本实用新型专利技术提供一种夹持效果好的钛靶加工用数控车床固定机构，涉及生产加工设备技术领域，包括上层板和下层板，所述上层板和下层板相互平行，所述上层板和下层板通过支撑杆固定，所述上层板顶面开设有加工槽口，且加工槽口贯穿上层板，所述加工槽口内壁固定有固定机构，所述固定机构包括与加工槽口内壁固定的气囊，环形的所述气囊内部夹持有靶材，且环形的气囊对靶材进行柔性夹持，所述气囊表面贯穿法嘴。本产品采用气囊对靶材进行柔性夹持，在将靶材置于环形气囊之间后，通过法嘴向气囊内充入足量的气体，使得气囊鼓起，将靶材紧密地夹持于气囊之间，夹持稳定不易脱落的同时，也不会损伤靶材表面。会损伤靶材表面。会损伤靶材表面。
【技术实现步骤摘要】
一种夹持效果好的钛靶加工用数控车床固定机构
[0001]本技术涉及生产加工设备
，尤其涉及一种夹持效果好的钛靶加工用数控车床固定机构。
技术介绍
[0002]溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面，被轰击的固体是制备溅射法沉积薄膜的原材料，一般被称为溅射靶材。
[0003]由于溅射靶材的强度不一，在实际应用过程中，需要将符合性能要求的溅射靶材和具有一定强度的背板结合制成靶材组件，然后安装在溅射机台上，在磁场、电场作用下有效地进行溅射控制。背板可以为溅射靶材提供支撑作用，并具有传导热量的功效，因此需要将溅射靶材和背板进行加工并焊接成型。
[0004]现有技术下，对钛靶的固定方式大多采用硬性卡合的方式，而钛靶作为溅射沉积薄膜的靶材，对表面平整度要求较高，硬质夹持极易损伤靶材表面，从而影响溅射法沉积薄膜的质量。
技术实现思路
[0005]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种夹持效果好的钛靶加工用数控车床固定机构。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种夹持效果好的钛靶加工用数控车床固定机构，包括上层板和下层板，所述上层板和下层板相互平行，所述上层板和下层板通过支撑杆固定，所述上层板顶面开设有加工槽口，且加工槽口贯穿上层板，所述加工槽口内壁固定有固定机构，所述固定机构包括与加工槽口内壁固定的气囊，环形的所述气囊内部夹持有靶材，且环形的气囊对靶材进行柔性夹持，所述气囊表面贯穿法嘴。
[0007]优选的，所述加工槽口设置为不同半径的多个，且多个加工槽口均匀阵列开设于上层板表面。靶材的大小各有所异，本产品设计了不同口径的多个加工槽口，可对不同大小半径的靶材进行加工，且能够保证气囊鼓起后夹持紧密。
[0008]优选的，所述靶材焊接固定于背板表面，所述背板底面固定有铁质基板，所述铁质基板和背板之间设有胶粘层，且背板通过胶粘层粘结固定于铁质基板表面，所述铁质基板的底面设置有加工平台，且加工平台平行于上层板并与下层板滑动连接，所述加工平台顶面嵌有电磁铁，且铁质基板通过电磁铁吸附于加工平台顶面。传统的夹持手法，还需要调节卡盘或者虎钳，在保证夹持紧密的同时还需要注意不能伤到靶材表面，操作较为麻烦，本产品直接通过胶粘层将一块铁质基板粘结于背板的背面，因此靶材便可以通过电磁铁进行吸附于加工平上，只需控制电磁铁的开关，即可实现靶材的固定与脱离，操作简便，同时，在加工完成后，只需对铁质基板背面进行加热，胶粘层即可熔化，铁质基板从背面背面脱离，不
高的温度也不会影响到靶材的质量。
[0009]优选的，所述下层板顶面滑动连接有滑动平台，所述加工平台位于滑动平台的正上方，并与滑动平台相互平行，所述加工平台顶面贯穿设有限位螺杆，且限位螺杆与滑动平台固定，且加工平台在限位螺杆表面滑动连接，且限位螺杆顶端螺纹连接有限位螺母，且限位螺母与加工平台顶面相抵。
[0010]优选的，所述滑动平台顶面栓接有提升气缸，且提升气缸的活动端与加工平台底面固定，且加工平台通过提升气缸在限位螺杆表面滑动。本产品中，通过提升气缸的控制，加工平台可自由上移或下降，实现靶材从加工槽口内的露出和落下，自由控制加工进程，而在提升过程中，加工平台被限位螺母限位，提升到达最顶部时，靶材正好露出加工槽口，便于加工。
[0011]优选的，所述下层板的两端均固定有固定板，所述下层板顶面固定有滑轨，所述滑轨和滑动平台的连接处设有卡件，且卡件与滑动平台底面固定，且滑动平台通过卡件和滑轨滑动连接，所述固定板的靠近下层板的一侧固定有推动气缸，且推动气缸的活动端与滑动平台固定。通过推动气缸的驱动，靶材可在加工平台上相对于滑轨滑动，根据靶材大小尺寸，滑动至合适加工槽口正下方时停止，进行靶材的提升，进行加工。
