部通过螺丝安装二号吸气管(10)，所述真空泵(14)一侧抽气端通过软管连接二号吸气管(10)，所述一号吸气管(17)和二号吸气管(10)内表面均开设有吸气孔(9)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于：所述底板(1)顶部外围表面开设有环形滑槽(7)，且环形滑槽(7)内滑动连接有滑块(3)，所述滑块(3)顶部通过螺丝安装定位筒(...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢林松，
申请(专利权)人：苏州双石真空镀膜有限公司，
类型：新型
国别省市：
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