压电陶瓷片驱动的扫描电镜中纳米材料拉伸装置制造方法及图纸

技术编号:3149195 阅读:210 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
压电陶瓷片驱动的扫描电镜中纳米材料拉伸装置属于纳米材料原位测试领域。本发明专利技术包括底座(1)和带有两个凹槽的绝缘支撑座(2),该两个凹槽分别固定两片金属片(3)一端,金属片两侧分别粘贴两片压电陶瓷片(4),同时在每片金属片的另外一端分别固定两个样品台(5),通过电极引线Ⅰ(7)连接电源负极和电极引线Ⅱ(8)连接正极,电极引线Ⅰ(7)分别连接两片金属片(3),电极引线Ⅱ(8)分别连接4个压电陶瓷片(4);两个样品台在同一水平面,之间的狭缝在2-50μm之间。该发明专利技术成本低,操作简便,可测量纳米材料在应力应变过程中的电荷输运特性,为纳米材料在微机电系统等领域提供可靠的数据。

【技术实现步骤摘要】
压电陶瓷片驱动的扫描电镜中纳米材料拉伸装置
本专利技术涉及一种利用压电陶瓷片驱动在扫描电子显樣H免(以下简称扫描 电镜)中原位拉伸纳米材料的装置,利用压电陶瓷精确的变形量来实现纳米 材料的拉伸变形研究,利用扫描电镜可以实时观测纳米材料拉伸变形过程中的结构变化,揭示纳米材料在拉伸载荷下的变形机制,脆韧转变机制。同时, 可以在其上外加电极测量纳米材料在变形过程中电导性质的变化,属于纳米 材料力学/电学性能原位测试领域。技术背景一维纳米材料(包括纳米线、纳米管、纳米带、纳米棒等)作为将来 纳米器件的基本单元越来越受到人们的关注,它们不仅具有良好的电、磁、 光等性质,同时具有体材料无法比拟的力学性质,例如, 一位纳米材料在应 力作用下发生的超塑性,脆韧转变的断裂机制,这些优越的性能必然会影响 到利用它们做成的纳米器件的工作性能。然而,由于纳米材料尺寸的限制, 目前用来测量纳米材料的方法非常有限,扫描电4竟相比于透射电子显孩史镜(以 下简称透射电镜)来说,由于样品室空间较大因此成为研究纳米材料的有力 工具。目前,用来原位测试纳米材料的性能的方法大致分为四种一、 利用扫描探针显微镜(SPM,本文档来自技高网...

【技术保护点】
压电陶瓷片驱动的扫描电镜中纳米材料拉伸装置,其特征在于:包括底座(1)和用螺钉Ⅲ(10)固定在底座(1)上的带有两个凹槽的绝缘支撑座(2),绝缘支撑座(2)上的两个凹槽分别用螺钉Ⅰ(6)固定两片金属片(3)一端,金属片(3)两侧分别粘贴两片压电陶瓷片(4),同时在每片金属片(3)的另外一端用螺钉Ⅱ(9)将两个样品台(5)分别固定在每片金属片(3)上,通过电极引线Ⅰ(7)连接外加电源的负极和电极引线Ⅱ(8)连接外加电源的正极,电极引线Ⅰ(7)分别连接两片金属片(3),电极引线Ⅱ(8)分别连接4个压电陶瓷片(4);在室温大气环境下调整两个样品台(5)在同一水平面,两个样品台(5)之间的狭缝在2-5...

【技术特征摘要】
1、压电陶瓷片驱动的扫描电镜中纳米材料拉伸装置,其特征在于包括底座(1)和用螺钉III(10)固定在底座(1)上的带有两个凹槽的绝缘支撑座(2),绝缘支撑座(2)上的两个凹槽分别用螺钉I(6)固定两片金属片(3)一端,金属片(3)两侧分别粘贴两片压电陶瓷片(4),同时在每片金属片(3)的另外一端用螺钉II(9)将两个样品台(5)分别固定在每片金属片(3)上,通过电极引线I(7)连接外加电源的负极和电极引线II(8)连接外加电源的正极,电极引线I(7)分别连接两片金属片(3),电极引线II(8)分别连接4个压电陶瓷片(4);在室温大气环境下调整两个样品台(5)在同一水平面,两个样品台(5)之间的狭缝在2-50μm之间;或者将一固定样品台(13)利用螺钉IV(14)固定在绝缘支撑座(...

【专利技术属性】
技术研发人员:韩晓东岳永海郑坤张跃飞张泽
申请(专利权)人:北京工业大学
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]

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