等离子显示板及其制造方法和保护层用材料技术

一种等离子显示板形成有电介质层（９）使其覆盖前面基板（４）上形成的扫描电极（５）及维持电极（６），并在该电介质层（９）上形成保护层（１０），保护层（１０）含有硅及氮。进而，保护层（１０）是氧化镁，该氧化镁含有原子数为５×１０↑［１８］个／ｃｍ↑［３］～２×１０↑［２１］个／ｃｍ↑［３］的硅和原子数为１×１０↑［１８］个／ｃｍ↑［３］～８×１０↑［２１］个／ｃｍ↑［３］的氮。由于按这种结构而形成，因而提供下述等离子显示板，上述等离子显示板可缩短放电延迟时间并具有相对于施加电压而产生放电的优良的响应性，与此同时抑制该放电延迟时间相对于温度的变化。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及使用于图像显示装置等的等离子显示板(以下表示为「PDP」)及其制造方法和保护层用材料。
技术介绍
交流面放电型PDP构成为，将前面基板和背面基板相对配置并对周围进行密封以使其基板之间形成放电空间，并在放电空间中充入氖及氙等的放电气体，上述前面基板形成有多个由扫描电极及维持电极组成的显示电极，上述背面基板形成有多个地址电极并使其与该显示电极正交。显示电极以电介质层覆盖，电介质层上形成有保护层。保护层，一般使用如氧化镁(MgO)这样的高耐溅射性的物质而形成，保护电介质层使其免于承受因放电产生的离子冲击。另外，各显示电极构成一行，在显示电极和地址电极交叉的部分上形成放电单元。这种结构的PDP中，通过具有亮度加权的多个子场来构成图像信号的1场(1/60秒)，各子场具有地址期间和维持期间，上述地址期间是用来按顺序扫描每行的同时在应点亮的放电单元中产生写入放电并实行数据的写入，上述维持期间是用来在地址期间被写入数据的放电单元中只对应亮度加权的次数来引起放电并使放电单元点亮。在显示电视图像的情况下，由于在1场内需要使各子场的全部动作结束，因而若随着放电单元的高精度化而增加行的数量(扫描线数量)，则必须以更短的时间进行在各行上的写入放电。也就是说，在地址期间中，为使其产生写入放电，则必须将施加在扫描电极及地址电极的脉冲宽度变窄并进行高速驱动。但是，由于存在「放电延迟」现象，即是仅在从脉冲上升开始的一段时间发生的延缓放电，因而若实行如上述的高速驱动，则在施加脉冲期间中放电结束的概率变低，在原来应点亮的放电单元上无法写入数据而产生点亮不良并造成有显示质量恶化的现象。可以设想作为产生上述放电延迟的主要原因是，在开始放电时作为触发器的起始电子，变为较难从保护层向放电空间中放出的状态。因此，通过对保护层的研究，可期待能够改善显示质量。这种的作为改善来自保护层的电子放出的方法，已在特开平10-334809号公报中进行了说明，即是通过使MgO形成的保护层中含有硅(Si)而能够增大2次电子的放出量并提高显示质量。但是，在使MgO形成的保护层中含有Si的场合，会出现以下问题，即是因保护层的温度而使电子放出能力产生大幅度变化，因而使放电延迟时间产生大幅度变化，则因实际使用PDP时环境温度而使图像显示质量产生变化。
技术实现思路
本专利技术是为解决如上述的问题而进行的，即是缩短放电延迟时间并实现相对于施加电压的放电产生的优良响应性，与此同时抑制其放电延迟时间相对温度的变化。本专利技术的PDP，其形成有电介质层并使其覆盖基板上形成的扫描电极及维持电极，在上述电介质层上形成保护层，其特征在于，保护层含有硅(Si)及氮(N)。另外，本专利技术的PDP的制造方法，其是形成有电介质层并使其覆盖基板上形成的扫描电极及维持电极，在上述电介质层上形成保护层的PDP制造方法，其特征在于，形成上述保护层的工序是使用含硅及氮的保护层用材料的成膜工序。还有，本专利技术的PDP的保护层用材料，其是形成有电介质层并使其覆盖基板上形成的扫描电极及维持电极，是在上述电介质层上形成保护层的PDP保护层用材料，其特征在于，上述保护层用材料含有硅及氮。附图说明图1是表示本专利技术第1实施方式中的PDP一部分的立体图。图2是表示使用有相同PDP的图像显示装置1个示例的区框图。图3是表示相同PDP驱动波形的时间图。图4是表示相同PDP放电延迟时间的激活能量的特性图。具体实施例方式以下，有关本专利技术的实施方式使用图进行说明。第1实施方式图1是表示除去本专利技术第1实施方式中的交流面放电型PDP一部分的立体图。该PDP被构成为，将前面板1和背面板2相对配置并在它们之间形成放电空间3，在放电空间3中充入由氖及氙等组成的放电气体。前面板1是如以下的结构。也就是，在玻璃制基板的前面基板4上，形成多个由条状扫描电极5和条状维持电极6组成的显示电极7，在相邻的显示电极7之间形成遮光层8。