[0012]优选的，所述滑动平台侧面固定有激光发射头，所述激光发射头的正上方设有激光定位器，且激光定位器阵列固定于每个加工槽口的边缘处。每个加工槽口的边缘均嵌有激光定位器，根据激光定位器和激光发射头的对准，靶材可精准移动至合适加工槽口的正下方，不易出错。
[0013]有益效果
[0014]1、现有技术下，对靶材的固定多采用硬性夹持，容易损伤靶材表面，降低靶材表面的平整度，因此，本产品采用气囊对靶材进行柔性夹持，在将靶材置于环形气囊之间后，通过法嘴向气囊内充入足量的气体，使得气囊鼓起，将靶材紧密地夹持于气囊之间，夹持稳定不易脱落的同时，也不会损伤靶材表面。而靶材的大小各有所异，本产品设计了不同口径的多个加工槽口，可对不同大小半径的靶材进行加工，且能够保证气囊鼓起后夹持紧密。
[0015]2、传统的夹持手法，还需要调节卡盘或者虎钳，在保证夹持紧密的同时还需要注意不能伤到靶材表面，操作较为麻烦，本产品直接通过胶粘层将一块铁质基板粘结于背板的背面，因此靶材便可以通过电磁铁进行吸附于加工平上，只需控制电磁铁的开关，即可实现靶材的固定与脱离，操作简便，同时，在加工完成后，只需对铁质基板背面进行加热，胶粘层即可熔化，铁质基板从背面背面脱离，不高的温度也不会影响到靶材的质量。
[0016]3、本产品中，通过提升气缸的控制，加工平台可自由上移或下降，实现靶材从加工槽口内的露出和落下，自由控制加工进程，而在提升过程中，加工平台被限位螺母限位，提升到达最顶部时，靶材正好露出加工槽口，便于加工。同时，每个加工槽口的边缘均嵌有激光定位器，根据激光定位器和激光发射头的对准，靶材可精准移动至合适加工槽口的正下方，不易出错。
附图说明
[0017]图1为本技术的整体结构示意图；
[0018]图2为本技术中固定机构的结构示意图；
[0019]图3为本技术中滑轨和滑动平台连接方式的示意图；
[0020]图4为本技术中上层板的仰视图；
[0021]图5为本技术中靶材固定方式的示意图。
[0022]图例说明：
[0023]1、上层板；2、下层板；3、支撑杆；4、固定板；5、滑轨；6、加工槽口；7、固定机构；71、气囊；72、法嘴；8、卡件；9、滑动平台；10、限位螺杆；11、限位螺母；12、加工平台；13、电磁铁；14、铁质基板；15、胶粘层；16、背板；17、靶材；18、提升气缸；19、推动气缸；20、激光发射头；21、激光定位器。
具体实施方式
[0024]为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例和附图，进一步阐述本技术，但下述实施例仅仅为本技术的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本技术的保护范围。
[0025]下面结合附图描述本技术的具体实施例。
[0026]具体实施例：
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种夹持效果好的钛靶加工用数控车床固定机构(7)，包括上层板(1)和下层板(2)，所述上层板(1)和下层板(2)相互平行，所述上层板(1)和下层板(2)通过支撑杆(3)固定，其特征在于：所述上层板(1)顶面开设有加工槽口(6)，且加工槽口(6)贯穿上层板(1)，所述加工槽口(6)内壁固定有固定机构(7)，所述固定机构(7)包括与加工槽口(6)内壁固定的气囊(71)，环形的所述气囊(71)内部夹持有靶材(17)，且环形的气囊(71)对靶材(17)进行柔性夹持，所述气囊(71)表面贯穿法嘴(72)。2.根据权利要求1所述的一种夹持效果好的钛靶加工用数控车床固定机构(7)，其特征在于：所述加工槽口(6)设置为不同半径的多个，且多个加工槽口(6)均匀阵列开设于上层板(1)表面。3.根据权利要求1或2所述的一种夹持效果好的钛靶加工用数控车床固定机构(7)，其特征在于：所述靶材(17)焊接固定于背板(16)表面，所述背板(16)底面固定有铁质基板(14)，所述铁质基板(14)和背板(16)之间设有胶粘层(15)，且背板(16)通过胶粘层(15)粘结固定于铁质基板(14)表面，所述铁质基板(14)的底面设置有加工平台(12)，且加工平台(12)平行于上层板(1)并与下层板(2)滑动连接，所述加工平台(12)顶面嵌有电磁铁(13)，且铁质基板(14)通过电磁铁(13)吸附于加工平台(12)顶面。4.根据权利要求3所述的一种夹持效果好的钛靶加工用数控车床固定机构(7)，其特征在于：所...
【专利技术属性】
技术研发人员：黎明刚，
申请(专利权)人：深圳市福耐科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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