平板型图像显示装置的制造方法及平板型图像显示装置制造方法及图纸

在有形成于基板上的荧光层及金属背层的面板（１０）上，在真空气氛中形成例如活性Ｂａ膜作为吸气膜。接着，在保持真空气氛的情况下，将形成有吸气膜的面板（１０）与有形成于基板上的大量电子发射元件作为电子源的后板（２０）夹着支承框（３０）具有一定间隙相对配置，并将这间隙气密性封接。平板型图像显示装置（４０）具有例如在金属背层上形成的活性Ｂａ膜作为吸气膜。这样的吸气膜在保持活性状态的情况下配置在真空容器内的图像显示区，具有良好的吸气功能。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及使用场致发射型冷阴极等电子发射元件的平板型图像显示装置的制造方法及平板型图像显示装置。然而，在使用电子发射元件的平板型图像显示装置中，由后板、面板及支承框形成的真空容器的容积比普通CRT要大幅度减少。尽管如此，放出气体的壁面的面积却不减少。因此，在气体放出与CRT相同程度的情况下，真空容器内的压力上升极大。因此，在平板型图像显示装置中，吸气剂的作用尤其重要。但是，有导电性的吸气膜的形成位置因为要防止布线短路等而受到限制。对于上述情况，有方案提出，在真空容器的外周部分配置吸气剂，在不影响图像显示区的外周部分形成吸气膜等(参见日本特开平5-151916号公报、日本特开平4-289640号公报等)。但是，使用这样的吸气膜配置方法，利用形成在外周部分的吸气膜，不能有效吸附在图像显示区产生的气体。因此，存在不能长期维持真空容器内的真空度的问题。基于上述情况，对在图像显示区内形成吸气膜进行了研究。例如在日本特开平9-82245号公报中，记载了在面板的荧光膜上所形成的金属背层上，覆盖形成Ti、Zr或它们的合金构成的吸气剂，用如上所述的吸气剂构成金属背层，或者在图像显示区内的电子发射元件之外的后板部分配置吸气剂。但是，上述日本特开平9-82245号公报所记载的平板型图像显示装置，因为是用普通的面板形成工序形成吸气剂的，所以吸气剂的表面当然会发生氧化。由于吸气剂的表面活性大小特别重要，所以用表面氧化的吸气剂不能获得满意的气体吸附效果。因此，在上述公报中，记载了在将面板与后板之间的空间用支承框支承并气密性封接做成真空容器之后，通过电子束照射等激活吸气剂。但这样的方法不能有效激活吸气剂。尤其是在形成真空容器之后激活吸气剂的情况下，激活工序放出的氧气等气体成分会附着在电子发射元件及其它构件上，因此在该阶段电子发射特性等有可能下降。还有，上述日本特开平9-82245号公报主要记载的Ti、Zr或它们的合金所构成的吸气剂还存在其功能本身较低的问题。因此，在常温附近或比常温稍高温度下工作的平板型图像显示装置不能获得足够的吸气功能。在上述公报中，记载了也可以使用以Ba为主要成分的合金等蒸发型吸气剂作为吸气剂的材质。但这是以将蒸发型吸气剂作为合金使用为前提的，因此在常温附近或比常温稍高温度下工作的平板型图像显示装置不能获得足够的吸气功能。还有，即使假定Ba蒸发而形成Ba膜，也极难防止吸气膜覆盖住不需要的部分，因此，发生布线短路等的可能性很大。例如，在面板与后板之间一般配置有增强板。如果吸气膜覆盖在这样的增强板上，则阴极侧的电子发射元件与阳极侧的荧光层之间会发生短路，发生驱动电路损坏、显示不良等情况。因此，在上述公报中有这样的记载在使用蒸发型吸气剂的情况下，在防止布线短路方面，须设法限制吸气剂的蒸气飞出的方向。但这必需特别的结构，导致装置复杂。另外，在通过普通的面板工序形成以Ba为主要成分的合金膜等所构成的蒸镀型吸气膜的情况下，吸气膜(Ba合金膜)的氧化比Ti、Zr或它们的合金所构成的吸气剂还要激烈，无论如何不能发挥作为吸气膜的功能。