芯片阵列测试设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种芯片阵列测试设备，包括：测试平台，所述测试平台上阵列设置有多个测试模组；上下料模组，所述上下料模组设置于测试平台的侧边，用于放置芯片的料盘；机头模组，所述机头模组设置于测试平台、上下料模组的上方位置，包括至少两组吸嘴组件、吸嘴间距调节组件、机头运动组件，所述吸嘴组件设置于吸嘴间距调节组件上，吸嘴间距调节组件设置于机头运动组件上，进而所述机头运动组件在X向、Y向、Z向上驱动吸嘴组件运动。本实用新型专利技术通过自动化测试代替了人工劳动，不仅定位精准，而且能够大大提高测试效率，同时支持多组芯片同时上料、下料、测试的优点。下料、测试的优点。下料、测试的优点。

【技术实现步骤摘要】
芯片阵列测试设备


[0001]本技术涉及芯片检测领域，尤其涉及了一种芯片阵列测试设备。

技术介绍

[0002]功能测试项目是指模拟产品在现实使用条件中涉及到的各种因素对产品产生性能的情况进行相应条件加强实验的过程。
[0003]一般来说，电子器件，无论是原件、部件、零件、整机等都需要进行测试。测试由生产厂家或一流的电子电器检测技术公司来完成，其通过测试发现产品存在的问题并且及时修改，让到达消费者手中产品的问题尽量少或提高产品可靠性。
[0004]传统的芯片测试主要由人工将单一芯片放到测试设备进行测试，并由人眼观察测试芯片并对应记录测试结果，测试完成后再人工将测试芯片分类、摆盘等，生产效率低下，无法满足大规模高效生产的需求。为了提高生产效率，现采用机械手在芯片测试时进行上料和下料，然后再在单独的测试板上进行测试，由于料盘与测试板放置芯片的间距不一致，目前采用的上料方法是利用吸嘴逐一的吸取芯片进行上料或下料，虽然相较于人工，效率提高了不少，但是上料和下料速度还是较慢、效率较低，而且芯片在测试的时候，上料机械手取料后等待上料、下料机械手等待测试完取料，均有耗时。

