一种透明胶带侦测装置制造方法及图纸

技术编号:31459939 阅读:20 留言:0更新日期:2021-12-18 11:30
本申请涉及一种透明胶带侦测装置,涉及侦测装置的领域,其包括用于安装于贴膜装置中的安装块,安装块上设有位移传感器,位移传感器包括壳体和位于壳体内的拉杆,拉杆伸出壳体的一端设有滚动件。本申请具有侦测透明胶带的效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
一种透明胶带侦测装置


[0001]本申请涉及侦测装置的领域,尤其是涉及一种透明胶带侦测装置。

技术介绍

[0002]晶圆,即制作硅半导体电路用到的硅晶片,其在加工生产过程中,需要在其表面贴附有粘性的UV胶带,以达到保护晶圆的目的。在贴膜过程中,一般会预先在离型纸上切割出对应的UV膜片,相邻UV膜片之间留有间隙,同时为了保证准确贴膜,一般会利用光电传感器对UV膜片进行侦测,以使离型纸移动特定的距离,使得贴膜装置中相关的机构能够准确取下UV膜片以准确贴附在晶圆上。
[0003]实际操作过程中,由于UV膜片多为乳白色或蓝色,当离型纸移动到光电传感器中间时,会导致光电传感器中的接收光部件接收不到发射光部件发射出的光线,因此光电传感器会发出信号,以使控制器控制离型纸移动特定的距离,从而通过侦测UV膜片以使离型纸移动特定距离,进而达到准确贴膜的目的。
[0004]针对上述中的相关技术,专利技术人认为光电传感器仅适用于侦测乳白色或蓝色等具备颜色的UV膜片,而对于透明的UV膜片,光电传感器则无法准确区分UV膜片和透明的离型纸,从而无法使离型纸移动特定的距离,进而影响贴膜的准确性。

技术实现思路

[0005]为了能够侦测透明的UV膜,本申请提供一种透明胶带侦测装置。
[0006]本申请提供的一种透明胶带侦测装置采用如下的技术方案:
[0007]一种透明胶带侦测装置,包括用于安装于贴膜装置中的安装块,安装块上设有位移传感器,位移传感器包括壳体和位于壳体内的拉杆,拉杆伸出壳体的一端设有滚动件。<br/>[0008]通过采用上述技术方案,离型纸带动UV膜片移动时,UV膜片会与滚动件发生抵触,由于UV膜片具有一定的厚度,因此UV膜片会推动滚动件发生滚动,同时能够带动滚动件在拉杆的长度方向上发生位移,从而使得位移传感器产生信号并将信号传递给控制器,从而达到了侦测透明的UV膜片的目的。本技术方案不仅适用于透明UV膜片的侦测,同时也适用于具备颜色的UV膜片的侦测,使用方便,具有较广的使用性。
[0009]可选的,所述滚动件包括设于拉杆端部的滚轮。
[0010]通过采用上述技术方案,离型纸上均布有切割好的UV膜片,且相邻UV膜片之间具有间隙,当UV膜片抵接在滚轮的外侧壁时,UV膜片推动滚轮转动,同时推动滚轮和拉杆发生位移,进而使得位移传感器产生信号,从而达到侦测UV膜片的目的;离型纸在移动过程中,下一个UV膜片会同样抵接在滚轮上,并推动滚轮滚动和发生位移,如此循环往复,从而使得侦测装置能够持续的对离型纸上的若干UV膜片进行侦测。
[0011]可选的,所述滚动件包括设于拉杆端部的转动轴,所述转动轴的外周侧壁均布有两个以上的抵接板。
[0012]通过采用上述技术方案,转动轴上均布有两个以上抵接板,使得第一个抵接板在
UV膜片的推动下跟随转动轴转动,当第一个抵接板与滚轮发生脱离时,下一个抵接板会抵接在下一个UV膜片上,从而使得侦测装置能够持续侦测离型纸上的UV膜片。
[0013]可选的,所述抵接板的端面为弧形面。
[0014]通过采用上述技术方案,以降低抵接板刮伤UV膜片的可能性。
[0015]可选的,所述安装块上安装有位于离型纸输入端一侧的连接板,连接板连接有按压UV膜片的压板,所述压板开有容纳滚动件的让位口。
[0016]通过采用上述技术方案,利用压板进行按压UV膜片,使得UV膜片保持平整状态,从而有利于提高侦测装置对UV膜片侦测的准确性。
[0017]可选的,所述安装块上设有安装杆,连接板连接有安装板,安装板通过螺丝与安装杆连接。
[0018]通过采用上述技术方案,以将压板安装在安装块上。
[0019]可选的,所述安装板开有供螺丝穿过的腰型孔。
[0020]通过采用上述技术方案,便于工作人员在安装安装板时调节安装板在安装杆上的位置,以使压板能够更好的按压UV膜片。
[0021]可选的,所述螺丝设有两个。
[0022]通过采用上述技术方案,以降低螺丝发生松动时,安装板发生转动从而影响压板按压UV膜片的可能性。
[0023]综上所述,本申请包括以下至少一种有益技术效果:
[0024]1.本申请利用UV膜片推动滚动件发生转动和位移,从而使位移传感器产生信号,以达到对UV膜片的侦测,进而可通过控制器控制离型纸移动特定的距离,以使贴膜装置中的相关机构准确的取下UV膜片并精准的贴附在晶圆上;
[0025]2.本申请利用压板将UV膜片按压平整,从而可提高侦测装置对UV膜片侦测的准确性。
附图说明
[0026]图1是实施例1中一种透明胶带侦测装置的整体结构示意图。
[0027]图2是实施例2中转动轴和抵接板的结构示意图。
[0028]附图标记说明:1、安装块;11、安装杆;12、螺丝;2、位移传感器;21、壳体;22、拉杆;23、安装座;24、滚轮;25、转动轴;251、抵接板;3、安装板;31、连接板;32、过渡板;33、压板;331、让位口;34、腰型孔。
具体实施方式
[0029]以下结合附图1