本专利技术的目的在于，通过将有良好吸气功能的蒸镀型吸气膜在维持活性状态的情况下，配置在真空容器内的图像显示区，提供一种能将真空容器内部做成重复性好的高真空状态的平板型图像显示装置制造方法，以及提供一种能将真空容器内部维持高真空状态的平板型图像显示装置。专利技术公开本专利技术的平板型图像显示装置的制造方法，其特征在于，具有在具有形成于基板上的荧光层的面板上形成吸气膜的工序；将形成有所述吸气膜的面板与具有形成于基板上的电子源的后板保持一定间隙相对配置，并将所述间隙气密性封接的工序。本专利技术的平板型图像显示装置的制造方法，特征尤其在于吸气膜由蒸发型吸气剂形成的膜所构成，再有，特征在于实际上是由Ba构成的。在面板具有形成于荧光层上的金属背层的情况下，吸气膜例如形成在金属背层上。在面板与后板之间例如夹装支承框，夹着该支承框，将间隙气密性封接。本专利技术的平板型图像显示装置的制造方法，最好在吸气膜的形成工序之前，实施对面板进行加热、脱气的工序。设置该加热、脱气工序，就能除去面板中的气体成分，就能容易达到希望的平板型图像显示装置的真空度。另外，最好在气密性封接工序之前对后板实施加热、脱气工序。通过该加热、脱气工序，能除去后板中的气体成分，与上述面板的加热、脱气工序组合，能更容易实现希望的平板型图像显示装置的真空度。本专利技术的平板型图像显示装置的制造方法，其特征还在于在真空气氛中进行各工序。此时，最好各工序在1×10-4Pa以下的真空气氛中实施。各工序例如在同一制造装置内连续或同时进行。或者，各工序按每一工序在独立的制造装置内连续或同时进行。还有，本专利技术的平板型图像显示装置的制造方法，最好吸气膜形成在面板的图像显示区的至少一部分上。此外，最好吸气膜主要形成在荧光层的形成区之外的区域。面板与后板之间的空间区域利用例如进行工序时的真空气氛及吸气膜，达到1×10-5Pa以下的真空度。各工序最好在1×10-4Pa以下的真空气氛中实施。本专利技术的平板型图像显示装置特征在于，包括具有形成于基板上的荧光层及金属背层的面板形成于所述金属背层上、实际上由Ba构成的吸气膜；以及与所述面板有间隙地相对配置且有电子源的后板，并且所述面板与后板的间隙被气密性封接。在本专利技术的平板型图像显示装置中，吸气膜最好形成在面板的图像显示区的至少一部分上。此外，吸气膜最好主要形成在金属背层上的荧光层以外的区域。吸气膜最好由厚度为1μm以上的Ba膜构成。还有，面板与后板之间的区域最好形成1×10-5Pa以下的真空度。面板与后板之间的间隙例如夹着支承框被气密性封接。本专利技术的另一平板型图像显示装置，其特征在于，至少通过下述工序制造而成在具有形成于基板上的荧光层的面板上形成吸气膜的工序；将形成有所述吸气膜的面板与具有形成于基板上的电子源的后板有间隙地相对配置并进行气密性封接的工序。本专利技术人等为了解决现有技术存在的问题，尝试不进行现有的平板型图像显示装置难于进行的、在装置内的吸气剂的蒸发(所谓getter flash，即吸气剂闪蒸)而形成吸气膜，其结果终于完成了本专利技术。在本专利技术中，首先，在具有形成于基板上的荧光层的面板上形成吸气膜，然后，将形成有吸气膜的面板与有电子源的后板有间隙地相对配置并进行气密性封接。由此，省略了在制造显示装置之后使Ba合金等蒸发型吸气剂蒸发的工序(吸气膜形成工序)，在电子源等不需要的部分就不会覆盖上吸气膜。并且，上述各工序在真空中实施，防止吸气膜发生氧化，因此，能够以很好的重复性制造具有活性Ba膜等构成的吸气膜的平板型图像显示装置。上述各工序可以在同一制造装置内连续进行对面板的吸气膜形成工序和对有吸气膜的面板和后板的气密性封接工序。这些工序也可以多道同时进行。这样，由于在同一制造装置内实施各工序，所以例如不必将Ba膜构成的吸气膜暴露于氧化性气氛中，就能制造平板型图像显示装置。