专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
MKS仪器有限公司
>
等离子加工系统的现场安装和可维修性的RF计量特性化技术方案
>技术资料下载
下载等离子加工系统的现场安装和可维修性的RF计量特性化的技术资料
文档序号:3151946
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种现场替代RF计量系统部件的系统。该系统包括传感器/电缆组合部件与分析单元。在将RF计量系统放置在现场中之前,确定该RF计量系统的参数。根据这些参数,通过针对所替代单元重新校准该系统,可以在现场中替代任意一个部件,电缆/传感器组合部件或分...
该专利属于MKS仪器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过MKS仪器有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。