【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜除气装置
[0001]本技术涉及镀膜
，特别涉及一种真空镀膜除气装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜主要指需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。
[0003]常见的真空镀膜除气装置存在以下不足：1、在除气时，无法便捷的调整吸气机构的位置，导致除气效率低，2、在除气装置位于容器内后，无法便捷对吸气机构顶部的结构进行支撑，影响吸气机构的使用稳定性。
技术实现思路
[0004]本技术的主要目的在于提供一种真空镀膜除气装置，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0006]一种真空镀膜除气装置，包括真空泵和底板，所述底板顶部设置有一号吸气管，且一号吸气管顶部两侧均通过螺丝安装套筒，所述套筒顶部套接有套杆，且套杆顶部通过螺丝安装二号吸气管，所述真空泵一侧抽气端通过软管连接二号吸气管，所述一号吸气管和二号吸气管内表面均开
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜除气装置，包括真空泵(14)和底板(1)，其特征在于：所述底板(1)顶部设置有一号吸气管(17)，且一号吸气管(17)顶部两侧均通过螺丝安装套筒(13)，所述套筒(13)顶部套接有套杆(11)，且套杆(11)顶部通过螺丝安装二号吸气管(10)，所述真空泵(14)一侧抽气端通过软管连接二号吸气管(10)，所述一号吸气管(17)和二号吸气管(10)内表面均开设有吸气孔(9)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于：所述底板(1)顶部外围表面开设有环形滑槽(7)，且环形滑槽(7)内滑动连接有滑块(3)，所述滑块(3)顶部通过螺丝安装定位筒(...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢林松，
申请(专利权)人：苏州双石真空镀膜有限公司，
类型：新型
国别省市：
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