等离子加工系统的现场安装和可维修性的ＲＦ计量特性化技术方案

一种现场替代ＲＦ计量系统部件的系统。该系统包括传感器／电缆组合部件与分析单元。在将ＲＦ计量系统放置在现场中之前，确定该ＲＦ计量系统的参数。根据这些参数，通过针对所替代单元重新校准该系统，可以在现场中替代任意一个部件，电缆／传感器组合部件或分析模块。在将ＲＦ计量系统放置于现场中之前，利用所确定的参数来执行这样的重新校准。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术一般涉及测量系统，尤其涉及一种便于现场更换测量系统部件的无线电频率(RF)特性系统。
技术介绍
在典型无线电频率(RF)等离子发生器装置中，大功率RF发生器在预置频率，例如13.56MHz产生RF电波，该RF电波通过电力导线施加给等离子室。由于在RF功率源和等离子室之间通常存在阻抗失配，因此在RF发生器和等离子室之间放置阻抗匹配网络。等离子室具有以非线性运行的特性，与阻抗匹配网络中的线路损耗一起，共同导致了并非所有RF发生器的输出功率都到达该等离子室。传感器起到组合式电压和电流探针的作用，亦称为V/I探针，该传感器通常放置于靠近等离子室的功率输入端，以便当RF电波进入该等离子室时检测该RF电波的电压和电流。尽可能精确地测量靠近该室的电压和电流可提供等离子加工质量的指征。这进而又获得对该室中硅片和其他工件的蚀刻和淀积特性的更佳控制。为了获得精确的测量，V/I探针在预定且严格的控制条件下进行校准。在送到安装现场之前，在制造地点或工厂处进行校准。为了进一步确保精确度，将传感器或V/I探针捆绑到RF计量系统中。该RF计量系统包括传感器或V/I探针、电缆和分析单元。在送到现场安装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无线电频率ＲＦ计量系统，用于监控ＲＦ发生器到负载的输出，包括：传感器部件，该传感器部件检测施加给负载的电压和电流中的至少一个；分析模块部件，该分析模块部件接收来自所述传感器部件的电压和电流传感器信号中的至少一个；其中当其它部件保持安装状态时，可以更换所述传感器部件和分析模块部件之一，并且在更换一个部件之后，重新校准所述ＲＦ计量系统。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2003-12-2 10/727,0811.一种无线电频率RF计量系统，用于监控RF发生器到负载的输出，包括传感器部件，该传感器部件检测施加给负载的电压和电流中的至少一个；分析模块部件，该分析模块部件接收来自所述传感器部件的电压和电流传感器信号中的至少一个；其中当其它部件保持安装状态时，可以更换所述传感器部件和分析模块部件之一，并且在更换一个部件之后，重新校准所述RF计量系统。2.根据权利要求1所述的RF计量系统，其中所述传感器部件进一步包括传感器模块和电缆，该电缆互连该传感器模块与该分析模块部件。3.根据权利要求1所述的RF计量系统，进一步包括输入至所述分析模块部件的缩放矩阵，以便在安装一个更换部件之后，校准所述RF计量系统。4.一种更换RF计量系统部件的方法，该RF计量系统用于监控RF发生器到负载的输出，该方法包括以下步骤配备包含基本传感器和基本分析模块的RF系统；校准基本RF计量系统；确定所述基本传感器的频率响应特性；确定所述基本分析模块的响应特性；特性化基本传感器以外的一组传感器的频率响应；确定一套校准系数；和根据所述校准系数生成缩放矩...

【专利技术属性】
技术研发人员：大卫考摩，克利福德瓦日瑞尔，迈克尔科克，凯文内斯曼，
申请(专利权)人：MKS仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]