【技术实现步骤摘要】
气液分离装置
[0001]本技术涉及半导体
,尤其涉及气液分离装置。
技术介绍
[0002]化学刻蚀液广泛运用半导体行业,且在刻蚀液使用结束后的废液需要进行归类排放,传统的多种化学品刻蚀液快速排放皆需大管径,需要占用设备的内部空间,所以为了解决上述不足有必要提供一种具有简单结构的废液排放装置(气液分离装置)。
技术实现思路
[0003]技术目的:为了解决
技术介绍
中存在的不足,所以本技术公开了气液分离装置。
[0004]技术方案:气液分离装置,包括导流槽和气动封堵组件,所述导流槽的顶部通过数个锁紧件固定有密封板,所述密封板的顶部一侧剖设有一抽气口,所述导流槽的一侧部剖设有一废液进口,所述导流槽的底部剖设有数个用于连接分流排放管路的分流口,所述气动封堵组件包括数个驱动气缸和数个活动连杆,所述数个驱动气缸并排设置在密封板上,每个所述驱动气缸的伸缩轴均对应穿过密封板于导流槽的内部连接一活动连杆,且每个所述活动连杆的底部均安装有一用于堵住分流口的密封堵头。
[0005]进一步的是,所述导流槽的内部一侧下方成型为斜坡面。
[0006]进一步的是,每个所述锁紧件均采用锁紧螺柱。
[0007]进一步的是,还包括防护外罩,且所述防护外罩固设在密封板的上方。
[0008]进一步的是,每个所述密封堵头的位置均对应与一分流口相对应。
[0009]进一步的是,所述密封堵头具体采用氟橡胶堵头。
[0010]本技术实现以下有益效果:
[0011]本技术能实现将蚀刻后 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.气液分离装置,其特征在于,包括导流槽和气动封堵组件,所述导流槽的顶部通过数个锁紧件固定有密封板,所述密封板的顶部一侧剖设有一抽气口,所述导流槽的一侧部剖设有一废液进口,所述导流槽的底部剖设有数个用于连接分流排放管路的分流口,所述气动封堵组件包括数个驱动气缸和数个活动连杆,所述数个驱动气缸并排设置在密封板上,每个所述驱动气缸的伸缩轴均对应穿过密封板于导流槽的内部连接一活动连杆,且每个所述活动连杆的底部均安装有一用于堵住分流口的密封堵头。2.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员:周志刚,王静强,徐福兴,黄锡钦,陈亮,
申请(专利权)人:昆山基侑电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。