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本实用新型涉及夹具技术领域,尤其涉及一种晶圆的夹持装置。夹持装置包括驱动组件、第一转动架、第二转动架和加工台;所述加工台的两侧均转动设置有活动板,所述第一转动架和所述第二转动架的一端均连接在所述驱动组件的输出端,所述第一转动架和所述第二转动...该专利属于广东瑞谷光网通信股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东瑞谷光网通信股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及夹具技术领域,尤其涉及一种晶圆的夹持装置。夹持装置包括驱动组件、第一转动架、第二转动架和加工台;所述加工台的两侧均转动设置有活动板,所述第一转动架和所述第二转动架的一端均连接在所述驱动组件的输出端,所述第一转动架和所述第二转动...