技术实现思路

[0005]针对现有技术存在的不足，本技术的目的就在于提供了一种芯片阵列测试设备，通过自动化测试代替了人工劳动，不仅定位精准，而且能够大大提高测试效率，同时支持多组芯片同时上料、下料、测试的优点。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用的技术方案是这样的：一种芯片阵列测试设备，包括：
[0007]测试平台，所述测试平台上阵列设置有多个测试模组，所述测试模组包括测试载具、测试加热组件、测试移动组件，所述测试载具用于放置、测试待测试的芯片，所述测试加热组件设置于测试载具的上方位置，测试移动组件驱动测试加热组件下压加热测试载具上的芯片；
[0008]上下料模组，所述上下料模组设置于测试平台的侧边，用于放置芯片的料盘；
[0009]机头模组，所述机头模组设置于测试平台、上下料模组的上方位置，包括至少两组吸嘴组件、吸嘴间距调节组件、机头运动组件，所述吸嘴组件设置于吸嘴间距调节组件上，吸嘴间距调节组件设置于机头运动组件上，进而所述机头运动组件在X向、Y向、Z向上驱动吸嘴组件运动；
[0010]所述吸嘴间距调节组件包括调节固定板、导向板、调节驱动组件、传动连接件，所述调节固定板上贯穿开设有水平通孔，且调节固定板的一侧固定设置有水平直线导轨、另一侧设置有竖直直线导轨；所述吸嘴组件滑动设置于水平直线导轨上；所述导向板滑动设置于竖直直线导轨上；所述导向板上开设有若干呈扇形状分散的导向槽，所述传动连接件
的一端与吸嘴组件固定连接、另一端延伸穿过水平通孔设置于导向槽内；所述调节驱动组件驱动导向板在竖直直线导轨上运动，进而通过传动连接件带动吸嘴组件在水平直线导轨上运动。
[0011]作为一种优选方案，所述测试载具包括测试主板、测试插板，所述测试插板设置于测试主板上，测试插板上开设有多个放置测试芯片的测试插槽，所述测试插槽的底部内设置有测试探针。
[0012]作为一种优选方案，所述测试加热组件包括加热棒、加热安装件，所述加热棒固定设置于加热安装件上。
[0013]作为一种优选方案，所述测试移动组件包括测试直线模组、测试升降气缸，所述测试升降气缸设置于测试直线模组上，测试直线模组驱动测试升降气缸在水平方向运动，所述测试升降气缸的推杆与加热安装件固定连接，测试升降气缸驱动加热安装件上的加热棒在竖直方向运动。
[0014]作为一种优选方案，所述上下料模组包括至少一个上下料组件，所述上下料组件包括上下料料框、上下料丝杆、上下料螺母、上下料电机，所述上下料电机设置于上下料料框的下方位置，所述上下料电机通过上下料皮带与上下料螺母传动连接，所述上下料丝杆套设于上下料螺母内，且上下料丝杆的上部从上下料料框的底部贯穿设置于上下料料框内。
[0015]作为一种优选方案，所述上下料组件处设置有移料盘模组，所述移料盘模组包括同步带直线模组、移料升降气缸、移料夹爪，所述同步带直线模组驱动移料夹爪在至少两个上下料组件间运动，所述移料升降气缸驱动移料夹爪在上下料组件上做升降运动，所述移料夹爪用于上下料组件处夹取料盘。
[0016]作为一种优选方案，所述吸嘴组件包括滑动支架、吸嘴气缸、吸嘴，所述滑动支架的上部滑动设置于水平直线导轨上，所述滑动支架的下部与吸嘴气缸固定连接，所述吸嘴与吸嘴气缸的推杆相连接。
[0017]作为一种优选方案，所述机头运动组件包括X向移动模组、Y向移动模组、Z向移动模组，所述Y向移动模组设置于X向移动模组上，所述Z向移动模组设置于Y向移动模组上，所述吸嘴间距调节组件设置于Z向移动模组上。
[0018]作为一种优选方案，所述测试平台的侧边还设置有手动上下料平台，用于人工放置单个料盘上料或下料。
[0019]作为一种优选方案，所述芯片阵列测试设备还包括芯片旋转模组，所述芯片旋转模组包括旋转驱动组件、旋转夹爪，所述旋转驱动组件驱动旋转夹爪做旋转运动，所述旋转夹爪处设置有旋转传感器，且旋转夹爪用于固定芯片。
[0020]与现有技术相比，本技术的有益效果：
[0021](1)通过自动化测试代替了人工劳动，不仅定位精准，而且能够大大提高测试效率，同时支持多组芯片同时上料、下料、测试的优点；
[0022](2)吸嘴组件在水平方向实现间距的增大或缩小调整，从而支持吸嘴组件在吸附料盘与测试载具两者以不同间距大小放置的芯片，实现多个芯片的同时上料或下料，极大提升上下料效率，吸嘴组件又设置单独的吸嘴气缸，可以单独对芯片进行上料或下料；
[0023](3)设置有芯片旋转模组，当料盘上的芯片的方向与测试载具上的放置方向不一
致时，可以通过芯片旋转模组进行方向调整。
附图说明
[0024]图1是本专利技术的整体结构示意图；
[0025]图2是本专利技术的整体结构俯视图；
[0026]图3是本专利技术中吸嘴间距调节组件的结构示意图一；
[0027]图4是本专利技术中吸嘴间距调节组件的结构示意图二；
[0028]图5是本专利技术中测试模组的结构示意图一；
[0029]图6是本专利技术中测试模组的结构示意图二；
[0030]图7是本专利技术中上下料模组的结构示意图；
[0031]图8是本专利技术中移料盘模组的结构示意图；
[0032]图9是本专利技术中机头运动组件的结构示意图一；
[0033]图10是本专利技术中机头运动组件的结构示意图二；
[0034]图11是本专利技术中芯片旋转模组的结构示意图一；
[0035]图12是本专利技术中芯片旋转模组的结构示意图二；
[0036]其中：测试平台1、测试模组2、测试载具3、测试加热组件4、测试移动组件5、上下料模组6、机头模组7、吸嘴组件8、吸嘴间距调节组件9、机头运动组件10、调节固定板11、导向板12、调节驱动组件13、传动连接件14本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片阵列测试设备，其特征在于，包括：测试平台，所述测试平台上阵列设置有多个测试模组，所述测试模组包括测试载具、测试加热组件、测试移动组件，所述测试载具用于放置、测试待测试的芯片，所述测试加热组件设置于测试载具的上方位置，测试移动组件驱动测试加热组件下压加热测试载具上的芯片；上下料模组，所述上下料模组设置于测试平台的侧边，用于放置芯片的料盘；机头模组，所述机头模组设置于测试平台、上下料模组的上方位置，包括至少两组吸嘴组件、吸嘴间距调节组件、机头运动组件，所述吸嘴组件设置于吸嘴间距调节组件上，吸嘴间距调节组件设置于机头运动组件上，进而所述机头运动组件在X向、Y向、Z向上驱动吸嘴组件运动；所述吸嘴间距调节组件包括调节固定板、导向板、调节驱动组件、传动连接件，所述调节固定板上贯穿开设有水平通孔，且调节固定板的一侧固定设置有水平直线导轨、另一侧设置有竖直直线导轨；所述吸嘴组件滑动设置于水平直线导轨上；所述导向板滑动设置于竖直直线导轨上；所述导向板上开设有若干呈扇形状分散的导向槽，所述传动连接件的一端与吸嘴组件固定连接、另一端延伸穿过水平通孔设置于导向槽内；所述调节驱动组件驱动导向板在竖直直线导轨上运动，进而通过传动连接件带动吸嘴组件在水平直线导轨上运动。2.根据权利要求1所述的一种芯片阵列测试设备，其特征在于：所述测试载具包括测试主板、测试插板，所述测试插板设置于测试主板上，测试插板上开设有多个放置测试芯片的测试插槽，所述测试插槽的底部内设置有测试探针。3.根据权利要求2所述的一种芯片阵列测试设备，其特征在于：所述测试加热组件包括加热棒、加热安装件，所述加热棒固定设置于加热安装件上。4.根据权利要求3所述的一种芯片阵列测试设备，其特征在于：所述测试移动组件包括测试直线模组、测试升降气缸，所述测试升降气缸设置于测试直线模组上，测试直线模组驱动测试升降气缸在水平方向运动，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：何润，
申请(专利权)人：苏州乾鸣半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：