下载真空门结构及真空设备的技术资料

文档序号:31590941

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本申请涉及一种真空门结构及真空设备,真空门结构包括:直线运动机构、门板以及连接板;其中,直线运动机构安装在真空腔体前板的两侧,连接板安装在直线运动机构之间;门板上安装有支撑结构,门板通过支撑结构与连接板联动,由直线运动机构带动上下运动;门板...
该专利属于佛山市博顿光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过佛山市博顿光电科技有限公司授权不得商用。

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