这些工序如果能在进行气密性封接以前保持真空气氛而不暴露于氧化性气氛中，则也可以按每一工序在独立的制造装置内实施。在本专利技术中，更具体来说，是将作为吸气膜的Ba膜在真空气氛中形成在面板的金属背层上。在真空气氛中加热Ba合金来蒸镀Ba而形成活性Ba膜。还有，在气密性封接工序本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平板型图像显示装置的制造方法，其特征在于，具有：在具有形成于基板上的荧光层的面板上形成吸气膜的工序；将形成有所述吸气膜的面板与具有形成于基板上的电子源的后板保持一定间隙相对配置，并将所述间隙气密性封接的工序。

【技术特征摘要】
JP 1999-3-31 94340/991.一种平板型图像显示装置的制造方法，其特征在于，具有在具有形成于基板上的荧光层的面板上形成吸气膜的工序；将形成有所述吸气膜的面板与具有形成于基板上的电子源的后板保持一定间隙相对配置，并将所述间隙气密性封接的工序。2.根据权利要求1所述的平板型图像显示装置的制造方法，其特征在于，所述吸气膜由蒸发型吸气剂形成的膜所构成。3.根据权利要求1所述的平板型图像显示装置的制造方法，其特征在于，所述吸气膜实际上是由Ba构成的。4.根据权利要求1所述的平板型图像显示装置的制造方法，其特征在于，所述面板具有在所述荧光层上形成的金属背层。5.根据权利要求1所述的平板型图像显示装置的制造方法，其特征在于，在所述吸气膜的形成工序之前，还有对所述面板进行加热、脱气的工序。6.根据权利要求1所述的平板型图像显示装置的制造方法，其特征在于，在所述气密性封接工序之前，还有对所述后板进行加热、脱气的工序。7.根据权利要求1所述的平板型图像显示装置的制造方法，其特征在于，在真空气氛中进行上述各工序。8.根据权利要求1所述的平板型图像显示装置的制造方法，其特征在于，在同一制造装置内连续或同时进行所述各工序。9.根据权利要求1所述的平板型图像显示装置的制造方法，其特征在于，每一工序在独立的制造装置内连续或同时进行所述各工序。10.根据权利要求9所述的平板型图像显示装置的制造方法，其特征在于，作为每一所述工序独立的制造装置，使用所述各工序所配置的装置，使所述面板及所述后板不暴露于氧化性气氛中。11.根据权利要求4所述的平板型图像显示装置的制造方法，其特征在于，通过在真空气氛中蒸镀Ba，在所述面板的所述金属背层上，形成实际上由Ba构成的所述吸气膜。12.根据权利要求1所述的平板型图像显示装置的制造方法，其特征在于，在所述面板的图像显示区的至少一部分形成所述吸气膜。13.根据权利要求1所述的平板型图像显示装置的制造方法，其特征在于，所述吸气膜主要形成在所述荧光层的形成区之外的区域。14.根据权利要求1所述的平板型图像显示装置的制造方法，其特征在于，所述吸气膜具有1μm以上的厚度。15.根据权利要求1所述的平板型图像显示装置的制造方法，其特征在于，在所述气密性封接工序，在所述面板与所述后板之间配置支承框，夹着所述支承框将所述间隙气密性封接。16.根据权利要求15所述的平板型图像显示装置的制造方法，其特征在于，利用铟或其合金将所述支承框与所述面板气密性封接。17.根据权利要求7所述的平板型图像显示装置的制造方法，其特征在于，使所述面板与所述后板之间的区域利用进行所述工序时的真空气氛及所述吸气膜达到1×10-5Pa以下的真空度。18.根据权利要求1所述的平板型图像显示装...

【专利技术属性】
技术研发人员：中山昭二，竹中滋男，
申请(专利权)人：东芝株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]