2本申请作进一步详细说明。
[0030]本申请实施例公开一种透明胶带侦测装置。
[0031]实施例1
[0032]参照图1,透明胶带侦测装置包括安装块1,根据实际需求可将安装块1安装在贴膜装置中的指定位置,安装块1安装有位移传感器2,位移传感器2包括安装在安装块1上的壳体21和位于壳体21内的拉杆22,拉杆22在壳体21内可以移动且拉杆22的一端伸出壳体21。拉杆22在受到外力作用时,可在壳体21内发生位移,从而使位移传感器2产生信号,并将信
号传递给贴膜装置中的控制器,在控制器的控制下,贴膜装置中传送离型纸的传送装置可带动离型纸发生特定长度的位移。
[0033]拉杆22的端部设有安装座23,安装座23内通过中心轴安装有滚轮24,离型纸上的UV胶带经切割产生的UV膜片在离型纸上均匀排布,且相邻UV膜片之间留有间隙。当离型纸带动UV膜片移动时,UV膜片会抵接在滚轮24的外侧壁,由于UV膜片具备一定的厚度,因此,UV膜片会推动滚轮24转动,且会推动滚轮24和拉杆22在拉杆22的长度方向上发生位移,进而使位移传感器2产生信号,从而达到侦测透明的UV膜片的目的。位移传感器2产生信号后,控制器根据信号可控制离型纸移动特定的距离,从而有利于贴膜装置中的相关组件准确取下UV膜片并精准的贴在晶圆上。当上一个UV膜片即将脱离滚轮24时,下一个UV膜片刚好抵接在滚轮24上,从而使得侦测装置能够持续的侦测离型纸上的UV膜片。
[0034]为了使侦测装置更好的侦测到UV膜片,安装块1上安装有安装杆11,安装杆11通过螺丝12安装有安装板3,安装板3连接有连接板31,连接板31倾斜设有过渡板32,过渡板32连接有压板33,且压板33位于离型纸的输入端一侧。利用压板33进行按压UV膜片,使得UV膜片保持平整的状态,从而有利于本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种透明胶带侦测装置,其特征在于:包括用于安装于贴膜装置中的安装块(1),安装块(1)上设有位移传感器(2),位移传感器(2)包括壳体(21)和位于壳体(21)内的拉杆(22),拉杆(22)伸出壳体(21)的一端设有滚动件。2.根据权利要求1所述的一种透明胶带侦测装置,其特征在于:所述滚动件包括设于拉杆(22)端部的滚轮(24)。3.根据权利要求1所述的一种透明胶带侦测装置,其特征在于:所述滚动件包括设于拉杆(22)端部的转动轴(25),所述转动轴(25)的外周侧壁均布有两个以上的抵接板(251)。4.根据权利要求3所述的一种透明胶带侦测装置,其特征在于:所述抵接板(251)的端面为弧形面。5....

【专利技术属性】
技术研发人员:戚孝峰
申请(专利权)人:争丰半导体科技苏州有限公司
类型:新型
国别省市:

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