然后，形成电介质层9以使其覆盖显示电极7及遮光层8，在电介质层9上形成由含有硅(Si)及氮(N)的氧化镁(MgO)形成的保护层10，以使覆盖其表面。另外，背面板2如以下而构成。也就是说，在玻璃制基板的背面基板11上形成多个条状的地址电极12，并使其与扫描电极5和维持电极6正交，并形成电极保护层13使其覆盖地址电极12。然后，设置与地址电极12平行的隔壁14，使其位于该电极保护层13上的地址电极12的之间，且在隔壁14之间形成荧光体层15。电极保护层13对地址电极12进行保护，并具有将荧光体层15产生的可视光反射到前面板1一侧的作用。各显示电极7构成一行，并在显示电极7和地址电极12交叉的部分上形成有放电单元。在各放电单元的放电空间3内使其发生放电，并伴随着放电通过使可视光透射前面板1来进行显示，上述可视光是由荧光体层15产生的红、绿、蓝的3色可视光。图2是表示使用有图1所示PDP的图像显示装置一个示例的框图。如图2所示，PDP16的地址电极12上连接有地址电极驱动部17，PDP16的扫描电极5上连接有扫描电极驱动部18，PDP16的维持电极6上连接有维持电极驱动部19。图3是表示PDP驱动波形的时间图。一般交流面放电型PDP中所采用的是，通过将1场的图像分割为多个子场来实行灰度显示的方式。然后，该方式中，为控制在各放电单元的放电，使一个子场通过4个期间来构成，上述的4个期间是设立期间、地址期间、维持期间及消除期间。图3是表示1个子场中驱动波形的时间图。在图3的设立期间中，为使其易于产生放电，使壁电荷均等地存储在PDP内全部放电单元上。地址期间中，实行使其点亮的放电单元的写入放电。维持期间中，使在地址期间被写入的放电单元点亮，并维持其点亮状态。消除期间中，通过使壁电荷消除而使放电单元的点亮状态停止。设立期间中，通过在扫描电极5上施加初始化脉冲，而在扫描电极5上施加比地址电极12及维持电极6更高的电压，使其在放电单元内发生放电。因该放电所产生的电荷被存储在放电单元的壁面，以使其消除地址电极12、扫描电极5及维持电极6之间的电位差。其结果为，在扫描电极5附近的保护层10表面上，负电荷作为壁电荷而被存储，另外，在地址电极12附近的荧光体层15表面及维持电极6附近的保护层10表面上，正电荷被作为壁电荷而被存储。通过该壁电荷，在扫描电极5-地址电极12之间和扫描电极5-维持电极6之间产生指定值的壁电位。地址期间中，使放电单元点亮的场合，在扫描电极5上施加扫描脉冲，并在地址电极12上施加数据脉冲，但是，在扫描电极5上施加比地址电极12及维持电极6低的电压。也就是说，通过在扫描电极5-地址电极12之间，在与壁电位相同方向上施加电压，与此同时，也在扫描电极5-维持电极6之间，在与壁电位相同方向上施加电压，来使其产生写入放电。其结果为，荧光体层15表面和维持电极6附近的保护层10表面上负电荷被存储，在扫描电极5附近的保护层10表面上正电荷被作为壁电荷而存储。因此在维持电极6-扫描电极5之间产生指定值的壁电位。维持期间中，首先通过在扫描电极5上施加维持脉冲，将比维持电极6高的电压施加在扫描电极5上。也就是说，通过在维持电极6-扫描电极5之间，在与壁电位相同方向上施加电压来使其产生维持放电。其结果为，能够使放电单元开始点亮。接下来，由于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种等离子显示板，其形成有电介质层使其覆盖在基板上形成的扫描电极及维持电极，在上述电介质层上形成有保护层，其特征为：上述保护层包含硅及氮。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2003-5-19 140166/20031.一种等离子显示板，其形成有电介质层使其覆盖在基板上形成的扫描电极及维持电极，在上述电介质层上形成有保护层，其特征为上述保护层包含硅及氮。2.根据权利要求1记述的等离子显示板，其特征为保护层是氧化镁，该氧化镁含有原子数为5×1018个/cm3～2×1021个/cm3的硅和原子数为1×1018个/cm3～8×1021个/cm3的氮。3.一种等离子显示板的制造方法，其用来制造等离子显示板，该等离子显示板上形成电介质层使其覆盖在基板上形成的扫描电极及维持电极，在上述电介质层上形成保护层，其特征为形成上述保护层的工序是使用包含硅及氮的保护层用材料的成膜工序。4.根据权利要求3记述的等离子显示板的制造方法，其特征为保护层用材料是包含硅及氮的氧化镁，上述硅的浓度范围为7重量ppm～8...

【专利技术属性】
技术研发人员：长谷川和之，大江良尚，沟上要，中上裕一，加道博行，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]