一种临界尺寸扫描电镜机台制造技术

一种临界尺寸扫描电镜机台，其包括交换腔、中转腔、测量腔、用以放置晶圆的支撑台、控制支撑台上升或下降的驱动器、转置晶圆的交换臂、抽气泵，所述支撑台上设有在抽气泵停止工作时控制支撑台停止运动的紧急制动装置。本实用新型专利技术通过设置紧急制动装置，使得临界尺寸扫描电镜机台在支撑台正常退片突发抽气泵跳掉时，支撑台在自动升起过程中紧急制动，减少夹伤晶圆的风险。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体设计及制造领域，尤其涉及一种具有制动装置的临界尺寸扫描电镜机台。
技术介绍
临界尺寸扫描电镜(以下均简称CD-SEM)和缺陷检测(Defect Detection)扫描电镜是伴随微电子工业的需要而发展起来的一种扫描电镜，用于在半导体超大规模集成电路生产线上对硅片的自动检测。现有的临界尺寸扫描电镜机台一般包括几个腔室，分别为交换腔、中转腔和测量腔。现有的临界尺寸扫描电镜机台还包括用以放置晶圆的支撑台、控制支撑台上升或下降的驱动器、转置晶圆的交换臂、设于中转腔内用以放置晶圆的放置台、控制腔室内真空度的抽气泵。但是，现有技术的这种临界尺寸扫描电镜机台结构，在支撑台正常退片时，如果突发抽气泵跳掉，支撑台会自动升起，交换臂上的晶圆存在夹伤碎片风险。因此，针对上述技术问题，有必要提供一种改良结构的临界尺寸扫描电镜机台，以克服上述缺陷。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种防止晶圆在正常退片时被破坏的临界尺寸扫描电镜机台。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案:—种临界尺寸扫描电镜机台，其包括交换腔、中转腔、测量腔、用以放置晶圆的支撑台、控制支撑台上升或下降的驱动器、转置晶圆的交换臂、抽气泵，所述支撑台上设有在抽气泵停止工作时控制支撑台停止运动的紧急制动装置。优选的，在上述临界尺寸扫描电镜机台中，所述紧急制动装置包括与抽气泵连接的感应器、传递感应器信号的信号传递器、与信号传递器衔接且根据信号传递器的信号控制驱动器运动或停止的制动器。优选的，在上述临界尺寸扫描电镜机台中，所述紧急制动装置包括用以在抽气泵停止工作时强制制止支撑台继续运动的强制制动部。从上述技术方案可以看出，本技术实施例的临界尺寸扫描电镜机台通过设置一个紧急制动装置，可以防止在抽气泵突然停止工作时，阻止支撑台自动升起，从而避免存在正常退片时夹伤晶圆，甚至碎片的风险，最终可以避免造成晶圆报废。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的有关本技术的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术临界尺寸扫描电镜机台的简单示意图。具体实施方式本技术公开了 一种防止晶圆在正常退片时被破坏的临界尺寸扫描电镜机台。该临界尺寸扫描电镜机台，其包括交换腔、中转腔、测量腔、用以放置晶圆的支撑台、控制支撑台上升或下降的驱动器、转置晶圆的交换臂、抽气泵，所述支撑台上设有在抽气泵停止工作时控制支撑台停止运动的紧急制动装置。进一步的，所述紧急制动装置包括与抽气泵连接的感应器、传递感应器信号的信号传递器、与信号传递器衔接且根据信号传递器的信号控制驱动器运动或停止的制动器。进一步的，所述紧急制动装置包括用以在抽气泵停止工作时强制制止支撑台继续运动的强制制动部。下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行详细地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1所示，本技术揭示的临界尺寸扫描电镜机台，其包括交换腔100、中转腔200、测量腔300、用以放置晶圆900的支撑台400、控制支撑台400上升或下降的驱动器500、转置晶圆900的交换臂600、控制腔室内真空度的抽气泵。支撑台400上设有在抽气泵停止工作时控制支撑台400停止运动的紧急制动装置700。如此设置，通过设置一个紧急制动装置700，可以防止在抽气泵突然停止工作时，阻止支撑台400自动升起，从而避免了夹伤晶圆900,甚至碎片的风险，最终可以避免造成晶圆900报废。本技术关于紧急制动装置的结构设置不受限制，可以采用任何便捷的方式进行控制。比如，紧急制动装置可以设置为包括:与抽气泵连接的感应器、传递感应器信号的信号传递器、与信号传递器衔接且根据信号传递器的信号控制驱动器500运动或停止的制动器。这种结构的紧急制动装置在抽气泵突然停止工作时，感应器的感应信号通过信号传递器传递给制动器，使得制动器启动将驱动器500暂停工作，从而使得支撑台400停止运动。当然，也可以设置一个强制制动部，该强制制动部的工作原理是接到抽气泵突然停止工作的信号后，即直接强制卡住支撑台400，使得支撑台400被迫强行停止。强制制动部可以单独设置，也可以在为了进一步保证紧急制动的效果的情况下，配合上述控制驱动器500运动的方式同时使用。本技术实施例的临界尺寸扫描电镜机台的工作原理为:进片时，晶圆900置于支撑台400上并从交换腔100随着支撑台400的向下运动而运动，到达交换臂600的位置，交换臂600运动，将晶圆900带至中转腔200，然后晶圆900再从中转腔200被转移到测量腔300进行精度测试；测试完成后，进行退片工序，先将晶圆900从测量腔300转移到中转腔200，然后通过交换臂600将测量好的晶圆900换到支撑台400的位置，然后驱动器500工作，控制支撑台400上升，支撑台400上升的同时将交换臂600上的晶圆900顶起而向上传输，晶圆900到达交换腔100后，外部抓取臂会将晶圆900取走，交换腔100内设有一个盖体800，盖体800在抽气泵的作用下被顶起，且外部抓取臂在抽气泵的作用下在交换腔100内的部分呈真空状态，利用真空吸附晶圆900，此时若是抽气泵停止工作，外部抓取臂处于半真空甚至大气压状态，此时，对晶圆900的吸附力降低，导致晶圆900与外部抓取臂之间产生摩擦，而同时，若是抽气泵停止工作，交换腔100内呈大气压状态，盖体800在大气压作用下下降，导致盖体800会压坏晶圆900，进而造成夹伤晶圆900，甚至碎片的风险。本技术实施例的临界尺寸扫描电镜机台通过设置一个紧急制动装置700，可以防止在抽气泵突然停止工作时，阻止支撑台400自动升起，从而避免存在正常退片时夹伤晶圆900,甚至碎片的风险，最终可以避免造成晶圆900报废。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种临界尺寸扫描电镜机台，其包括交换腔、中转腔、测量腔、用以放置晶圆的支撑台、控制支撑台上升或下降的驱动器、转置晶圆的交换臂、抽气泵，其特征在于：所述支撑台上设有在抽气泵停止工作时控制支撑台停止运动的紧急制动装置。

【技术特征摘要】
1.一种临界尺寸扫描电镜机台，其包括交换腔、中转腔、测量腔、用以放置晶圆的支撑台、控制支撑台上升或下降的驱动器、转置晶圆的交换臂、抽气泵，其特征在于:所述支撑台上设有在抽气泵停止工作时控制支撑台停止运动的紧急制动装置。2.根据权利要求1所述的临界尺寸扫描电镜机台，其特征在于:...

【专利技术属性】
技术研发人员：寇红杰，
申请(专利权)人：无锡华润上华科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：