【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机工件定位机构
[0001]本技术涉及真空镀膜
,特别涉及一种真空镀膜机工件定位机构。
技术介绍
[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。
[0003]目前,工件在定位完成后,都是通过人力将其输入真空镀膜机内,从而大幅度浪费了人力。
[0004]现有的真空镀膜机工件定位机构存在以下弊端:1、缺乏自动送料机构,还需要依靠人力将定位的工件输入真空镀膜机内,从而大幅度浪费了人力;2、缺乏除尘机构,使得工件在镀膜前表面易粘连异物从而降低了清洁度。为此,我们提出一种真空镀膜机工件定位机构。
技术实现思路
[0005]本技术的主要目的在于提供一种真空镀膜机工件定位机构,可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0006]为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:
[0007]一种真空镀膜机工件定位机构,包括底座、弧型定位架和集尘盒,所述底座顶 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机工件定位机构,包括底座(1)、弧型定位架(10)和集尘盒(16),其特征在于,所述底座(1)顶部一侧通过螺栓以及支架设置有电机A(2),所述底座(1)顶部位于电机A(2)一侧设置有滑轨(3),所述底座(1)顶部位于滑轨(3)另一侧设置有支杆架(4),所述电机A(2)一侧对应支杆架(4)位置设置有往复丝杆(5),所述往复丝杆(5)外围位于滑轨(3)顶部套设有滑套(6),所述底座(1)顶部位于支杆架(4)一侧通过螺栓设置有电动液压推杆(12),所述集尘盒(16)顶部通过螺栓以及支架设置有除尘风机(17)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机工件定位机构,其特征在于:所述往复丝杆(5)一端通过转轴连接于支杆架(4),所述滑套(6)通过底部滑块与滑轨(3)滑动连接,所述滑套(6)顶部设置有托载架(7),所述托载架(7)一侧顶部通过螺栓设置有电动...
【专利技术属性】
技术研发人员:卢林松,
申请(专利权)人:苏州双石真空镀膜有限公司,
类型:新型
国别省市:
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