一种晶圆的夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及夹具技术领域，尤其涉及一种晶圆的夹持装置。夹持装置包括驱动组件、第一转动架、第二转动架和加工台；所述加工台的两侧均转动设置有活动板，所述第一转动架和所述第二转动架的一端均连接在所述驱动组件的输出端，所述第一转动架和所述第二转动架的另一端与对应侧的所述活动板连接；所述加工台上开设有凹槽，所述凹槽内间隔设置有多个吸盘，所述吸盘用于支撑晶圆，两个所述活动板相互配合用于固定晶圆。本实施例的夹持装置能够增强晶圆夹持的稳定性和可靠性，使得晶圆不会从夹持装置掉落。持装置掉落。持装置掉落。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆的夹持装置


[0001]本技术涉及夹具
，尤其涉及一种晶圆的夹持装置。

技术介绍

[0002]目前，半导体行业中晶片湿法处理工艺经常需要对晶圆进行处理，而目前最常用的晶圆夹持方式是使用真空吸盘来完成。但是仅仅采用吸盘夹持晶圆，晶圆容易出现掉落的情况。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种晶圆的夹持装置，提升晶圆夹持的稳定性和可靠性。
[0004]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]一种晶圆的夹持装置，包括驱动组件、第一转动架、第二转动架和加工台；
[0006]所述加工台的两侧均转动设置有活动板，所述第一转动架和所述第二转动架的一端均连接在所述驱动组件的输出端，所述第一转动架和所述第二转动架的另一端与对应侧的所述活动板连接；
[0007]所述加工台上开设有凹槽，所述凹槽内间隔设置有多个吸盘，所述吸盘用于支撑晶圆，两个所述活动板相互配合用于固定晶圆。
[0008]优选地，所述驱动组件包括驱动源和连接杆，第一转动架和所述第二转动架的一端均铰接在所述连接杆上；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆的夹持装置，其特征在于，包括驱动组件、第一转动架(2)、第二转动架(3)和加工台(1)；所述加工台(1)的两侧均转动设置有活动板(4)，所述第一转动架(2)和所述第二转动架(3)的一端均连接在所述驱动组件的输出端，所述第一转动架(2)和所述第二转动架(3)的另一端与对应侧的所述活动板(4)连接；所述加工台(1)上开设有凹槽(5)，所述凹槽(5)内间隔设置有多个吸盘(6)，所述吸盘(6)用于支撑晶圆，两个所述活动板(4)相互配合用于固定晶圆。2.根据权利要求1所述的晶圆的夹持装置，其特征在于，所述驱动组件包括驱动源(7)和连接杆(8)，第一转动架(2)和所述第二转动架(3)的一端均铰接在所述连接杆(...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡跃明，杜娟，刘海明，袁鹏，罗中良，郭爱军，覃明鲜，赵英齐，
申请(专利权)人：广东瑞谷光网通信股份有限公司，
类型：新型
国别省市：